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一种带P-well层的碳化硅半导体器件及其制备方法
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种带P‑well层的碳化硅半导体器件及其制备方法,包括若干个相互并列的MOS元胞,单个所述MOS元胞包括漏极、半导体外延层、源极、栅极以及覆盖在栅极表面上的栅氧化层,所述半导体外延层包括N衬底层、N...
一种基于沟槽工艺的SiC MOSFET芯片终端结构
本发明公开了一种基于沟槽工艺的SiC MOSFET芯片终端结构,包括:终端区n型漂移区和多个基本单元;其中,多个基本单元沿终端区n型漂移区的长度方向依次设置于终端区n型漂移区上。本发明解决了传统SiC MOSFET终端面积较大的问题。
超结半导体器件及其制造方法
本公开内容提供了一种超结半导体器件及其制造方法。超结半导体器件包括:基板;设置在基板上的多个外延层;设置在基板和外延层的一个区域上的有源区;围绕有源区的外围区和边缘终端区;以及分别设置在多个外延层中的多个第一导电型柱区和多个第二导电型柱区。...
一种SiC超结LDMOS器件及制造方法
本发明实施例提供了一种SiC超结LDMOS器件及制造方法,包括P型衬底;N型外延层,设于P型衬底的上方;第一P型区和第二P型区,分别设于N型外延层内;第一P型区的长度大于第二P型区;第一N型区位于第一P型区的上方;第二N型区位于第二P型区的...
半导体结构及其形成方法
一种半导体结构及其形成方法,结构包括:基底;第一阱区,位于基底中;第二阱区,位于第一阱区侧部的基底中,第二阱区的掺杂类型与第一阱区的掺杂类型不同;一层或多层缓冲层,位于第二阱区中,缓冲层的掺杂类型与第二阱区的掺杂类型相同,且缓冲层中掺杂离子...
半导体装置
提供能够提高可靠性的半导体装置。一实施方式的半导体装置具备具有单元区域以及设于单元区域的外侧的末端区域的半导体部、设于半导体部的背面上的第一电极、设于半导体部的表面侧的第二电极、隔着在从单元区域朝向末端区域的方向上排列的多个第一绝缘膜中的一...
半导体结构及其形成方法、掩膜版图
一种半导体结构及其形成方法、掩膜版图,结构包括:基底;栅极结构,位于基底的顶部,栅极结构的延伸方向为第一方向,与第一方向相垂直且与基底表面相平行的方向为第二方向;源漏掺杂层,位于栅极结构两侧的基底中;源漏插塞,位于源漏掺杂层的顶部,且源漏插...
半导体结构及其制备方法
本发明涉及一种半导体结构及其制备方法,涉及半导体技术领域,该半导体结构包括衬底以及位于衬底一侧的外延结构,该外延结构内具有网格状沟槽,且外延结构包括漂移区、第一屏蔽掺杂区以及多个第二屏蔽掺杂区,在半导体结构反向截止时,第一屏蔽掺杂区与漂移区...
一种半导体器件及其制造方法
本发明涉及一种半导体器件及其制造方法,涉及半导体领域,该半导体器件包括:衬底;外延层,位于所述衬底上;第一PN结与第二PN结,所述第二PN结的上表面与所述第一PN结的N型区下表面在相同水平面上,所述第二PN结的P型区注入能量大于所述第一PN...
一种功率MOSFET宽SOA结构制备工艺及芯片
本申请提供了一种功率MOSFET宽SOA结构制备工艺及芯片,本申请通过在多个所述第一沟槽之间设置有阱区,所述阱区中设置有第一注入区,在部分所述阱区下方对应设置有多个第二注入区,这样可以实现更宽安全工作区的MOSFET器件,且获得适当的阈值电...
一种SiC MOSFET器件、制造方法和芯片
本发明实施例提供了一种SiC MOSFET器件、制造方法和芯片,器件包括N‑外延层,设于N+衬底的一侧;电流扩展层;P型基区,设于电流扩展层内;N+区,设于P型基区内;第一沟槽,设于电流扩展层的两侧侧壁;第二沟槽,设于电流扩展层内;第二沟槽...
半导体结构及其形成方法、电子设备
本发明公开了一种半导体结构及其形成方法、电子设备,所述半导体结构包括基底、位于所述基底上的纳米片结构,所述纳米片结构包括纳米片以及位于所述纳米片上面的层堆叠件;所述层堆叠件包括第一半导体材料和第二半导体材料的交替层;位于所述层堆叠件的外表面...
一种GaN HEMT器件、制造方法和芯片
本发明实施例提供了一种GaN HEMT器件、制造方法和芯片,该GaN HEMT器件包括:依次连接的衬底、成核层、外延层和势垒层;掺杂层,设置于势垒层的上表面;漏极,设置于势垒层的上表面;源极,设置于势垒层的上表面;栅极,设置于掺杂层的上表面...
具有改善的动态性能的常关型HEMT器件及其制造方法
本公开涉及具有改善的动态性能的常关型HEMT器件及其制造方法。HEMT器件包括沟槽源极触点,所述沟槽源极触点包括第一导电部分和叠加在所述第一导电部分上的第二导电部分。所述第一导电部分由金属材料制成,所述金属材料的功函数值低于所述第二导电部分...
半导体器件及其制作方法
本发明提供一种半导体器件及其制作方法。该半导体器件中,位于在基底中的隔离结构包括第一隔离结构以及与第一隔离结构连接的多个第二隔离结构,多个第二隔离结构位于第一隔离结构的同一侧且在第一方向上延伸到基底中;栅极结构位于第二隔离结构远离所述第一隔...
半导体器件及其制作方法
本发明提供一种半导体器件及其制作方法,所述器件包括:衬底,衬底内形成有有源区与隔离结构;位于有源区上的栅极与阻挡层,沿第二方向延伸至隔离结构上,阻挡层覆盖栅极的一侧侧壁并延伸覆盖栅极的部分顶部;场板,位于阻挡层上;虚拟栅极,位于场板两端的隔...
半导体器件及其制作方法
本发明提供一种半导体器件及其制作方法。该半导体器件的制作方法包括:提供包括有源区以及隔离结构的半导体基底;对半导体基底进行阱区注入,在有源区中形成阱区;在半导体基底上生成栅极材料层;在栅极材料层上生成图形化的第二掩膜层;对图形化的第二掩膜层...
一种提升p型trench MOSFET可靠性品质的制造方法
本发明公开一种提升p型trenchMOSFET可靠性品质的制造方法,属于半导体功率器件领域。在p型trench型MOSFET工艺基础上,通过推结热过程前置保证器件抗总剂量特性,通过trench沟槽底部热氧化加厚提升器件抗单粒子烧毁能力。与此...
一种基于金属氧化物半导体的高性能柔性突触晶体管器件及其制备与应用
本发明公开了一种基于金属氧化物半导体的高性能柔性突触晶体管器件及其制备与应用。本发明通过设计具有高介电常数、低漏电流、优异电荷存储能力和耐弯折性能的复合栅介质层制备出一种具有大迟滞窗口的柔性突触晶体管。本发明所制备的器件在弯折后均保持大的电...
半导体器件结构及其形成方法
提供了半导体器件结构及其形成方法。方法包括在衬底上方形成多个半导体纳米结构和多个介电纳米结构。半导体纳米结构和介电纳米结构以交替方式布置。方法也包括:在介电纳米结构的边缘上方形成内部间隔件;以及沿半导体纳米结构和内部间隔件的边缘形成连续半导...
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