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最新专利技术
  • 一种碳化硅衬底的外延生长工艺
    一种碳化硅衬底的外延生长工艺_江苏卓远半导体有限公司_202410582620.4
    本发明公开一种碳化硅衬底的外延生长工艺，包括如下步骤：对放置于反应腔室内的碳化硅衬底进行刻蚀；对反应腔内通入刻蚀气体氢气，刻蚀温度为1750‑1800℃；在完成刻蚀的碳化硅衬底上生长缓冲层；缓冲层的生长中，对反应腔内通入碳源气体、硅源气体以...
    2025-12-03
  • 废旧铝背场电池片的分离回收方法
    废旧铝背场电池片的分离回收方法_天合光能股份有限公司_202410560576.7
    本申请涉及一种废旧铝背场电池片的分离回收方法，包括如下步骤：将废旧铝背场电池片依次浸泡于盐酸溶液和硝酸溶液中，分离回收所述废旧铝背场电池片上的金属；将所述分离回收金属后的废旧铝背场电池片浸泡于氢氟酸溶液中，得到初步去除氮化硅的电池片；将所述...
    2025-12-03
  • 一种共聚焦成像辅助的二次离子提取系统的安装方法
    一种共聚焦成像辅助的二次离子提取系统的安装方法_中国地质科学院地质研究所_202511467495.3
    本申请提供一种共聚焦成像辅助的二次离子提取系统的安装方法，属于二次离子质谱领域。本申请提供的方法包括：一次离子光学系统发射的离子束轰击至样品，成像系统获取束斑成像图像，根据成像图像自动调整样品台位置使离子束的束斑中心与样品中心重合；确定样品...
    2025-12-03
  • 质量分析数据处理方法及质量分析装置
    质量分析数据处理方法及质量分析装置_株式会社岛津制作所_202510491309.3
    本发明涉及质量分析数据处理方法及质量分析装置。装置具备：测量部(1)，对试样执行质量分析获取数据；峰信息获取部(34)，对基于数据的m/z谱进行峰检测，收集包含检测到的多个峰的m/z值的峰信息；概算质量计算部(35)，对峰信息所包含的各峰的...
    2025-12-03
  • 一种等离子体处理及上电极集成降温系统、方法
    一种等离子体处理及上电极集成降温系统、方法_上海邦芯半导体科技有限公司_202511475944.9
    本发明公开了一种等离子体处理设备及上电极集成降温系统及方法，应用于半导体制造装备技术领域。其中，降温系统包括气源供应装置、无运动部件纯气动的气流增压装置和旋流场生成装置。冷却所需的初始气流经气流增压加速后，形成覆盖腔盖表面的高速螺旋气流，实...
    2025-12-03
  • 工艺腔室的清洁方法
    工艺腔室的清洁方法_华虹半导体制造(无锡)有限公司_202511050288.8
    本申请提供一种工艺腔室的清洁方法，在往工艺腔室中通入前驱体气体进行预处理操作，以在工艺腔室的内壁形成一富硅保护层之后，通过调节施加到工艺腔室的高频段射频频率和低频段射频频率，对残留的前驱体气体以及预处理操作过程中产生的反应副产物进行电离，并...
    2025-12-03
  • 等离子体蚀刻装置
    等离子体蚀刻装置_三星显示有限公司_202510469562.9
    本公开涉及等离子体蚀刻装置，所述等离子体蚀刻装置的实施例包括：室，在所述室中执行使用等离子体的蚀刻工艺，在所述蚀刻工艺之前，所述室的内部涂覆有绝缘层，在所述蚀刻工艺之后去除所述绝缘层；第一天线，连接至高频电力源并且定位在所述室上；第二天线，...
    2025-12-03
  • 低能大束流离子注入机束流控制优化方法
    低能大束流离子注入机束流控制优化方法_无锡诚承电子科技有限公司_202511083366.4
    本发明涉及离子注入技术领域，公开了低能大束流离子注入机束流控制优化方法。该方法通过传感器系统连续采集束流电流与能量监测值，实时处理生成束流状态表征指标；将该指标与预设范围对比，超出范围时触发异常信号；在异常状态下，固定周期收集束流位置数据集...
    2025-12-03
  • 一种复核架构下的真空保持装置
    一种复核架构下的真空保持装置_上海坚亥半导体设备有限公司_202511139087.5
    本发明属于半导体工艺技术领域，涉及一种复核架构下的真空保持装置。该装置包括外部结构件与内部结构件；内部结构件包括第一球体、第一轴体与第二轴体；第一轴体、第一球体与第二轴体均为实心结构，第一轴体的一端与第一球体的下部连接，第二轴体的一端与第一...
    2025-12-03
  • 分叉镜筒加速管扫描电子显微镜
    分叉镜筒加速管扫描电子显微镜_FEI公司_202510587909.X
    本公开的实施方案包括用于带电粒子成像和微量分析的系统、方法、算法以及存储计算机可读指令的非暂态介质。带电粒子束系统可包括物镜组件，限定与第一轴配合的孔。该系统可包括分叉加速管。加速管可包括主要段、与主要段相交的辅助段和至少部分地设置在孔中的...
    2025-12-03
  • 一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜
    一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜_中国科学院国家空间科学中心_202511024142.6
    本发明公开了一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜，属于月球探测技术领域。包括：沿轴顺序固定的电子枪、聚光镜模组、微通道板探测器和物镜系统。透镜采用全静电系统，并在聚光镜模组和物镜系统上设置有通孔，以引入月表天然真空环境。所述聚光...
    2025-12-03
  • 电子源器件及其制备方法
    电子源器件及其制备方法_上海集成电路材料研究院有限公司_202410568176.0
    本发明提供一种电子源器件及其制备方法，包括步骤：使用自限制化学反应制备具有限定粒径的纳米晶粒；提供器件衬底，器件衬底包括相对的第一面和第二面，第一面具有导电区域；将纳米晶粒装配到器件衬底上，形成电子发射层；在电子发射层上制备顶电极结构，形成...
    2025-12-03
  • 一种电子枪结构及装配工艺、及栅网冶具和栅网加工工艺
    一种电子枪结构及装配工艺、及栅网冶具和栅网加工工艺_成都奕康真空电子技术有限责任公司_202511453641.7
    本申请涉及一种电子枪结构及装配工艺、及栅网冶具和栅网加工工艺，属于电子枪技术领域，包括阴极、阳极、聚焦极和陶瓷枪壳，所述阴极、阳极和聚焦极均设置在陶瓷枪壳内，还包括阴栅绝缘组件，所述阴栅绝缘组件位于阴极和阳极之间，所述阴栅绝缘组件包括栅网和...
    2025-12-03
  • 隔离式熔断丝气化激活液电效应强制灭弧的结构及方法
    隔离式熔断丝气化激活液电效应强制灭弧的结构及方法_广西雷闪电气科技有限公司_202511260237.8
    本发明涉及紧急保护装置技术领域，具体涉及一种隔离式熔断丝气化激活液电效应强制灭弧的结构，包括绝缘壳体、填充于绝缘壳体内的灭弧液、设置于灭弧液中的隔离管以及穿设于隔离管内的熔断丝；隔离管采用绝缘且易碎的材料制成，用于隔离熔断丝与灭弧液；当短路...
    2025-12-03
  • 一种石墨烯新型材料熔断器
    一种石墨烯新型材料熔断器_江苏默顿电气有限公司_202511462696.4
    本发明涉及熔断器技术领域，具体为一种石墨烯新型材料熔断器，包括插接壳，所述插接壳的一侧设置有壳体，且插接壳的一侧两个拐角处均设置有定位螺栓，所述壳体的一侧设置有开口槽，开口槽处通过盖板封闭，所述壳体内设置有熔断器，所述熔断器包括安装于壳体内...
    2025-12-03
  • 熔断器以及电器装置
    熔断器以及电器装置_浙江极氪智能科技有限公司_202511111603.3
    本发明公开了一种熔断器以及电器装置，涉及熔断器领域，包括：壳体、第一导电件、第二导电件、主动熔断件，第一导电件、第二导电件均设于壳体，沿第一方向，第一导电件的两端均连接有第二导电件，第一导电件形成有多个沿第二方向间隔排布的通孔，以使沿第二方...
    2025-12-03
  • 一种灭弧室可动部装配、灭弧室及断路器
    一种灭弧室可动部装配、灭弧室及断路器_河南平芝高压开关有限公司_202410584157.7
    本发明提供了一种灭弧室可动部装配、灭弧室及断路器，属于开关设备技术领域。灭弧室可动部装配包括动主触头和喷口，动主触头包括通过螺纹结构配合连接的主体部和头部，主体部内孔中设置有环形挡止部，喷口包括环形凸起，环形凸起轴向的一侧端面用于与环形挡止...
    2025-12-03
  • 保护模块和断路器
    保护模块和断路器_浙江正泰电器股份有限公司_202410576570.9
    保护模块，包括磁通脱扣器，磁通脱扣器包括固定磁轭、线圈骨架、线圈、静铁芯、动铁芯、推杆、反力弹簧，动铁芯设有动铁芯锁定面，用于与推杆配合面锁定配合；在磁通脱扣器处于第一运行状态时，动铁芯锁定面与推杆配合面锁定配合使推杆被锁定在第一位置，且动...
    2025-12-03
  • 一种三相三机构永磁断路器同期连锁装置
    一种三相三机构永磁断路器同期连锁装置_陕西西开卓越电气有限公司_202511108700.7
    本发明公开了一种三相三机构永磁断路器同期连锁装置，其涉及断路器技术领域，包括固定组件及同期连锁机构，固定组件包括框体，其内固定有多个隔板；同期连锁机构包括转轴，其转动贯穿多个隔板，转轴上呈线性固定有多个拐臂一，多个拐臂一分别与断路器中三个动...
    2025-12-03
  • 一种配电网开关用紧凑型快速涡流斥力机构
    一种配电网开关用紧凑型快速涡流斥力机构_广东电网有限责任公司汕头供电局_202511124938.9
    本发明涉及快速机械开关技术领域，且公开了一种配电网开关用紧凑型快速涡流斥力机构，包括水平驱动杆、导向结构件、第一传动杆和第二传动杆，所述水平驱动杆的左端固接有左侧连接杆，水平驱动杆的右端固接有右侧连接杆，左侧连接杆与右侧连接杆之间通过螺栓连...
    2025-12-03
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