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  • 本发明公开了一种断路器,涉及断路器技术领域,包括外壳,铁块和双金属片,双金属片的上方设置有补偿片,补偿片根据温度而发生形变;补偿片的上方设置有延时组件,当断路器进行合闸时,补偿片向上弯曲带动固定板对铁块施加向上的作用力;补偿片的下侧设置有防...
  • 一种断路器动触头系统和机构连接结构,它包括触头支撑和连杆,所述连杆一端从所述触头支撑上的开槽口中伸入触头支撑内侧,所述连杆从所述触头支撑上的开槽口中伸入触头支撑内侧的一端通过安装轴可转动的安装在触头支撑内侧,所述连杆位于触头支撑外侧的一端通...
  • 本申请提供一种断路器,涉及低压电气技术领域。断路器包括手柄、机构体、动触头、储能结构、设在机构体和动触头之间的第一弹性件。机构体能绕一轴线转动,动触头与机构体铰接,铰接位置位于机构体转动轴线朝向静触头的一侧。手柄与机构体通过连接件连接,手柄...
  • 本发明涉及先进半导体电子器件技术领域,且公开了一种碳纳米管‑二维钙钛矿异质结冷阴极,异质结冷阴极的原料及其重量占比为:碳纳米管5%~15%;二维钙钛矿前驱体溶液20%~30%;银纳米线10%~20%;聚偏氟乙烯粘合剂3%~6%;导电高分子粘...
  • 一种X射线管阴阳极封装精密封中工艺及工装装置,通过第一工装夹具将封底玻壳和阳极组件进行封接,得到第一封接组件;通过第二工装夹具将管体中心孔和第一封接组件进行同轴对接,并做可松紧的固定连接;将第二工装夹具连同固定的第一封接组件、管体,一并放置...
  • 本发明公开了一种X射线管的管芯组件,包括阴极组件、阳极组件、管壳、排气灯丝和吸气件,阴极组件包括阴极底板以及固定在阴极底板上的工作灯丝,工作灯丝用于发射第一电子;阳极组件包括可旋转的阳极靶盘,阳极靶盘包括接收第一电子轰击并产生X射线的环形靶...
  • 本发明公开了一种多元合金电极等离子体表面改性处理设备,具体涉及等离子体表面改性处理领域,该装置包括真空腔体,真空腔体的外侧设置有箱门,真空腔体的外侧设置有充气机构、真空机构和废气处理机构,真空腔体的内部安装有检测机构、通电机构和限制机构,限...
  • 本发明公开了一种离子注入机的故障脉冲补偿系统,包括扫描电机模块、编码处理模块、IO控制模块和逻辑电路模块;扫描电机模块,用于驱动晶圆靶台运动并反馈位置信号;编码处理模块,用于处理位置信号并生成控制逻辑;IO控制模块,用于区分电源故障信号;逻...
  • 本申请提供了一种离子注入机,属于半导体领域,其包括离子源,用于产生阳离子及电子;离子萃取模块,用于从离子源中萃取出阳离子并产生离子束;第一电子萃取模块,用于从离子源中萃取出电子并产生电子束;中和腔室,用于接收离子束和电子束,并利用电子束中和...
  • 本发明公开了一种用于半导体制造的具备优化气流控制的增强型原子层刻蚀工艺,以改进气体流量控制。该工艺引入了一种在表面改性和溅射步骤中保持恒定惰性气体流量的方法,显著缩短了气体交换时间,并提高了周期效率。通过预先设定的MFCs和阀门的固定设定值...
  • 在一个实施例中,本公开涉及一种用于向具有多个功率信号输入的等离子体室提供能量的系统。电源将输出信号传输到匹配电路。每个匹配电路提供不同的匹配位置。存储器对于每个匹配电路的每个匹配位置并且对于每个输出信号存储匹配电路的输出处的输出信号的参数(...
  • 本发明公开了一种等离子体刻蚀腔室、清洁方法及半导体工艺设备。等离子体刻蚀腔室包括腔室本体、基片台、金属板和压边件。压边件包括第一端部,第一端部抵接金属板背离基片台的一侧,第一端部沿金属板背离基片台的一侧延伸的表面被配置为第一区域。其中,金属...
  • 本发明提出了一种金属栅高介电常数层材料DPN设备及工艺,该设备包括:腔体和设置在腔体上的谐振线圈,腔体上设有进气口,谐振线圈连接RF射频发生器,RF射频发生器输出具有占空比的射频功率。本发明可尽量避免氮原子穿透高介电常数层进入下层器件区域。
  • 本发明公开了一种多腔室的射频控制系统、半导体器件的工艺设备和方法。该射频控制系统包括:第一组射频调控单元,包括一第一射频电源和第一功率分配器,用于向第一分组内的多个工艺腔中的下电极提供同一目标射频信号;以及第二组射频调控单元,包括一第二射频...
  • 本发明公开了一种微通道板及其腐蚀方法和腐蚀用夹具,其中微通道板的基体为皮料玻璃,微通道板的基体的中心区域密布有通道阵列,微通道板的基体的周边区域内密布有形成微通道板支撑部的芯料玻璃,使得微通道板能够保持一定的结构强度,并仅由芯料玻璃和皮料玻...
  • 本发明提供一种用于质谱仪的离子光学系统高压电源,涉及高压电源技术领域,所述用于质谱仪的离子光学系统高压电源包括:高压输入模块,输出端与调制电路的第一输入端连接,从而为调制电路提供第一输入电压;低压输入模块,输入端与质谱仪的输出端通信连接,输...
  • 本发明公开一种基于PCB热压合工艺的一体化迁移管,包括:采用覆铜板、半固化片、FR4基材按对称结构堆叠热压成复合基材,经CNC加工圆柱形迁移通道,集成分压电路,离子门、屏蔽栅网、法拉第盘检测器及屏蔽功能。本发明的基于PCB热压合工艺的一体化...
  • 本发明涉及一种离子迁移谱仪,特点是,由两个相同介质电极构成离子源,该介质电极的石英毛细介质管内壁镀覆有金属导电层,该介质管的一个端口密封,该介质电极的金属内电极置于介质管中,金属内电极通过金属丝从介质管另一个端口引出后,再将该端口密封,两个...
  • 本发明涉及一种用于多级解离质谱分析的多模式前体离子处理装置及方法,涉及串级质谱分析技术领域,该多模式前体离子处理装置包括前体离子筛选单元及三段式线性离子阱模块;所述三段式线性离子阱模块包括第一段线性离子阱、第二段线性离子阱和第三段线性离子阱...
  • 本发明提供了一种脉冲氙灯冷却装置,涉及放电管或放电灯领域。所述冷却装置包括:冷却装置主体,所述冷却装置主体的一端设有氙灯阳极放置通道,另一端设有氙灯阴极放置通道,所述脉冲氙灯通过所述氙灯阳极放置通道或所述氙灯阴极放置通道放置到所述冷却装置主...
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