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具有氢阻挡层的薄膜晶体管及包括其的显示设备
公开了具有氢阻挡层的薄膜晶体管及包括其的显示设备。该薄膜晶体管包括有源层、在有源层上的栅电极、在栅电极上的绝缘层、在绝缘层上的氢阻挡层、连接到氢阻挡层的第一隔板、以及与第一隔板间隔开并且连接到氢阻挡层的第二隔板。第一隔板从氢阻挡层延伸,穿透...
薄膜晶体管、阵列基板及显示面板
本公开的实施例提供了一种薄膜晶体管、阵列基板及显示面板,涉及显示技术领域,用于提高薄膜晶体管的迁移率和电学稳定性。该薄膜晶体管包括:位于衬底一侧的有源层,以及,位于所述有源层远离所述衬底一侧的栅极层;其中,所述有源层包括:第一子层以及位于所...
改善BV和Ron的碳化硅功率器件及其制备方法、芯片
本申请属于功率器件技术领域,提供了一种改善BV和Ron的碳化硅功率器件及其制备方法、芯片,通过设置第一P型阱区形成于顶部外延区中,形成于第一P型阱区上的P型重掺杂区,相邻的第二P型阱区之间由所顶部外延区隔离,至少所述第二P型阱区以P型重掺杂...
改善续流的碳化硅功率器件及其制备方法、芯片
本申请属于功率器件技术领域,提供了一种改善续流的碳化硅功率器件及其制备方法、芯片,通过设置第一P型阱区形成于顶部外延区中,形成于第一P型阱区上的P型重掺杂区,相邻的第二P型阱区之间由所顶部外延区隔离,至少所述第二P型阱区以P型重掺杂区对称设...
一种平面栅功率器件及其制备方法
本发明公开了一种平面栅功率器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括:有源区和围绕所述有源区的边缘终端区;还包括:衬底;外延层,位于衬底的上表面,外延层中设置有终端保护环,终端保护环位于边缘终端区,且环绕有源区;外延层中还设置有JFET注入...
沟槽栅场效应管、芯片及电子设备
一种沟槽栅场效应管、芯片及电子设备,沟槽栅场效应管包括:衬底、漂移层、第一离子掺杂层、第二离子掺杂层、栅极、隔离层、漏极、源极和屏蔽层。漏极、衬底、漂移层、第一离子掺杂层、第二离子掺杂层和源极依次层叠设置;第一离子掺杂层与第二离子掺杂层的掺...
具有不对称绝缘层的半导体装置及其制造方法
本申请涉及具有不对称绝缘层的半导体装置及其制造方法。例如,一种半导体装置[100]包含半导体层[108]、设置在所述半导体层中的源极区[110]、设置在所述半导体层中的漏极区[114]、在所述源极区与所述漏极区之间设置在所述半导体层中的绝缘...
具有不对称绝缘层的半导体装置及其制造方法
本公开涉及具有不对称绝缘层的半导体装置及其制造方法。举例来说,一种半导体装置[100]包含半导体层[108]、安置在所述半导体层中的源极区[110]、安置在所述半导体层中的漏极区[114]、栅极电极[122]及安置在所述栅极电极的一部分与所...
一种侧栅铁电可重构场效应晶体管及制备方法
本发明涉及半导体器件技术领域,提供一种侧栅铁电可重构场效应晶体管,该晶体管器件在绝缘层、上栅极和下栅极的侧面区域设置有铁电介电层,所述铁电介电层完全覆盖第一至第三绝缘层及侧面区域;所述铁电介电层侧面设置有Z形垂直沟道层,利用Z形垂直沟道结构...
一种半导体结构及其形成方法
本发明提供一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括半导体衬底,半导体衬底具有第一区域,在半导体衬底上设置有第一CESL层,在第一区域的第一CESL层上设置有第二CESL层,在第一CESL层和第二CESL层上形成有层间介质层,第一区域设置有...
MOS器件及其制备方法
本申请涉及半导体技术领域,提供了一种MOS器件及其制备方法,其中,MOS器件包括:衬底,包括相对设置的第一表面和第二表面;外延层,位于第一表面上且具有第一掺杂类型,外延层包括JFET层;阱区,具有第二掺杂类型,第二掺杂类型与第一掺杂类型相反...
半导体器件及其制备方法
本申请公开了一种半导体器件及其制备方法,半导体器件包括衬底、外延层、阱区、源区、第一绝缘层以及第一电极层;外延层设置于衬底沿厚度方向的一侧;阱区位于外延层内,源区位于阱区内;第一绝缘层设置于外延层背向衬底的一侧;第一电极层设置于第一绝缘层背...
一种抗单粒子栅穿的SiC平面型MOS器件结构及制备方法
本发明提供一种抗单粒子栅穿的SiC平面型MOS器件结构及制备方法,所述SiC平面型MOS器件结构包括:漏极金属层、N+衬底层、N‑漂移层、第一电流扩展层、埋置P区、第二电流扩展层、P+连接区、P基区、N+源区、栅介质、栅多晶硅、源极金属层。...
半导体器件及其制备方法
本发明涉及半导体技术领域,公开一种半导体器件及其制备方法。半导体器件包括衬底层;位于衬底层上且沿第一方向延伸的第一栅极和第一绝缘介质层,第一绝缘介质层覆盖于第一栅极的上表面和侧表面;第二绝缘介质层,位于第一绝缘介质层背离衬底层的一侧且沿第二...
横向功率半导体器件、芯片及电子设备
本申请涉及半导体技术领域,公开了一种横向功率半导体器件、芯片及电子设备,横向功率半导体器件包括衬底以及设置在衬底上方的第一源极、第一漏极、第一栅极、第二栅极、第一隔离层和第二隔离层;其中,第一源极、第一栅极、第二栅极以及第一漏极依次排列;第...
一种氮化镓器件及其制备方法
本发明涉及氮化镓器件技术领域,特别涉及一种氮化镓器件及其制备方法。氮化镓器件由下至上依次包括:衬底;缓冲层;GaN沟道层;AlGaN势垒层;栅极;源极;漏极;在所述栅极靠近漏极侧面的竖直方向投影处,缓冲层对应有一厚度落差,其靠近漏极侧区域厚...
氮化镓基半导体器件及二维电子气的调节方法
本发明公开了一种氮化镓基半导体器件及二维电子气的调节方法。氮化镓基半导体器件包括:具有异质结的半导体功能层,以及与异质结匹配的源漏栅结构或源漏结构;氮化镓基半导体器件还包括二维电子气调节层;二维电子气调节层为SixxGe1‑x1‑x混合层,...
一种氮化镓器件以及方法
本申请涉及半导体技术领域,提供一种氮化镓器件以及方法,其中氮化镓器件包括:二维电子气层组,用于形成二维电子气;第一氮化镓层,设置于二维电子气层组上;渐变层组,设置于第一氮化镓层上;栅极金属层,设置于渐变层组上。通过渐变层组在金属层与第一氮化...
一种二维晶体管及其制备方法
本发明公开了一种二维晶体管及其制备方法,所述底部偏置栅极设有两个,且间隔设置于所述绝缘衬底的上表面,所述底部偏置栅极的上表面完全被所述介电层覆盖,所述介电层的上表面被所述二维半导体材料完全覆盖,所述二维半导体材料的上表面设有间隔设置的所述漏...
一种新型氮化镓HEMT器件
本发明涉及一种新型氮化镓HEMT器件,其中新型氮化镓HEMT器件包括半导体层、位于半导体层上方的第一栅极金属层;设置在半导体层、第一栅极金属层之间的栅极机构,栅极机构包括沿第一方向延伸的第一场板、第二场板、第三场板,第一场板位于半导体层的上...
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