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  • 本发明公开了一种激光调控实现键合界面功能化制备晶圆压力传感器的方法,所述制备方法包括,分别在承载晶圆和器件晶圆表面制备无机释放材料前体层和临时键合胶层,承载晶圆能够透过激光,无机释放材料前体层包含有机高分子聚合物组分,能在激光辐照下热解成导...
  • 本发明涉及一种硅纳米管阵列制备方法,包括:提供硅衬底,在所述硅衬底表面制备纳米管阵列图形,利用Bosh工艺进行深硅刻蚀,形成硅纳米管阵列。其中,所述利用Bosh工艺进行深硅刻蚀的过程中,刻蚀气体为SF66,钝化气体为C44F88,所述SF6...
  • 本发明公开了一种用于超声波收发器空腔形成的止动条结构及封装方法,属于微机电系统(MEMS)封装技术领域,所述止动条结构设置于芯片表面空腔区域外围,用于在模塑工艺中阻挡模塑材料流入空腔区域,其中,所述止动条采用合围呈内外至少两圈的布局方式,且...
  • 本发明涉及流体输送与精密控制领域,公开了一种高粘度流体涂覆辊的循环供料及温度控制方法,该系统以复合热场作为唯一驱动力,其核心包括内置热响应高导热柔性复合衬里的管道、分布式热电致动单元阵列及中央控制器。控制器解算并施加一复合热场:首先,利用纵...
  • 本发明公开了一种甲醇车对船自动加注泵橇设备,包括两台加注泵、卸料支管、气相管路、真空排气系统和氮气系统。本发明通过泵、阀门、液位监测、压力监测、气相管路、液相管路和真空排气系统等设置和优化,配合自动控制技术,实现了自动化加注技术和全封闭加注...
  • 本发明公开了一种机械式定量灌装装置,包括依次连接的负压室、支座和阀体、可升降地设于支座中的驱动杆、连接在驱动杆下端的阀门杆、设于阀体中的第一弹性件、开设于阀体侧部的进液口、开设于阀体底部且具有缩径段的出液口、上端穿设于阀体中的液位调整管、设...
  • 本发明涉及塑料瓶输送技术领域,具体公开了一种塑料瓶输送装置,包括:机壳、设于机壳的灌装管、设于机壳的输送架以及转动于输送架的输送带,输送架上设有夹持模块以及封堵模块;夹持模块包括两组前后对称设于输送架上的夹持单元,每组夹持单元均包括设于输送...
  • 本发明公开了一种氧气湿化瓶用吹灌封一体化设备及其使用方法,包括吹瓶机构、抓取机构、驱动机构、下料机构、罐装机构和封口机构;门形架的开口槽沿水平横向设置,且在地面上相对于门形架内左右间隔设有上料机构和下料机构;在门形架内左右间隔设有吹瓶机构和...
  • 本申请提供了一种基于夹爪的开盖控制方法、装置及开盖控制系统,应用于开盖控制系统的控制器,开盖控制系统还包括与控制器连接的检测器集群、机械臂和至少一个驱动装置,以及连接至少一个驱动装置的至少一个夹爪装置,方法包括:通过检测器集群采集第一物品的...
  • 本发明公开一种多用途的屏蔽罐的开关盖装置,涉及屏蔽罐开启技术领域,机架、升降驱动机构、升降架、定位环、旋转驱动机构以及爪头组件;升降驱动机构设置于机架上;升降架与升降驱动机构连接并在其驱动下作升降运动;定位环固定连接于升降架的底部,用于对屏...
  • 本发明公开了一种喷雾瓶瓶盖装配装置,包括机体,所述机体的顶部前侧设置有对瓶体和瓶盖进行上料的机械臂,所述瓶盖的内部螺纹连接有抽取管。本发明通过夹持机构、第一清理机构、装配机构、联动机构和第二清理机构的配合使用,首先实现对第二清理棉套在瓶体开...
  • 本申请涉及灌装技术领域,特别是涉及一种自定心柔性开关盖装置、方法及灌装机,开关盖装置包括旋转单元和抓取单元,旋转单元包括依次排布的旋转驱动、转轴以及转头,转轴与转头相连接的一端置于转头表面所开设的安装槽内,在转轴的端面与安装槽的底面可相互接...
  • 本发明提供了一种无障碍通道轮椅辅助上下坡装置,涉及道路工程技术领域。该装置安装在通道扶手上,包括:第一壳体与电动挂件,所述第一壳体套设在所述通道扶手上,所述电动挂件的第一端可转动连接在所述第一壳体的外侧壁上,轮椅扶手与所述电动挂件的第二端可...
  • 本发明公开了变电站室外电缆沟盖板机械化平整系统及操作方法,包括车板和固定连接在所述车板上的控制推杆,所述车板上还安装有车轮,还包括有设置在所述车板两侧的滚轮夹具,所述滚轮夹具包括滚轮本体;所述滚轮夹具安装在安装板上,所述滚轮本体可左右移动的...
  • 本发明提供一种隧道拱顶作业用可调式升降维护平台,属于隧道维护技术领域,包括移动小车,所述移动小车上设置的承载平台,还包括:设置在移动小车上的升降单元,通过升降单元用于将承载平台升降操作,所述移动小车上设置有支撑机构,所述支撑机构用于对移动小...
  • 本申请提供一种高空作业车底架浮动装置和高空作业车,涉及高空作业车技术领域。高空作业车底架浮动装置包括:底架主体,以及与底架主体连接的前桥总成和后桥总成;后桥总成与底架主体连接;浮动机构,连接于前桥总成与底架主体之间,浮动机构包括可锁止的浮动...
  • 本发明公开了一种高空作业车倾覆态势预警方法及系统,方法包括:求解高空作业车多个部件的总力矩、在竖直方向的载荷及相邻两个支腿终点连线的水平及竖直距离,从而得到各支腿支反力;若各支腿支反力均大于对应支腿底部吸盘所能提供的负压吸附力,高空作业车不...
  • 本申请提供的一种电力工程维修用升降设备涉及电力工程技术领域。该升降设备包括固定底架和支撑架,固定底架包括底座和固定架体。支撑架套设于固定架体的外部,固定架体上设置有用于为支撑架的上下移动提供导向的导向轮。支撑架从上往下依次包括顶架和支撑主架...
  • 本发明提供一种无人搬运车,其包括叉臂组件、第一安装座及第一支撑件和第二支撑件,所述第一安装座活动连接于所述第一支撑件和第二支撑件之间,所述叉臂组件安装在所述第一安装座上,所述第一安装座、所述第一支撑件和第二支撑件下分别安装有行走轮组件,所述...
  • 本发明属于自动化仓储物流技术领域,具体涉及一种通过激光传感器对叉取货物进行轮廓自学习与自建模,并结合主从式多传感器融合判决机制,实现叉车AGV在叉取方向上安全避障控制的方法。方法主要包括以下步骤:任务分配与路径规划,作业状态识别与避障模式切...
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