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用于校准、预测及控制EUV光刻中随机缺陷的方法
接收在工件的检验区域内随机缺陷的初始发生概率。按照所述初始发生概率对所述随机缺陷的全部位置进行排序。确定累积预期缺陷计数且将所述累积预期缺陷计数正规化为总预期缺陷计数的分率。确定用于捕捉高于总随机缺陷的阈值的潜在随机缺陷的缺陷位置的数目。
光学系统和光刻系统
本发明涉及一种光学系统(300),其具有多个可致动光学元件(310)和多个用于致动和/或感测光学元件(310)的致动器/传感器装置(200),该光学系统具有用于为光学系统(300)的多个电负载(500,L1‑L12)提供供电电压(VS)的供...
光学测量标记、光学测量系统和光刻设备
一种用于成像系统的光学测量标记,包括反射区,所述反射区被配置成反射入射辐射以用于由所述成像系统形成所述光学测量标记的图像。所述光学测量标记包括扩散子结构,所述扩散子结构被配置成散射所述入射辐射以用于增加所述成像系统的数值孔径的照射。
制造用于物体保持器的电极的方法
一种制造用于物体保持器的电极的方法,所述方法包括在第一绝缘层上形成至少两个电极部分,所述至少两个电极部分彼此间隔开,在所述第一绝缘层上在所述至少两个电极部分之间形成至少一个绝缘部分,使得所述至少一个绝缘部分填充所述至少两个电极部分之间的空间...
用于使基板对准的旋转基板支撑件
本文提供了用于使基板对准的基板支撑件的实施例。在一些实施例中,一种用于使基板对准的基板支撑件包括:底板;旋转组件,所述旋转组件包括定子和转子,所述定子耦接到所述底板,所述转子经由设置在所述定子与所述转子之间的轴承可旋转地耦接到所述定子;波纹...
用于确定样品台上样品的取向的方法、装置和计算机程序
本发明涉及一种用于确定样品在可绕旋转轴线旋转的样品台上的取向的方法。该方法包括:a)将样品相对定位在第一位置;b)使样品相对于高度传感器旋转通过第一旋转角度;以及c)在旋转期间使用高度传感器重复测量样品的第一高度。在该过程中,为了测量第二高...
电光组件及其中所用的材料
一种电光介质,其包含封装的材料和粘合剂,所述封装的材料被配置成在施加电场时切换光学状态,并且所述粘合剂包含具有多个侧链的聚合物,其中所述侧链的至少一部分具有离子部分。
液晶取向剂、液晶取向膜、液晶显示元件
提供一种液晶取向剂、由该液晶取向剂得到的液晶取向膜以及液晶显示元件,所述液晶取向剂在室温保存时产生的液晶取向膜的预倾角的变动得到抑制,含有两种以上聚酰胺酸。一种液晶取向剂,其特征在于,能形成预倾角为0°以上且小于3°的液晶取向膜,所述液晶取...
电光调制器和操作方法
本公开涉及电光调制器和操作该电光调制器的方法。一种电光调制器,包括:基底;光波导,其被布置在所述基底上;以及第一石墨烯层,使得输入光在操作期间被电光调制器吸收。电光调制器被配置为在8微米至15微米的波长下操作。
调节电磁波的装置及其制造方法
一种优选地经调适及布置用于修改电磁波的至少一个性质、更优选地经调适及布置用于调节电磁波的装置(100)包括:a.波导(101),其经调适及布置用于传播电磁波;b.第一元件(102)及第二元件(103),i.其中在所述装置(100)的横切面中...
内包疏水性构件的混合型隐形眼镜的制造方法
本发明的目的是提供一种制造内包作为与隐形眼镜基材性质不同的材料的疏水性构件的混合型隐形眼镜的方法,该方法步骤具体,且对隐形眼镜光学特性的影响较小。上述目的通过以下方法等解决,该方法包括:对由公模和母模嵌合而成的成型模进行第一共聚反应,其中,...
带扬声器的眼镜腿
现有的VR眼镜的扬声器漏音。若单纯地将PSZ扬声器用于VR眼镜的扬声器,则低频衰减。为了解决这些课题,本公开所涉及的带扬声器的眼镜腿具备扬声器和管路。扬声器配置为靠近眼镜腿的前框端。管路在靠近眼镜腿的耳挂端且在佩戴眼镜时位于外耳孔的附近的位...
瞳孔探测方法、瞳孔探测设备和数据眼镜
本发明基于一种瞳孔探测方法,尤其是用于数据眼镜(10),其具有至少一个扫描步骤(30),在该步骤中,至少一个激光反馈干涉测量(LFI)传感器(14)的激光束(12)、尤其是红外激光束,尤其是借助MEMS微镜系统(16)在用户眼睛(18)的可...
反射镜摆动装置以及LiDAR装置
一种反射镜摆动装置以及LiDAR装置。反射镜部(10)具有反射光的镜面(11)。延伸部(20)从反射镜部的背面(12)向与镜面(11)相反的一侧延伸。轴(30)固定到延伸部。台座(40)相对于反射镜部(10)而言设置于与镜面(11)相反的一...
反射镜装置及光扫描装置
反射镜装置包括:反射镜部;一对第1支承部;一对可动框(22);一对第2支承部(23);驱动部,具有隔着第1轴或第2轴(a22)对置的多个压电致动器(24、25);固定框(27);多个金属焊盘(80~84),形成于固定框(27)上;及多个金属...
用于具有快速扫描的测序系统的浸没式显微镜布置
一种设备包括成像组件和致动组件。成像组件包括物镜透镜和浸没流体组件。浸没流体组件的第一端口将浸没流体引入到物镜透镜的底表面下方。浸没流体组件的第二端口从物镜透镜的底表面下方移除浸没流体。浸没流体组件的侧壁在物镜透镜下方限定浸没流体保持区域。...
摄像透镜系统、摄像机模块、车载系统、移动体
本发明提供一种摄像透镜系统、摄像机模块、车载系统、移动体,紧凑化且高分辨率。摄像透镜系统(11)从物体侧朝向像侧依次包括:物体侧面将凸面朝向物体侧的具有负的光焦度的第一透镜(L1);物体侧面将凸面朝向物体侧的具有负的光焦度的第二透镜(L2)...
用于广角探测的大孔径光学系统
根据一个方面,本发明涉及一种具有给定近轴焦距F的光学系统,所述系统包括:由碱金属卤化物制成的第一透镜,包括第一近轴焦距F11和第一曲率β11,使得F11/F的模大于4.5且β11的模大于2,所述第一透镜布置在光阑的上游;由碱金属卤化物制成的...
透镜单元、摄像机模块、拍摄系统以及移动体
本发明提供在具备振动机构的透镜单元中,能够抑制将振动源与驱动电路基板连接的配线的振动的透镜单元、摄像机模块、拍摄系统以及移动体,其具有:第一框体(23),其设置有第一透镜(31);镜筒(22),其设置有相比于第一透镜位于像侧的透镜,该镜筒(...
滤光片块组装体及利用该滤光片块组装体的光学系统
本发明提供的一种滤光片块组装体包括:壳体;内置于所述壳体中的多个荧光通道和一个明视野通道;以及组装于所述壳体上用于提供照明的光源。所述滤光片块组装体,其特征在于,在所述多个荧光通道中的至少一者安装有第一光源,第二光源的光穿过所述明视野通道,...
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