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具有混合自由空间光学器件和光子集成电路的光刻装置和检查系统
一种光刻装置包括投射系统和检查系统,检查系统包括辐射系统、光子集成电路系统和检测器系统。投射系统将图案形成设备的图像投射到衬底上。辐射系统朝向衬底上的目标引导辐射,以从目标生成散射辐射。辐射系统包括用于生成辐射的辐射源和用于将辐射聚焦到目标...
量测方法和适用于量测的数据处理方法
披露了一种量测方法,包括:获得与对在衬底上的一个或更多个结构的测量相关的量测数据,所述量测数据包括多个数据元素,并且其中,至少一些所述数据元素包括复数值;为所述多个数据元素的每个相应数据元素或其子集选择相应的信号类型,以获得经处理的量测数据...
减小光学元件的像差的方法、光学元件和半导体系统
本发明涉及一种用于减小光学元件(Mi)的像差的方法,特别是光刻系统中的光学元件(Mi)的像差的方法,包括:确定光学元件(Mi)的光学性质的时间变化,特别是光学元件(Mi)的基板(24)的表面(24a)的面形(P(x, y))的时间变化,其是...
用于量测设备的照射配置模块
公开了辐射调制设备,辐射调制设备可操作为接收经光谱色散的宽带输入辐射,并且将经光谱色散的宽带输入辐射的至少部分选择性地透射、衍射或者反射以获得经光谱配置的辐射,其中辐射调制设备包括多个个体可配置元件,多个个体可配置元件各自包括至少一个可配置...
用于维持钟表振荡器的振荡的方法
用于维持钟表中的振荡器的振荡的方法,该钟表至少包括:振荡器,驱动齿轮系(99'),擒纵装置,该擒纵装置至少包括第一擒纵移动元件(1')、第二擒纵移动元件(2')和阻挡移动元件(4'),用于维持振荡的方法至少包括:称为第一休止步骤的第一步骤,...
用于连续显示时间信息序列的时计机构
本发明涉及一种用于连续显示时间信息序列的具有瞬时跳转的时计机构(10)。该机构包括:直接或间接连接到包括所述信息序列的显示器的轮(12);与轮(12)接合的制轮爪(14);设置成在预定的时间段期间旋转360°的凸轮(40);包括凸轮从动件(...
用于钟表机芯的计时测试的方法
一种用于钟表机芯(100)或钟表(200)的计时测试或计时认证的方法,特别是用于计算计时状态的方法,包括:‑ 获取与钟表机芯(100)或钟表(200)的操作相关的数据的步骤;‑ 处理数据以确定钟表机芯(100)或钟表(200)的时间显示构件...
模拟装置及计算机可读取的存储介质
模拟装置具有:加工面数据生成部,其根据表示工具的特征的工具信息以及表示工具的移动路径的路径信息,生成加工面数据;纹理取得部,其取得表示根据加工条件工具至少旋转一周时加工的加工面的高度的纹理;以及纹理赋予部,其根据路径信息对加工面数据赋予由纹...
通过监视系统监视电子组件生产的方法、计算机程序产品、计算机可读存储介质及监视系统
本发明涉及用于监视电子组件(14, 16, 18)的生产的方法,包括以下步骤:从自动光学检查设备(10)接收第一数据(24),其中第一数据(24)描述电子组件(14, 16, 18)的组件(20);从自动光学检查设备(10)接收第二数据(2...
用于在分布式工业自动化装置中分配应用程序并且配置通信连接的方法和装置
本发明涉及一种用于在分布式工业自动化装置中进行应用程序(F1,…,F5)的分配和通信连接(K1,…,K4)的配置的方法和装置,该自动化装置具有一定数量个用于应用程序(F1,…,F5)的联网的硬件资源和用于通信连接(K1,…,K4)的通信资源...
用于启动纺纱厂的全部或部分的方法
本发明涉及一种用于启动纺纱厂的全部或部分的方法。所述纺纱厂可以包括一组主机器和/或一组辅助机器。所述方法可以单独或成组地启动所述一组主机器中的至少一个主机器和/或一组辅助机器中的至少一个辅助机器,而包括所述至少一个主机器的所述主功能特性和/...
确定机器生产线的故障原因
本发明涉及一种用于确定机器生产线中,特别是用于灌装和包装食品和/或饮料的机器生产线中的故障原因的方法。机器生产线包括多台机器。通过该方法,检测每台机器的操作状态并将其存储为数据集。数据集包括维度M × S × T,其中,M是多台机器的数量,...
用于监控生产设施的方法和设备
用于监控生产设施(1)的方法和设备,所述生产设施包含至少一个循环地工作的成型机(2)和必要时至少一个外围设备(3),其中通过将至少一个过程变量与至少一个参考变量进行比较来进行监控,并且针对至少一个过程变量的过去的值进行比较也是可行的。
机器生产线的故障原因分析
本发明涉及一种用于确定用于灌装和包装食品和/或饮料的机器生产线中的故障原因的方法。机器生产线包括多台机器。通过该方法,检测每台机器的操作状态并将其存储为数据集。在识别到操作停机后,为了确定故障原因,检索一段时间的数据集,并将其作为输入到时空...
控制方法、装置、系统、可移动平台及存储介质
一种控制方法、装置、系统、可移动平台及存储介质,该方法包括:控制可移动平台保持在相对于目标的第一相对距离和第一相对方位跟随目标(步骤101);控制可移动平台基于目标轨迹从第一相对距离和第一相对方位靠近或远离目标运动,以使得可移动平台运动至相...
踏板垫组件、保持组件及其内部的传感器组件
本文的实施例涉及一种踏板组件,所述踏板组件包括壳体、保持组件和踏板臂。所述保持组件包括具有第一容纳腔和第一传感器组件的第一构件,以及具有第二容纳腔和第二传感器组件的第二构件。第一凸部从踏板臂的枢轴端的一侧延伸,以被可移动地容纳在所述第一容纳...
传感器模块、组件、用于操作传感器模块的方法和可穿戴装置
传感器模块(1)包括光学传感器元件(2)和评估电路(3)。光学传感器元件(2)包括至少一个光学发射器(21)和至少一个光学接收器(22)。光学传感器元件(2)被配置成与电子装置(100)的光学接口(110)进行非接触式通信。光学传感器元件(...
用于将语标输入电子设备的装置和方法
一种用于在电子设备上输入语标字符集的语标的文本输入系统,所述系统包括用户界面,所述用户界面被配置为每次用户向用户界面提供输入时生成中间信号,中间信号的值取决于输入。所述系统包括处理电路,所述处理电路可在第一处理模式和第二处理模式下运行。处理...
用于解释多现实场景中的用户手势的方法和装置
公开了一种在视觉透视(VST)装置中实现的用于解释多现实场景中的用户手势的方法。该方法包括:基于一个或多个相机的视场识别一个或多个相机视图区域;基于对一个或多个相机视图区域中的每一个的分析来确定一个或多个背景;针对确定的一个或多个背景中的每...
手套型输入装置
手套型输入装置具备被佩戴于使用者的手的手套以及多个压电元件。压电元件配置在手套的外侧和内侧。
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