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  • 本发明公开了一种化学机械抛光设备和抛光方法,该化学机械抛光设备包括:前置单元;抛光单元,位于前置单元的侧方,其包括上方的抛光腔室和下方的传输腔室,所述抛光腔室配置有装载晶圆的承载头;传输机构,位于传输腔室中,包括水平导轨和夹持机构,夹持机构...
  • 本申请公开了一种复合界面的平坦化方法。复合界面的平坦化方法包括提供一待研磨的初始晶圆,初始晶圆包括衬底及设于衬底一侧的复合层,复合层包括交错设置的金属部和有机部,金属部的初始高度大于有机部的初始高度;利用第一研磨液对初始晶圆进行第一阶段研磨...
  • 本发明公开了一种球体研抛加工轨迹在线检测方法及装置,涉及精密加工在线检测领域,包括:S1、使用高速摄像机采集i时刻球体研抛加工过程中的连续图像序列;S2、对连续图像序列进行预处理和特征识别;S3、自转角速度测量模块解算自转角度和自转角速度以...
  • 一种掩模基板抛光用UPA压力的自动补偿系统及方法,包括压力执行模块、分布式传感反馈网络和智能控制单元;其中,压力执行模块用于直接对掩模基板进行抛光,包括施力轴、抛光头、气源、UPA气囊和电气比例阀,分布式传感反馈网络包括气路压力传感器和末端...
  • 本发明公开了一种多自由度补偿压力的四角加压研磨机,属于精密研磨加工设备技术领域,其包括装置外壳,所述装置外壳的内底部固定安装有驱动电机,还包括:机盖,所述机盖固定连接于装置外壳的上端。通过驱动电机联动主动带轮、同步带、从动带轮及离心叶轮,产...
  • 本发明涉及珩磨设备技术领域,公开了一种支撑装置与珩磨设备。支撑装置包括支撑机构、调节机构和限位机构,支撑机构套设于珩磨设备的珩磨杆,在第一状态下,支撑机构随珩磨杆移动,在第二状态下,支撑机构与珩磨杆之间脱离连接,以使珩磨杆相对于支撑机构移动...
  • 本发明公开了一种深拉伸模具零件精加工抛光装置,属于模具加工相关技术领域,包括抛光桶、固定基座和筛料器,所述抛光桶活动安装在固定基座的上端内侧,所述筛料器弹性安装在固定基座的上端位于抛光桶的下方位置,所述筛料器包括上盘体和下盘体,所述上盘体滑...
  • 本发明公开了一种流道内置球形磁场的磁流变高效抛光装置,包括串联球形磁场发生装置和磁流变液往复供给系统。所述串联球形磁场发生装置将多个磁性小球通过柔性绳索串联后置于流道内,磁性小球产生的磁场使往复运动的磁流变液发生流变效应,形成柔性“磁刷”,...
  • 本发明属于抛光机技术领域,尤其为一种桌子钢架抛光机。本发明包括加工防护仓、加工防护仓内侧设置的钢板限定框、用于对钢管四个面进行抛光的抛光载板以及砂带抛光机组件;所述抛光载板上对应矩形钢管的上下左右四个平面分别设置有移动抛光盘和定位抛光盘,抛...
  • 本发明涉及阀体磨削抛光技术领域,并公开了一种阀体内孔抛光装置,包括抛光部,所述抛光部包括工作台,所述工作台通过设置在其上表面的滑轨滑动连接有驱动座,所述驱动座的内部传动连接有主轴,所述主轴的外表面套设有传动轴,所述传动轴的外表面设置有对外部...
  • 本发明涉及隔膜泵配件加工技术领域,具体的是一种隔膜泵金属配件的自动加工机,本发明包括基座,所述基座的顶部转动连接有曲柄轮、橡胶摩擦辊和抛光辊,曲柄轮的外周开设有一个用于承接工件的V形下料槽;所述基座内部设置有下料仓,基座顶部开设有与下料仓连...
  • 本发明涉及木材加工领域,尤其涉及一种柱形木材表面抛光设备。现有圆木抛光难以精确控制平移速度,导致抛光均匀性差,表面一致性不佳,抛光产生的木屑需额外停机清理,降低了加工效率,圆木在转动时易发生跳动,缺乏有效的实时稳定抑制,影响抛光精度。一种柱...
  • 本发明属于耐磨条抛光技术领域,涉及一种圆柱形耐磨条生产用抛光设备及方法,包括抛光机本体,抛光机本体上安装有滑台座和抛光轮,滑台座上固定连接有导轮,抛光机本体上设置有辅助组件,辅助组件包括对中部件与引导部件,对中部件用于将耐磨条约束并对准抛光...
  • 本发明涉及石材加工技术领域,提供一种石材边沿加工设备,解决现有石材边沿加工设备由于设计缺陷易造成石材损伤、位置偏移,同时加工效率低下的问题。本发明包括:往返轨,包括两条间隔设置的输送轨;下压辊组,设于各所述输送轨一侧;驱动部件,用于使所述下...
  • 本发明公开了一种计算机加工用抛光装置,涉及计算机加工技术领域,包括抛光装置本体,所述抛光装置本体包括底座,所述底座顶部的后侧固定安装有抛光组件,所述底座顶部的左侧固定安装有固定座,所述固定座的顶部固定安装有旋转底盘组件。本发明通过设置除尘机...
  • 本发明提供一种榫齿结构的自适应振动抛光装置、方法,属于精密机械加工技术领域;装置包括往复振动驱动机构、力控执行器、仿形抛光工具、抛光介质供给单元及控制系统。控制系统基于力控执行器反馈信号自动识别接触点建立加工零点;在抛光过程中协同控制振动频...
  • 本发明涉及磁性材料加工技术领域,且公开了一种磁性材料加工用表面处理装置,包括支架,所述支架的上表面固定连接有加工台,所述加工台的后侧下表面固定连接有电动导轨一,所述支架的上表面滑动连接有移动台,所述移动台的前侧下表面固定连接有移动架,所述移...
  • 一种首饰链滑轮抛光装置,包括机柜、抛光装置和出料驱动装置,机柜内设置有抛光装置和出料驱动装置,抛光装置包括抛光轮、抛光电机;出料驱动装置包括出料驱动电机、出料驱动轮和动轮;所述抛光电机前端设置有抛光轮,带动抛光轮进行周向转动;抛光轮与动轮和...
  • 本发明公开了一种在线轧辊镜面抛光机及其操作系统,包括轧辊限位机、抛光机构件、激光测量仪、调节构件,所述抛光机构件连接在调节构件上,所述激光测量仪连接在抛光机构件上,所述调结构件用于对抛光机构件的位置进行调节,所述激光测量仪用于对轧辊限位机上...
  • 本发明涉及自定心控制技术领域,公开了一种自定心力控装置,包括浮动装置和调节装置,浮动装置包括浮动座、安装在浮动座上的第一浮动环和第二浮动环、用于连接浮动座、第一浮动环、第二浮动环的两组滚珠衬套组件,和设置在第二浮动环的锥形面上的滚珠组件。其...
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