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一种载流子衰减时间标准样片的制备与钝化工艺
本发明涉及半导体材料制备技术领域,公开了一种载流子衰减时间标准样片的制备与钝化工艺,包括以下步骤:制备钝化前驱体溶液;对半导体基片进行预处理;将所述钝化前驱体溶液采用旋涂沉积的方式施加于所述半导体基片表面,形成湿膜;对所述湿膜进行低温凝胶化...
测试结构
本发明提供一种测试结构。测试结构包括至少一个测试器件。测试器件包括衬底、隔离结构与多个字线。隔离结构位于衬底中。隔离结构在衬底中定义出多个有源区。多个字线包括交替排列的多个第一字线与多个第二字线。多个第一字线位于多个有源区中。多个第二字线不...
石墨载具及若干物料片的组装装置及组装方法
本发明的目的在于揭示一种石墨载具及若干物料片的组装装置及组装方法,涉及陶瓷片和铜板烧结技术领域,所述机械手组件将所述石墨载具料仓内的石墨载具移载至所述载具平台;所述机械手组件将所述下盖板料仓内的下盖板移载至所述石墨载具的底面;所述陶瓷片搭载...
芯片吸附装置
本发明公开了一种芯片吸附装置,包括主体支架、变距组件以及三个吸附组件,三个吸附组件包括支撑于所述主体支架的中央吸附组件,以及分别设置于该中央吸附组件两侧的两个移动吸附组件,所述中央吸附组件包括中央支架和安装于该中央支架上的中央旋转轴,所述移...
一种吸嘴
本发明涉及半导体贴片封装技术领域,具体涉及一种吸嘴,包括吸头与支杆,吸头包括吸附端部与身部,吸附端部包括设有吸口的吸附面,身部的一端连接吸附端部远离吸附面的一侧,另一端在远离垂直于吸附面的中心轴线方向倾斜延伸设置;支杆连接于身部的另一端,以...
一种承载装置
本发明涉及半导体量测技术领域,尤其涉及一种承载装置,包括:卡盘,所述卡盘具有真空吸附部,所述真空吸附部具有承载面;所述真空吸附部包括中心部和围绕所述中心部的边缘部,所述边缘部包括至少1个环形部;所述真空吸附部内具有第一气道和至少1个第二气道...
转移模块及包括该转移模块的基板处理装置
本公开提供转移模块及包括该转移模块的基板处理装置。转移模块包括:支承板,基板支承在支承板上;以及吸附部分,设置在所述支承板上,吸附并且固定所述基板的下表面,并且包括在外周表面中在一个方向上向内凹入形成的凹槽。
一种晶圆复合旋转装置
本发明提供一种晶圆复合旋转装置,用于解决现有技术中晶圆承载装置难以安装多片晶圆,且不能保证多片晶圆位置调节和运动控制的一致性,导致片间均匀性波动较大,严重制约高端半导体器件的量产良率和生产成本控制的问题。为本发明提供一种晶圆复合旋转装置,包...
一种太阳能电池片自动串焊机的电池片夹持装置
本发明涉及电池片串焊领域,尤其涉及一种太阳能电池片自动串焊机的电池片夹持装置,包括:架体,所述架体内设置有输送带,输送带将叠放好的电池片和焊带输送至焊接区域,所述架体上通过往复直线驱动机构设置有安装板,所述往复直线驱动机构用于驱动安装板沿着...
一种静电卡盘及其制备方法
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种静电卡盘及其制备方法。本发明提供的静电卡盘包括陶瓷基体、连接层、基座、静电电极和加热电极;陶瓷基体与基座之间通过连接层连接;静电电极和加热电极埋设于陶瓷基体中,且在陶瓷基体中具有高度差;加热电极与陶瓷基...
晶圆对准装置及对准方法
本发明属于半导体材料键合技术领域,公开了一种晶圆对准装置及对准方法。晶圆对准装置包括底座、载台组件、第一视觉机构、第二视觉机构和控制系统;载台组件安装于底座,载台组件包括支撑座和安装于支撑座的上载台和下载台,上载台用于承托上晶圆,下载台用于...
一种芯片视觉定位的方法
本发明公开了一种芯片视觉定位的方法,该方法包括以下步骤:步骤1:通过视觉系统对芯片表面凸点进行拍摄,获得原始的凸点图像,并对原始的凸点图像进行预处理,得到标准图像;步骤2:对标准图像中的凸点进行定位,确定芯片的定位中心,其采用的方式为:首先...
晶圆中心化对位治具
本申请公开了一种晶圆中心化对位治具,包含第一限位组件。第一限位组件具有第一中空本体、复数个第一限位件与第一中空板体。各第一限位件可径向移动地嵌设在第一中空本体,第一中空板体可相对第一中空本体移动,且第一中空板体的顶面接触各第一限位件的底面,...
一种转运装置及边缘腐蚀机
本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种转运装置及边缘腐蚀机。转运装置包括水平滑座、机械轴、工装以及第二旋转驱动模组,其中:水平滑座装设于机体上;机械轴的上端和第二旋转驱动模组均装设于水平滑座上;工装包括容置框、夹板以及两个压板,容置框固...
一种开关门弹性结构及晶圆容器
本发明涉及一种开关门弹性结构及晶圆容器,包括:设置于门底板与门盖板之间的弹性件;两端分别设有固定端连接件一和随动端连接件一,门底板上有用于固定端连接件一枢接的固定连接件二,旋转凸轮上有用于随动端连接件一枢接的随动连接件二,在跟随旋转凸轮旋转...
晶圆检测用自动上下片装置及方法
本申请涉及一种晶圆检测用自动上下片装置及方法。该装置包括:供料机构、上下片机构以及旋转大盘机构。供料机构包括第一滑台、第二滑台和多个晶圆料盒,供料机构用于通过第一滑台或第二滑台驱动多个晶圆料盒沿第一方向或第二方向移动;上下片机构包括上下片旋...
一种固晶料盒自动悬挂周转装置
本发明提供一种固晶料盒自动悬挂周转装置,涉及料盒自动周转技术领域,包括固晶组件,其包括放置台;加热组件,其包括炉体,炉体的内部底部为第一加热腔、内部顶部为第二加热腔;第一加热腔用以加热烘干固晶后的载盘,第二加热腔用以对空载盘进行加热除湿处理...
物品移送设备及吊顶式储存装置
公开了一种吊顶式储存装置。吊顶式储存装置包括:框架模块;搁板,其设置于框架模块并供物品放置;以及升降驱动器,其设置于框架模块,并且调节搁板高度从而调节吊顶式储存装置的上下幅度。
物品传送设备及吊顶式存储装置
公开了一种吊顶式存储装置。吊顶式存储装置包括:下部结构,具有放置物品的搁板;上部结构,设置于吊顶;以及幅度调节部,设置在所述上部结构与所述下部结构之间,通过调节所述下部结构的高度来调节所述吊顶式存储装置的上‑下幅度。
一种镀膜载板移动装置
本申请提供了一种镀膜载板移动装置,用于载板组件,载板组件包括齿条、固定在齿条下方的连接块以及安装在连接块上的载板,装置包括:固定座,固定座的下方设置有定位板,定位板的底部固定连接有两组的轴承定位板,一组轴承定位板包括呈间隔设置的两个的轴承定...
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