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最新专利技术
  • 飞行时间质谱仪和方法
    飞行时间质谱仪和方法_杭州谱育科技发展有限公司_202511428305.7
    本发明涉及质谱技术，具体提供了飞行时间质谱仪和方法，所述质谱仪包括推斥极、牵引极和电源；依次设置第一离子透镜、第二离子透镜、第三离子透镜和第四离子透镜，推斥极和牵引极设置在所述第二离子透镜和第三离子透镜之间，且离子穿过推斥极和牵引极之间；电...
    2026-03-01
  • 一种离子分离装置及离子分离方法
    一种离子分离装置及离子分离方法_中国科学院合肥物质科学研究院_202511983842.8
    本申请公开了一种离子分离装置及离子分离方法，属于质谱分析技术领域，本装置包括：质量分析器，包括三层平行的上极板、下极板和中间支撑层；上极板与下极板的相对面均设置有矩形电极，所有矩形电极均沿上极板与下极板的长度方向平行排列，且相邻矩形电极的间...
    2026-03-01
  • 基于多极杆的碰撞反应池和方法
    基于多极杆的碰撞反应池和方法_杭州谱育科技发展有限公司_202511428297.6
    本发明涉及质谱领域，提供了基于多极杆的碰撞反应池和方法，所述碰撞反应池，包括依次设置的第一透镜、多极杆和第二透镜，以及谐振电路，所述谐振电路的输出连接所述多极杆；所述谐振电路包括：依次连接的DDS、隔离运放、过流保护电路、RF驱动电路，RF...
    2026-03-01
  • 一种蚀刻机台用感应式保护装置
    一种蚀刻机台用感应式保护装置_江苏汇成光电有限公司_202511591435.2
    本发明涉及蚀刻机台保护技术领域，公开了一种蚀刻机台用感应式保护装置，包括设备本体，设置于所述顶腔上方的安装顶座，设置于所述安装顶座顶部的感应式传感器，设置于所述安装腔内腔的安装部件，设置于所述顶腔内腔的快速固定部件。该蚀刻机台用感应式保护装...
    2026-03-01
  • 一种加热装置及等离子体处理设备
    一种加热装置及等离子体处理设备_中微半导体设备(上海)股份有限公司_202410995767.6
    一种用于等离子体处理设备的加热装置，等离子体处理设备的反应腔内具有支撑晶圆的基座，基座的外围环绕设置有边缘环，边缘环的外围和反应腔的侧壁之间设置有约束环，加热装置包含设置在约束环下方的环状主体和延伸部，环状主体的内部具有加热器，用于加热约束...
    2026-03-01
  • 多层靶位批靶离子注入机
    多层靶位批靶离子注入机_北京烁科中科信电子装备有限公司_202511306166.0
    本发明公开了一种多层靶位批靶离子注入机，包括依次连通的片库腔体，机械手腔体，换片腔体和靶室腔体，片库腔体用于存放晶片，机械手腔体内设有机械手；换片腔体内设有换片机构，用于实现晶片水平状态与垂直状态的相互切换和晶片在换片腔体与靶室腔体之间的传...
    2026-03-01
  • 一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机
    一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机_无锡动源电子科技有限公司_202410971544.6
    本发明公开了一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机，包括机体，固定连接在机体顶部的承载板，固定安装在承载板顶部的靶向室，固定安装在承载板顶部且位于靶向室内部的靶盘，所述承载板的顶部设置有测温结构，所述测温结构包括通过轴承活...
    2026-03-01
  • 一种多电子束扫描装置及成像系统
    一种多电子束扫描装置及成像系统_华为技术有限公司_202411015180.0
    本申请提供一种多电子束扫描装置及成像系统，涉及扫描电子显微镜技术领域，用以改善现有的扫描装置的应用场景比较局限等问题，多电子束扫描装置，包括电子源、扫描器、物镜和型号探测器；电子源用于生成电子束；扫描器用于利用电子束对待测样品进行扫描；物镜...
    2026-03-01
  • 离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备
    离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备_杭州富芯半导体有限公司_202511604744.9
    本申请涉及一种离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备。该离子束检测装置包括第二法拉第检测单元和处理单元。第二法拉第检测单元包括水平检测单元和竖直检测单元。水平检测单元用于在竖直检测单元沿竖直方向上下旋转至少一个检测周期时获取竖直检测单...
    2026-03-01
  • 一种监测结构、方法、装置及设备
    一种监测结构、方法、装置及设备_上海光通信有限公司_202410995325.1
    本申请提供一种监测结构、方法、装置及设备，该监测结构用于对目标电镜进行监控，该监测结构包括至少一个监测单元，其包括圆形结构、至少一个沿着第一方向延伸的第一条形结构和至少一个沿着第二方向延伸的第二条形结构，至少一个第一条形结构和至少一个所述第...
    2026-03-01
  • 一种用于半导体离子注入机靶盘的硅片悬压机构
    一种用于半导体离子注入机靶盘的硅片悬压机构_吉林市汇恒电子科技有限公司_202511863748.9
    本发明公开一种用于半导体离子注入机靶盘的硅片悬压机构，涉及新能源汽车领域，包括底盘；靶盘底座，所述靶盘底座分布安装在底盘上；靶盘上盖，所述靶盘上盖与靶盘底座通过旋转轴组件可转动连接；滑动限位装置，所述靶盘上盖通过旋转轴组件转动形成滑动限位装...
    2026-03-01
  • 基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统
    基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统_季华实验室_202512032328.2
    本申请属于远程等离子体源技术领域，公开了一种基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统，包括远程等离子体源及其气体入口处的紫外光预离化装置；紫外光预离化装置包括：壳体，具有由透光隔板分隔的气体流道和密封气腔，密封气腔内填充有氙气，气体...
    2026-03-01
  • 多焦点X射线管、和多焦点X射线源和人体层析成像设备
    多焦点X射线管、和多焦点X射线源和人体层析成像设备_新鸿电子有限公司_202511281871.X
    提供一种多焦点X射线管、和多焦点X射线源和人体层析成像设备，多焦点X射线管包括：壳体、窗体和多个阳极，在壳体的前壁上设有多个间隔布置的引出窗口；窗体覆盖在多个引出窗口上，以对壳体进行密封；阳极位于壳体内并具有与多个引出窗口一一对应的多个靶点...
    2026-03-01
  • 一种螺旋慢波结构的制备方法
    一种螺旋慢波结构的制备方法_北京京东方技术开发有限公司_202411018167.0
    本公开提供一种螺旋慢波结构的制备方法，包括：提供一基材；在基材上形成N个并排设置的导电结构；导电结构具有相对设置的第一端和第二端；弯折基材，将第i个导电结构的第二端和第i+1个导电结构的第一端连接；i取1～N‑1，N为大于2的正整数；去除基...
    2026-03-01
  • 一种用于大功率脉冲氙灯的复合功能灯头结构及其制备方法与大功率脉冲氙灯
    一种用于大功率脉冲氙灯的复合功能灯头结构及其制备方法与大功率脉冲氙灯_中国科学院上海光学精密机械研究所_202512019103.3
    本发明公开了一种用于大功率脉冲氙灯的复合功能灯头结构及其制备方法与大功率脉冲氙灯，该灯头结构包括柔性遮光件和弹性绝缘封装体，柔性遮光件紧密贴合于石英灯管与尾管的熔封圆弧过渡区外表面，用于完全阻隔放电光线对绝缘材料的辐照；弹性绝缘封装体包覆于...
    2026-03-01
  • 一种自触发型分断系统及烟火式熔断器
    一种自触发型分断系统及烟火式熔断器_西安宏发电器有限公司_202511762675.4
    本发明涉及熔断器技术领域，具体涉及一种自触发型分断系统及烟火式熔断器；导体上设有双金属片组件，双金属片组件抵接于熔丝斩断件并将熔丝斩断件限位于信号熔丝的下方；当过载电流通过导体时，信号熔丝发热而后热量传递至双金属片组件，双金属片组件受热脱离...
    2026-03-01
  • 一种密闭型腔的低压断路器
    一种密闭型腔的低压断路器_安徽华易电气有限公司_202511567678.2
    本发明涉及低压断路器领域，公开了一种密闭型腔的低压断路器，包括断路器主体，断路器主体内部形成容纳空间，容纳空间内安装有分合闸操作结构，断路器主体两端分别设有进线端、出线端，断路器主体靠近出线端一端形成若干灭弧腔；灭弧腔内设置有静触头组和动触...
    2026-03-01
  • 取电装置及断路器
    取电装置及断路器_浙江正泰电器股份有限公司_202410996865.1
    本发明涉及低压电器领域，具体涉及一种取电装置以及一种包括所述取电装置的断路器；取电装置包括断路器的触头系统以及第二取电机构，触头系统包括动触头机构和静触头，动触头机构包括动触头、支持和触头弹簧；所述第二取电机构包括固定设置的承载件以及安装在...
    2026-03-01
  • 一种漏电断路器
    一种漏电断路器_浙江高能格乐电气有限公司_202511710860.9
    本发明公开了一种漏电断路器，涉及到断路器技术领域，包括断路机构，所述断路机构包括：壳体，其用于结构的安装；跳扣，其设置在壳体中，漏电时，所述跳扣转动；还包括串联模块，所述串联模块包括：功能件，电路漏电时，做出功能性反馈；运动扣，断路时运动扣...
    2026-03-01
  • 一种快速分闸的柱上断路器
    一种快速分闸的柱上断路器_陆牌电气科技有限公司_202511457202.3
    本申请涉及一种快速分闸的柱上断路器，具体涉及智能型配电系统、设施等配电开关控制设备制造技术领域，所述断路器本体的腔内设置有分闸主轴，所述分闸主轴的一端连接有拉簧，所述拉簧的一端连接有调节块，所述断路器本体的腔内一侧固定连接有调节轴，所述调节...
    2026-03-01
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