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最新专利技术
  • 一种等离子体源功率电路、控制方法及装置
    一种等离子体源功率电路、控制方法及装置_江苏神州半导体科技股份有限公司_202511910264.5
    本发明属于等离子体源技术领域，提供了一种等离子体源功率电路、控制方法及装置，功率电路包括准Z源变换器和全桥逆变电路，准Z源变换器连接直流电源，在直通状态和非直通状态之间切换；当准Z源变换器处于直通状态时，全桥逆变电路的负载侧被短接；当准Z源...
    2026-02-07
  • 半导体工艺腔室的清洁方法
    半导体工艺腔室的清洁方法_华虹半导体(无锡)有限公司_202511405279.6
    本发明提供一种半导体工艺腔室的清洁方法。该方法包括以下步骤：向半导体工艺腔室中通入清洁气体，以使附着在腔室内壁上的颗粒物脱离；持续通入清洁气体并在腔室内施加能量，以形成气体循环，从而使颗粒物悬浮并随气体循环流动；停止通入清洁气体，并利用腔室...
    2026-02-07
  • 用于电子制造系统的腔室的远程等离子体清洁
    用于电子制造系统的腔室的远程等离子体清洁_应用材料公司_202511338125.X
    一种清洁用于电子制造系统的腔室的方法包括使包含氧气和载气的气体混合物流入远程等离子体产生器中。方法进一步包括通过远程等离子体产生器由气体混合物产生等离子体并且通过使等离子体流入腔室的内部体积中来执行腔室的远程等离子体清洁，其中等离子体从腔室...
    2026-02-07
  • 处理装置和处理方法
    处理装置和处理方法_东京毅力科创株式会社_202510930289.5
    本公开提供一种处理装置和处理方法，能够使热历程的减少与处理气体的反应性的提高两立。本公开的一个方式的处理装置具备：处理容器，在该处理容器形成有用于对多张基板进行处理的处理空间；等离子体生成部，在该等离子体生成部形成有与所述处理空间连通并用于...
    2026-02-07
  • 气体分配模块、衬底加工方法和衬底加工设备
    气体分配模块、衬底加工方法和衬底加工设备_细美事有限公司_202510634319.8
    公开了一种能够有效调节自由基组分的重组速率的气体分配模块、一种衬底加工方法和一种衬底加工设备。所述气体分配模块被配置为将气体供应至使用等离子体的衬底加工设备中的加工区，所述气体分配模块包括：上部电极；离子阻挡器，其设置在所述上部电极的下方，...
    2026-02-07
  • 一种脉冲偏压信号生成方法以及半导体工艺设备
    一种脉冲偏压信号生成方法以及半导体工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410969438.4
    本申请提供一种脉冲偏压信号生成方法以及半导体工艺设备，应用于半导体工艺设备技术领域，该方法获取目标IEDF，该目标IEDF记载多个单峰IEDF以及各单峰IEDF对应的离子量占比和离子能量峰值，并基于各单峰IEDF对应的离子能量峰值和脉冲偏压...
    2026-02-07
  • 表面平坦化机构
    表面平坦化机构_友威科技股份有限公司_202410967410.7
    本申请提供一种表面平坦化机构，其包含电浆处理装置、承载装置及调整装置。电浆处理装置用以对待制程物体的处理表面进行平坦化处理；承载装置供待制程物体放置，且使待制程物体对应于电浆喷头的位置；调整装置包含旋转调整单元及第一单轴调整单元，旋转调整单...
    2026-02-07
  • 离子源在线检测方法、装置、电子设备及存储介质
    离子源在线检测方法、装置、电子设备及存储介质_中山市博顿光电科技有限公司_202511505103.8
    本公开实施例公开了一种离子源在线检测方法、装置、电子设备及存储介质，涉及离子源技术领域，该方法包括：接收离子源射出的离子束，基于离子束测量得到第一电流信号和第二电流信号；第一电流信号为法拉第杯沿横轴移动测量得到的，第二电流信号为法拉第杯在至...
    2026-02-07
  • 运行粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备
    运行粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备_卡尔蔡司显微镜有限责任公司_202510979508.9
    本发明涉及一种运行粒子束设备的方法，该粒子束设备用于对物体进行成像、加工和/或分析，并且还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束设备。该方法包括以下步骤：提供用于粒子束设备的粒子束相对于物体的相对定位的控制数据，其中，该控制数据...
    2026-02-07
  • X射线管中的中断环
    X射线管中的中断环_莫克斯泰克公司_202511541281.6
    本发明涉及X射线管中的中断环，其中，x射线管10可以具有(a)使阴极11与阳极12电绝缘的外壳；(b)在外壳的内表面上的涂层环18，该涂层环18环绕着外壳的纵轴16；(c)位于外壳的内表面与涂层环18不同位置处的中断环19。中断环19可在沿...
    2026-02-07
  • 一种紧凑型径向高功率微波产生器
    一种紧凑型径向高功率微波产生器_西北核技术研究所_202511412976.4
    本发明涉及一种紧凑型径向高功率微波产生器，属于高功率微波技术领域。它由阴极1、第一漂移段2、耦合腔3、第二漂移段4、径向慢波结构5、电子束收集极6、径向耦合通道7、模式转换器8和输出波导9组成。本发明涉及的紧凑型径向高功率微波产生器为圆周对...
    2026-02-07
  • 倒装式磁控管
    倒装式磁控管_深圳市帝泰光电有限公司_202511084956.9
    本发明公开了倒装式磁控管，包括支撑散热组件、永磁铁、谐振腔、外置阴极(可选用热阴极或冷阴极)、天线及供电线。支撑散热组件由陶瓷支撑件、散热铜壳以及阳极导热上、下壳和阴极上、下罩同轴构成，陶瓷支撑件固定于散热铜壳中心，阴极上、下罩分装其上下两...
    2026-02-07
  • 一种多功能小体积熔断器监控模块
    一种多功能小体积熔断器监控模块_美尔森电气系统(浙江)有限公司_202511449511.6
    本发明公开了一种多功能小体积熔断器监控模块，涉及熔断器监测领域，包括熔断器，所述熔断器的前侧固定连接有固定盒体，所述固定盒体的左侧固定设置有声光报警单元，所述固定盒体的上部固定设置有供电单元；所述固定盒体的内部设置有微动开关和弹片；所述熔断...
    2026-02-07
  • 一种利用静触头位移致开关脱扣的开关
    一种利用静触头位移致开关脱扣的开关_首瑞(天津)电气设备有限公司_202410960542.7
    本发明提供了一种利用静触头位移致开关脱扣的开关，至少包含绝缘外壳及内部元件，内部元件至少包含：静触头装置、动触头装置、多连杆操作机构、脱扣装置；所述静触头装置相对所述绝缘外壳可转动或移动地设置，多连杆操作机构驱动动触头装置与静触头装置进行电...
    2026-02-07
  • 电磁斥力开关触发电路、故障状态检测方法、装置及设备
    电磁斥力开关触发电路、故障状态检测方法、装置及设备_南京南瑞继保电气有限公司_202410973781.6
    本发明公开一种电磁斥力开关触发电路，包括首尾相连的储能电容、晶闸管组、斥力线圈，其中，晶闸管组包括2组同向串联的晶闸管，每组晶闸管均并联有均压电阻。本发明还提供一种电磁斥力开关触发电路的故障状态检测方法、装置及设备，通过检测储能电容两端端电...
    2026-02-07
  • 电气装置
    电气装置_北京ABB低压电器有限公司_202410972458.7
    本公开涉及一种电气装置。该电气装置(1)包括组件(10)。组件(10)包括盘组件(100)、手柄(104)以及连接杆(105)。盘组件(100)包括能够绕着相同轴线旋转的上盘(101)、中盘(102)和下盘(103)。手柄(104)可在分闸...
    2026-02-07
  • 接触机构及继电器
    接触机构及继电器_厦门宏发电力电器有限公司_202511793408.3
    本申请涉及一种接触机构及继电器。接触机构包括接触组、触点组件及凸出结构。接触组有两组，两组接触组相对设置；触点组件设置于两组接触组之间，触点组件包括静触点和动触点，静触点和动触点分别与两组接触组一一对应连接，两组接触组的至少部分能够相对靠近...
    2026-02-07
  • 车辆用充电继电器电路的控制装置
    车辆用充电继电器电路的控制装置_丰田自动车株式会社_202510890328.3
    本发明提供一种车辆用充电继电器电路的控制装置，不设置专用部件就能够抑制继电器的结冰。具备使被从交流充电装置供给的电力向蓄电装置通电的交流用电路、和使被从直流充电装置供给的电力向蓄电装置通电的直流用电路，交流用电路具有变压器和AC/DC转换器...
    2026-02-07
  • 继电器控制电路及电子设备
    继电器控制电路及电子设备_长园深瑞继保自动化有限公司_202511405563.3
    本申请提供了一种继电器控制电路及电子设备。继电器控制电路包括第一分压模块、采样模块、开关模块和第二分压模块，第一分压模块分别与采样模块和开关模块电连接，开关模块分别与采样模块和第二分压模块电连接，第二分压模块用于与继电器的控制线圈的第一端电...
    2026-02-07
  • 一种高温超导线圈热控开关装置
    一种高温超导线圈热控开关装置_合肥曦合超导科技有限公司_202511530008.3
    本发明公开了一种高温超导线圈热控开关装置，涉及超导磁体线圈闭环领域，包括导冷板、线圈骨架、高温超导线圈以及加热组件线圈骨架安装于所述导冷板上，加热组件与所述高温超导线圈贴合用于对所述高温超导线圈加热，高温超导线圈贴在所述导冷板上，高温超导线...
    2026-02-07
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