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基于规则和模型的SRAF图形生成方法、系统及终端
本申请提供了一种基于规则和模型的SRAF图形生成方法、系统及终端,基于预定义的SRAF插入规则,在光刻掩膜设计版图的每个光刻图案周边插入多个初始SRAF图形,并基于预定义的SRAF清理规则以及基于光刻工艺模型,联合对插入的多个初始SRAF图...
金属层图形的辅助图形添加方法及版图
本发明提供了一种金属层图形的辅助图形添加方法及版图,属于半导体领域。该金属层图形的辅助图形添加方法包括提供一原始版图,所述原始版图至少包括金属层图形和孔洞层图形。在所述金属层图形的尾端设置辅助图形,所述辅助图形的参数满足设定的要求,所述辅助...
一种生成曲线化掩模图形的方法及装置
本申请公开了一种生成曲线化掩模图形的方法及装置,每次边移动处理后的曼哈顿版图均对应唯一的等效曲线版图,在优化迭代过程中,该等效曲线版图用于替代曼哈顿版图进行光刻成像仿真。当优化收敛后,是对当前分段边移动处理后的曼哈顿版图执行曲线化处理,生成...
凸多边形掩膜版的曼哈顿化掩膜生成方法、装置、介质、程序产品及终端
本申请提供的凸多边形掩膜版的曼哈顿化掩膜生成方法、装置、介质、程序产品及终端,本申请采用缓冲区技术生成缓冲区,在区域内进行曼哈顿化,目的是将凸多边形中相邻的多条线段结合起来再进行曼哈顿化,最终可以生成较少的曼哈顿边去逼近原始掩膜图形,能够解...
地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备
本申请公开了一种地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备,其中,该地形感知光学邻近效应修正方法包括获取原始设计版图;使用当前TOPC模型对原始设计版图进行地形感知光学邻近效应修正,生成初始修正版图;对基于初始修正版图制造的晶圆...
面向曲线型芯片版图的掩模优化方法、装置、设备及介质
本申请公开了一种面向曲线型芯片版图的掩模优化方法、装置、电子设备及可读存储介质,属于半导体制造技术领域。该方法包括步骤:获取目标曲线型芯片版图对应的设计图形;基于所述设计图形,生成用于表示初始掩模版图形的目标曲线;基于所述目标曲线确定边缘放...
掩模坯料基板及其制造方法
本发明涉及掩模坯料基板,当限定以所述主表面的对角线的交点为中心并且由位于距152mm或更大×152mm或更大的矩形主表面的四条边的向内方向上的5mm处且平行于所述主表面的四条边的四条边围成的矩形区域时,所述矩形区域的平坦度为100nm或更小...
一种具有缓冲功能的投影幕插件结构
本发明提供了一种具有缓冲功能的投影幕插件结构,包括外壳,所述外壳内安装有幕布机构,所述外壳的至少一端安装有插接机构,所述插接机构包括插座机构和可拆卸连接的外接机构,所述插座机构包括与所述外壳端部相连的连接板,所述连接板的一侧安装有具有弹性的...
车辆用投影仪
本发明涉及一种车辆用投影仪,更详细地讲,涉及一种投射用于在车辆的内部或外部显示信息的图像的车辆用投影仪。根据本发明的实施例的车辆用投影仪可以包括:发光部,发出用于形成图像的光;光学部,包括沿基准轴布置在从所述发光部发出的光的路径上的至少一个...
背投显示器和车辆
本发明公开了一种背投显示器和车辆,涉及显示器技术领域,其中,背投显示器包括光源、投影镜组和背投屏。光源用于产生载有图像信息的图像光。投影镜组设置在光源的出光侧,以接收图像光。背投屏呈曲面状;背投屏设置在投影镜组背向光源的一侧;背投屏的凹侧朝...
光学投影系统以及AR光学设备
本申请提供了一种光学投影系统以及AR光学设备;所述光学投影系统用于AR光学设备的投影光机,其包括显示器、平板反射镜、第一透镜和第二透镜;平板反射镜设于所述显示器的出光路径上,用于将图像光的传播方向折转;第一透镜设于经平板反射镜折转后的光路上...
一种空间相机复合隔热件
本发明涉及航天器热控技术领域,具体提供一种空间相机复合隔热件,其设置在空间相机的可见通道与红外通道之间,主要由腔式隔热结构、安装面、隔热垫、辐射隔膜以及辐射隔板组成,其中,腔式隔热结构包括锥台或柱体的空心结构,以及空心结构两端向外延伸的翻边...
一种水下相机及其防水外壳
本申请适用于成像设备技术领域,提供一种水下相机及防水外壳,防水外壳包括防水罩、防水壳体、限位组件和第一复位件,防水罩的连接部设有多个第一凸起;防水壳体包括前壳体和转动的第一转动件,第一转动件设有多个第二凸起,前壳体上设有限位部;限位组件设于...
一种演播补光装置
本发明涉及演播摄影技术领域,具体为一种演播补光装置,包括固定底座,所述固定底座的底部四周处安装有用于移动的传输轮,所述固定底座的上端面中部转动设置有往复螺柱,所述往复螺柱的底部与电机一输出端连接,所述往复螺柱的外周面螺纹设置有驱动套,所述驱...
一种倾斜补光照明的光学模组
本发明公开了一种倾斜补光照明的光学模组,包括补光照明模块和接收相机模块,补光照明模块包括红外补光单元和/或白光补光单元,接收相机模块包括红外相机单元、可见光相机单元或红外和可见光二合一相机单元中的一者或两者,可选择地在相机单元四周的任意一个...
光圈驱动装置
根据本发明的实施例的光圈驱动装置的特征在于,包括:转子,以定子为基准进行旋转;多个叶片,与上述定子及上述转子连接,通过上述转子的旋转进行旋转;第一轨道,以彼此面对的方式分别设置在上述定子及上述转子,具有圆弧形状,垂直截面为V字形;多个第一滚...
一种基于掺铒光波导的高消光比全光开关及制备方法
本发明公开一种基于掺铒光波导的高消光比全光开关及制备方法,涉及集成光子器件技术领域。所述开关包括:由下至上依次设置的硅衬底和二氧化硅埋氧层,以及在所述二氧化硅埋氧层上设置的波分复用器、掺铒光波导和具有饱和吸收特性的二维材料;所述波分复用器用...
一种宽温域光频梳重复频率单一频点锁定系统及方法
本发明涉及属于频率控制技术领域,具体涉及一种宽温域光频梳重复频率单一频点锁定系统及方法,能够实现光频梳宽温域下光频梳重复频率的高精度、长时间单一频点锁定,实现高准确性检测光频梳比较重复频率与目标参考频率值大小以及误差信号频率值大小,并且能根...
一种硅基MZ调制器的制备工艺
本发明公开了一种硅基MZ调制器的制备工艺,涉及光通信元件领域,准备绝缘体上硅晶圆;制备硅波导并蚀刻,初步形成硅层;将带电的杂质离子加速并注入到硅层中;采用深紫外光刻设备加工,蚀刻制作波导中间的Slot;制作电极通孔和铝铜金属层;增厚二氧化硅...
高线性集成双级干涉马赫曾德调制器
本公开提供了一种高线性集成双级干涉马赫曾德调制器,包括:第一级干涉调制单元和第二级干涉调制单元;第一级干涉调制单元包含可调分束器、第一共面波导行波电极、第一直流电极、第二直流电极及第一等比合束器;第一直流电极在热学上耦合至可调分束器,第二直...
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流体压力执行机构;一般液压技术和气动零部件的制造及其应用技术
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气体或液体的贮存或分配装置的制造及其应用技术
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