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最新专利技术
  • 半导体结构的形成方法
    半导体结构的形成方法_江苏鲁汶仪器股份有限公司_202311834026.1
    本发明还提供一种半导体结构的形成方法，包括：提供基底；采用第一刻蚀工艺刻蚀所述基底，在所述基底内形成初始浅沟槽；采用至少一次第二刻蚀工艺刻蚀所述初始浅沟槽的表面，形成浅沟槽，所述浅沟槽的表面粗糙度小于所述初始浅沟槽的表面粗糙度；消除浅沟槽表...
    2025-08-23
  • 半导体结构的形成方法
    半导体结构的形成方法_江苏鲁汶仪器股份有限公司_202311831141.3
    一种半导体结构的形成方法，包括：提供基底；在所述基底内形成沟槽，所述沟槽底部表面具有晶格损伤层；采用离子束刻蚀工艺，以中性粒子束去除所述沟槽底部的晶格损伤层。本发明提供的半导体结构的形成方法，通过离子束刻蚀工艺去除沟槽底部表面的晶格损伤层，...
    2025-08-23
  • 一种半导体栅极刻蚀方法
    一种半导体栅极刻蚀方法_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202311830664.6
    本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种半导体栅极刻蚀方法，通过在栅极表面及衬底表面形成介质薄膜层；利用刻蚀机台对所述介质薄膜层进行等离子体刻蚀以形成栅极侧墙；所述等离子体刻蚀包括主刻蚀步骤和过刻蚀步骤；在所述等离子体刻蚀中，对所述刻蚀机台...
    2025-08-23
  • 一种降低晶片表面金属含量清洗方法
    一种降低晶片表面金属含量清洗方法_北京天科合达半导体股份有限公司_202311823823.X
    本发明提供了一种降低晶片表面金属含量清洗方法，包括如下步骤：A)碳化硅晶片依次经过SC1溶液双面刷洗、纯水双面刷洗、稀盐酸双面刷洗和纯水双面刷洗；B)将上述刷洗完毕的碳化硅晶片依次采用臭氧水、稀氢氟酸、SC1溶液进行单片清洗，即得。本发明通...
    2025-08-23
  • 一种晶圆表面贵金属提取工艺
    一种晶圆表面贵金属提取工艺_无锡华瑛微电子技术有限公司_202311822456.1
    本发明公开了一种晶圆表面贵金属提取工艺，其步骤为：①将半导体晶圆放入到提取腔室内；所述半导体晶圆的待处理面与所述提取腔室内的介质通道贴合；②将扫描液从介质通道的进口推入并沿着所述介质通道流动并与所述半导体晶圆的待处理面接触和/或反应，再从所...
    2025-08-23
  • 等离子体处理设备、上电极组件及其装配方法
    等离子体处理设备、上电极组件及其装配方法_中微半导体设备(上海)股份有限公司_202311830307.X
    本发明提出了一种上电极组件，设置在等离子体处理设备的反应腔的顶部，包括：安装基板和气体喷淋头，所述安装基板和气体喷淋头通过紧固装置连接固定；设置在所述安装基板和气体喷淋头之间的热电连接组件，所述热电连接组件包括凸起环和覆盖膜，所述覆盖膜设在...
    2025-08-23
  • 一种下电极组件，其安装方法及等离子体处理装置
    一种下电极组件，其安装方法及等离子体处理装置_中微半导体设备(上海)股份有限公司_202311829355.7
    本发明提供了一种下电极组件，用于承载待处理基片，包括一承载基座，及环绕所述承载基座的边缘环组件，所述边缘环组件包括：聚焦环，环绕所述基片和承载基座设置；插入环，位于所述聚焦环下方，环绕所述承载基座设置；所述边缘环组件与所述承载基座之间设置第...
    2025-08-23
  • 一种X射线管及其使用方法
    一种X射线管及其使用方法_武汉联影医疗科技有限公司_202311844002.4
    本说明书实施例提供一种X射线管及其使用方法。该X射线管包括管套、轴承和调温机构；管套内形成腔体，腔体内容纳有调温介质；轴承包括静止组件和旋转组件；静止组件和旋转组件之间填充有液态金属；静止组件包括轴向通道，轴向通道与腔体连通；调温机构设置在...
    2025-08-23
  • 一种模块化塑壳断路器及拼接方法
    一种模块化塑壳断路器及拼接方法_上海良信电器股份有限公司_202311836562.5
    本发明涉及塑壳断路器的技术领域，尤其是涉及一种模块化塑壳断路器及拼接方法。本发明提供的模块化塑壳断路器，包括相互拼接的操作模块和脱扣器模块，且脱扣器模块位于操作模块的下侧，脱扣器模块具有多种类型选择；操作模块与脱扣器模块之间设置有第一导向限...
    2025-08-23
  • 一种可拆卸超导线圈浸渍模具及浸渍装置
    一种可拆卸超导线圈浸渍模具及浸渍装置_中国航天科工飞航技术研究院(中国航天海鹰机电技术研究院)_202311823672.8
    本申请实施例提供一种可拆卸超导线圈浸渍模具及浸渍装置，其中浸渍模具包括：底板组件，包括底板和超导线圈绕制环，所述底板套设于所述超导线圈绕制环的下部外壁上；盖板组件，包括盖板和连接环，所述盖板套设于所述连接环的外壁上，所述连接环可拆卸连接于所...
    2025-08-23
  • 一体成型电感的制作方法及一体成型电感
    一体成型电感的制作方法及一体成型电感_横店集团东磁股份有限公司_202311822987.0
    本发明公开了一种一体成型电感的制作方法及一体成型电感，其属于电感制作技术领域，一体成型电感的制作方法包括如下步骤：将漆包线折弯形成预制线圈，预制线圈包括线圈主体及两根引线，两根引线位于线圈主体轴向上的一侧；制作平板型磁芯；将预制线圈套在平板...
    2025-08-23
  • 分散式铁芯电感装置
    分散式铁芯电感装置_致茂电子(苏州)有限公司_202311819739.0
    一种分散式铁芯电感装置包含一条状导体与多个磁芯。条状导体具有可挠性。这些磁芯依序固定于条状导体上，且每个磁芯只被条状导体单次穿过。如此，通过以上架构，本案的分散式铁芯电感装置不需让条状导体反复穿越磁芯的贯穿通道，不仅降低条状导体的长度用量、...
    2025-08-23
  • 高压绕组三角接法的132kV天然酯油变压器
    高压绕组三角接法的132kV天然酯油变压器_特变电工沈阳变压器集团有限公司_202311819191.X
    本发明涉及一种高压绕组三角接法的132kV天然酯油变压器，其中高压绕组包括上段高压线圈和下段高压线圈，有载调压开关设于上段高压线圈和下段高压线圈之间，调压绕组上设有多个调压线圈出头，并且所述上段高压线圈的上段末端出头、所述下段高压线圈的下段...
    2025-08-23
  • 一种气冷电流引线及超导磁体系统
    一种气冷电流引线及超导磁体系统_中国航天科工飞航技术研究院(中国航天海鹰机电技术研究院)_202311817991.8
    本申请实施例中提供了一种气冷电流引线及超导磁体系统，气冷电流引线包括超导段，包括低温超导引线和高温超导引线，低温超导引线的第一端用于与液态冷媒连接，低温超导引线的第二端与高温超导引线的第一端连接；室温段，具有气冷引线管和金属引线，金属引线位...
    2025-08-23
  • 一种超导开关装置
    一种超导开关装置_中国航天科工飞航技术研究院(中国航天海鹰机电技术研究院)_202311826159.4
    本申请实施例中提供了一种超导开关装置，包括：开关骨架，开关骨架为两端具有端板的工字型结构；超导线圈和加热线圈，分别绕设在开关骨架上；温度检测组件，与超导线圈固定，用于测量超导线圈的温度，根据测量温度对加热线圈的加热功率进行反馈调节。本申请在...
    2025-08-23
  • 线圈组件、电磁阀、空气弹簧、主动悬架及车辆
    线圈组件、电磁阀、空气弹簧、主动悬架及车辆_比亚迪股份有限公司_202311836232.6
    本申请提供了一种线圈组件、电磁阀、空气弹簧、主动悬架及车辆，所述线圈组件应用于所述电磁阀。所述线圈组件包括线圈构件和端子，所述线圈构件设置有凸台；所述端子设置于所述线圈构件轴向的一端，所述端子设置有限位槽，所述凸台适于所述限位槽止转配合。本...
    2025-08-23
  • 医用磁场发生装置及系统、介入手术系统
    医用磁场发生装置及系统、介入手术系统_上海微创医疗机器人(集团)股份有限公司_202311829946.4
    本发明提供了一种医用磁场发生装置及系统、介入手术系统，医用磁场发生装置包括多个齿部、多个线圈和多个冷却机构，多个所述齿部相互平行，且每个所述齿部上绕设一个所述线圈并形成一个电磁铁；每个所述电磁铁上设置一个所述冷却机构。该医用磁场发生装置可设...
    2025-08-23
  • 液态金属基底热管反应堆系统
    液态金属基底热管反应堆系统_国家电投集团科学技术研究院有限公司_202311824279.0
    本发明涉及一种液态金属基底热管反应堆系统，所述液态金属基底热管反应堆系统包括：反应堆、换热模块和输电模块，所述反应堆包括横置容器、热管、燃料棒和液态金属，所述燃料棒设于所述横置容器内，所述热管的一端设于所述横置容器内，所述热管的另一端伸入至...
    2025-08-23
  • 放射递送计划质控方法、装置和计算机存储介质
    放射递送计划质控方法、装置和计算机存储介质_上海联影医疗科技股份有限公司_202311825294.7
    本申请涉及一种放射递送计划质控方法、装置和计算机存储介质，通过将误差数据结合至第一放射递送计划，得到第二放射递送计划，确定第一放射递送计划和第二放射递送计划的计划通过率，基于计划通过率，确定第一放射递送计划能够通过质控的概率，在进行放射递送...
    2025-08-23
  • 检测任务单的参数更新方法、样本分析仪及存储介质
    检测任务单的参数更新方法、样本分析仪及存储介质_科美诊断技术股份有限公司_202311825839.4
    本申请是关于一种检测任务单的参数更新方法、样本分析仪及存储介质，该方法首先获得待检测样本的检测项目，在接收到用户触发的模式切换指令时，若确定当前检测任务为特定检测任务，则将当前检测任务的检测模式切换为目标检测模式，目标检测模式用于将当前检测...
    2025-08-23
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