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最新专利技术
  • 一种基于牺牲层释放工艺的微电极制备方法
    一种基于牺牲层释放工艺的微电极制备方法_安徽华鑫微纳集成电路有限公司_202510987059.2
    本发明属于光电器件加工技术领域， 具体涉及一种基于牺牲层释放工艺的微电极制备方法。首先在硅衬底上制备牺牲层， 然后依次在牺牲层上沉积第一材料层并热处理， 沉积金属电极层并图形化， 沉积第二材料层并热处理， 最后利用气态HF去除牺牲层， 得到...
    2025-12-03
  • 半导体器件及其制造方法
    半导体器件及其制造方法_芯联集成电路制造股份有限公司_202510989821.0
    本发明提供一种半导体器件及其制造方法， 所述半导体器件的制造方法包括：形成第一外延层于基底上；形成贯穿第一外延层的第一释放孔；形成图案化的第二牺牲层于部分第一外延层上， 图案化的第二牺牲层还延伸至第一释放孔的侧壁上；形成第二外延层于第一外延...
    2025-12-03
  • MEMS器件及其制造方法
    MEMS器件及其制造方法_芯联集成电路制造股份有限公司_202510989822.5
    本发明提供一种MEMS器件及其制造方法， MEMS器件的制造方法包括：提供一基底， 基底上形成有第一半导体层；形成凹槽于第一半导体层中；形成第一释放孔贯穿凹槽底壁的第一半导体层以及第二释放孔贯穿凹槽外围的第一半导体层， 凹槽的宽度大于第一释...
    2025-12-03
  • 一种微阀门制造方法、微阀门及电子设备
    一种微阀门制造方法、微阀门及电子设备_玻芯成(重庆)半导体科技有限公司_202510998773.1
    本申请适用于微机电系统技术领域， 尤其涉及一种微阀门制造方法、微阀门及电子设备， 微阀门制造方法通过在基底的通孔的位置处设置至少两个阀门组件， 相邻两阀门组件之间具有条形间隙， 条形间隙在第一表面的投影至少部分落入通孔， 条形间隙与通孔形成...
    2025-12-03
  • 一种适配外球面电极的谐振子金属化制作方法
    一种适配外球面电极的谐振子金属化制作方法_中国电子科技集团公司第二十六研究所_202511026394.2
    本发明涉及微机电系统制造技术领域， 具体涉及一种适配外球面电极的谐振子金属化制作方法， 包括：采用成丝工艺加工谐振子锚点平面， 通过湿法工艺腐蚀谐振子， 使锚点加工区域形成通孔， 对谐振子外表面、通孔以及谐振子锚点平面进行金属化， 使金属化...
    2025-12-03
  • 一种基于微帽结构的柔性石墨烯变压器振动传感器封装设计方法
    一种基于微帽结构的柔性石墨烯变压器振动传感器封装设计方法_国网青海省电力公司海东供电公司_202511032263.5
    本发明提供了一种基于微帽结构的柔性石墨烯变压器振动传感器封装设计方法， 属于传感器技术领域。本发明所述方法包括以下步骤：在柔性聚酰亚胺基底上制备H型石墨烯谐振器层；通过盐模板法在谐振器层上构建含石墨烯的多孔PDMS结构层；在多孔层表面采用砂...
    2025-12-03
  • 用于高性能MEMS压力传感器芯片的封装工装及其使用方法
    用于高性能MEMS压力传感器芯片的封装工装及其使用方法_安徽芯动联科微系统股份有限公司_202511135500.0
    本发明公开一种用于高性能MEMS压力传感器芯片的封装工装及其使用方法， 包括底座、管座固定组件和垂直活动组件， 底座用于承载管座固定组件和垂直活动组件， 管座固定组件用于固定封装管座， 垂直活动组件可相对底座水平移动和垂直移动， 以实现对封...
    2025-12-03
  • MEMS封装结构及其制备方法
    MEMS封装结构及其制备方法_杭州质禾科技有限公司_202511374973.6
    本发明提供一种MEMS封装结构及其制备方法， 通过在盖板上形成内侧壁朝衬底法线同一侧倾斜的倾斜通孔， 并结合常规薄膜沉积工艺沉积遮挡层， 倾斜的孔口边缘为沉积薄膜提供了更有效的“搭桥”效应， 使薄膜能够在孔口顶部快速横向生长并遮挡孔口， 同...
    2025-12-03
  • MEMS封装结构及其制备方法
    MEMS封装结构及其制备方法_杭州质禾科技有限公司_202511374987.8
    本发明提供一种MEMS封装结构及其制备方法， 通过在沉积遮挡层时使沉积源的沉积方向与通孔的延伸方向之间具有夹角α， 即采用倾斜角度沉积技术来遮挡通孔， 实现了显著减少腔内沉积物、保持MEMS器件高性能、避免内部污染和粘连、提高封装的适用性以...
    2025-12-03
  • 一种利用氨气耦合碳酸盐反应制备合成气的方法
    一种利用氨气耦合碳酸盐反应制备合成气的方法_北京化工大学_202510872865.5
    本发明提供一种利用氨气耦合碳酸盐反应制备合成气的方法， 属于碳酸盐热解领域。本发明以氨气替代氢气作为氢源用于碳酸盐热分解， 引入氢源降低了热分解温度， 同时在分解过程中生成氢气和一氧化碳， 碳酸盐分解过程中， 碳酸盐与氨气耦合， 实现还原、...
    2025-12-03
  • 一种基于动态比例控制的甲醇-脱盐水汽化反应系统及方法
    一种基于动态比例控制的甲醇-脱盐水汽化反应系统及方法_广钢气体(武汉)有限公司_202510942761.7
    本发明公开了一种基于动态比例控制的甲醇‑脱盐水汽化反应系统及方法， 涉及能源利用技术领域， 包括， 基于甲醇‑脱盐水实时混合比例参数的突变检测， 触发冷能相变强化机制， 生成高温汽化混合气；基于高温汽化混合气进行催化裂解反应生成含氢转化气，...
    2025-12-03
  • 由金属硼氧化物制备金属硼氢化物的方法
    由金属硼氧化物制备金属硼氢化物的方法_H2燃料系统有限公司_202511004917.3
    本发明涉及由金属硼氧化物制备金属硼氢化物的方法。一种由金属硼氧化物Me(BO2)n制备金属硼氢化物Me(BH4)n的方法， 其中Me是金属或表现出类金属行为并可以作为金属的分子， 而n是能够与金属的化合价相关的整数， 其中在第一流化床步骤中...
    2025-12-03
  • 低浓度氨水、盐酸循环利用的萃取分离方法
    低浓度氨水、盐酸循环利用的萃取分离方法_中国北方稀土(集团)高科技股份有限公司_202511056633.9
    本发明公开了一种低浓度氨水、盐酸循环利用的萃取分离方法， 包括：对酸性萃取剂进行皂化， 皂化有机再与混合金属氯化物溶液萃取分离， 生成负载有机相和低浓度氯化铵溶液， 萃取分离后负载有机相经稀盐酸反萃取， 得到分组或单一金属氯化物溶液；低浓度...
    2025-12-03
  • 一种三氟化氯的合成方法
    一种三氟化氯的合成方法_中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司_202510971616.1
    本发明涉及一种三氟化氯的合成方法， 包括如下步骤：S1、将冷阱与反应器金属管道气体出口连接， 金属氯化物加入反应器中， 加入量为反应器的三分之二， 并进行保压；S2、冷阱降温至‑100～‑60℃；S3、将反应器金属管道进行加热升温至850～...
    2025-12-03
  • 一种低成本长时期存储臭氧的方法
    一种低成本长时期存储臭氧的方法_东莞水乡产业创新发展有限公司_202510901814.0
    本发明公开了一种低成本长时期存储臭氧的方法， 属于天然抗菌剂技术领域。本发明通过将臭氧与柠檬酸结合形成臭氧化合物， 解决了臭氧在常温下易分解的问题， 使其可在常规环境中长期保存；本发明采用电解法制备臭氧， 并结合常规水浴搅拌工艺， 无需复杂...
    2025-12-03
  • 一种含多硫化锂的硫化锂材料的制备方法及其应用
    一种含多硫化锂的硫化锂材料的制备方法及其应用_上海屹锂新能源科技有限公司_202510973014.X
    本发明涉及一种含多硫化锂的硫化锂材料的制备方法及其应用。制备方法包括如下步骤：按2：1.01～1.10的摩尔比称取氢化锂、硫粉， 将氢化锂分为2～4份， 取一份氢化锂与硫粉混合球磨， 将剩余的氢化锂依次加入并球磨， 得到含硫化锂与多硫化锂的...
    2025-12-03
  • 烟气制酸系统及烟气制酸方法
    烟气制酸系统及烟气制酸方法_中国瑞林工程技术股份有限公司_202510872354.3
    本申请属于烟气制酸领域， 具体提供了烟气制酸系统及烟气制酸方法， 烟气制酸系统包括：干燥装置去除冶炼烟气中的水分， 得到第一烟气和第一硫酸；转化装置， 与所述干燥装置相连， 用于将所述第一烟气中的二氧化硫转化为三氧化硫， 得到第二烟气；HR...
    2025-12-03
  • 一种层状Cu2Se材料及其制备方法和应用
    一种层状Cu2Se材料及其制备方法和应用_河南省科学院材料研究所_202511219179.4
    本发明属于硒化合物领域， 具体涉及一种层状Cu2Se材料及其制备方法和应用。该层状Cu2Se材料包括两层硒和位于所述两层硒之间的铜构成的Se‑Cu‑Se重复层单元， 所述Se‑Cu‑Se重复层单元中Cu、Se的原子比为2 : 1；所述Se‑...
    2025-12-03
  • 一种长径比可调的氮化硼棒状粉体及其制备方法
    一种长径比可调的氮化硼棒状粉体及其制备方法_山东工业陶瓷研究设计院有限公司_202510776688.0
    本发明公开了一种长径比可调的氮化硼棒状粉体及其制备方法， 其特征在于， 包括：制备棒状前驱体粉末， 喷淋处理， 低温处理， 一次高温处理， 后处理， 二次高温处理；所述喷淋处理， 对棒状前驱体粉末进行搅拌， 同时向棒状前驱体粉末表面均匀喷淋...
    2025-12-03
  • 一种用于氮化硅粉体的脱氧剂及脱氧方法
    一种用于氮化硅粉体的脱氧剂及脱氧方法_浙江科技大学_202511099956.6
    本发明公开了一种用于氮化硅粉体的脱氧剂及脱氧方法， 属于无机非金属材料技术领域。本发明的脱氧剂由A、B两种物质组成：A物质为稀土氟化物， 在脱氧剂中所占的质量分数为80%~95%；B物质为稀土氧化物， 在脱氧剂中所占的质量分数为5%~20%...
    2025-12-03
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