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最新专利技术
  • 一种磁极机构以及磁控溅射装置
    一种磁极机构以及磁控溅射装置_盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司_202511971446.3
    本发明公开了一种磁极机构以及磁控溅射装置，涉及半导体技术领域。该磁极机构包括基台、驱动组件、转动杆、芯轴、安装圆板、传动组件和活动磁块。转动杆可转动地安装于基台，且穿过基台设置，转动杆的一端与驱动组件连接，另一端与安装圆板连接，转动杆的中部...
    2026-03-14
  • 一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统
    一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统_深圳市华芯半导体装备技术有限公司_202511947436.6
    本发明提供一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统，涉及磁场极性监测技术领域，用于监测磁场极性是否成功切换，磁场极性监测系统包括控制器、线圈和恒流源设备，控制器被配置为向电源输出电路发送磁场极性切换指令；电源输出电路被配置为向线圈输出目标驱...
    2026-03-14
  • 应用于等离子刻蚀机的异常监控系统
    应用于等离子刻蚀机的异常监控系统_深圳市华芯半导体装备技术有限公司_202511947178.1
    本申请实施例公开一种应用于等离子刻蚀机的异常监控系统。异常监控系统包括恒流源设备、线圈、线圈检测电路及控制器，恒流源设备被配置为按照预设的刻蚀工艺参数，输出驱动电流；线圈被配置响应于驱动电流的输入，在刻蚀腔内产生磁场以引导等离子体朝向基片的...
    2026-03-14
  • 一种等离子体增强管内壁表面改性处理装置及其方法
    一种等离子体增强管内壁表面改性处理装置及其方法_合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)_202511591975.0
    本发明涉及表面处理技术领域，尤其涉及一种等离子体增强管内壁表面改性处理装置及其方法。其主要针对现有内管壁表面改性技术中均匀性差、附着力不足、膜层质量不高、操作复杂等缺陷的问题，提出如下技术方案包括等离子体电源、传输系统、匹配箱、等离子体表面...
    2026-03-14
  • 一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构
    一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构_成都国泰真空设备有限公司_202511582686.4
    本发明属于射频等离子、大口径镀膜用离子源ICP技术领域，具体涉及一种带角度调节功能的大口径射频离子源结构，包括真空侧组件和大气侧组件；射频源头外壳的侧面与旋转轴盘转动连接，旋转轴盘与联接盒座固定相连；穿过腰型孔的螺栓对旋转轴盘和射频源头外壳...
    2026-03-14
  • 一种等离子体刻蚀腔的清洁方法
    一种等离子体刻蚀腔的清洁方法_北京集成电路装备创新中心有限公司_202511433220.8
    本发明提供了一种等离子体刻蚀腔的清洁方法，涉及半导体制造技术领域，为解决相关技术采用的清洁方法，难以在腔室内部形成致密的氧化膜的问题而设计。该等离子体刻蚀腔的清洁方法包括：向刻蚀腔通入清洁气体，以去除腔室内部的反应副产物，并在腔室的内壁形成...
    2026-03-14
  • 半导体加工设备
    半导体加工设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410983517.0
    本发明提供一种半导体加工设备，包括腔体、过滤组件、第一线圈、第二线圈、第一射频电源和第二射频电源，其中，过滤组件设置于腔体中，且将腔体内部分隔形成第一子腔和设置于第一子腔下方的第二子腔；过滤组件用于对流经的等离子体进行过滤，以使通过过滤组件...
    2026-03-14
  • 多带电粒子束描绘方法、装置、使计算机执行的程序产品
    多带电粒子束描绘方法、装置、使计算机执行的程序产品_纽富来科技股份有限公司_202511009626.3
    本发明提供一种多带电粒子射束描绘方法、多带电粒子射束描绘装置以及用于使计算机执行的程序产品，能够在高精度的描绘装置中不进行硬件的更换而描绘由低精度的描绘装置得到的精度的图案。本发明的一个方式的多带电粒子射束描绘方法，对试样的描绘区域设定使至...
    2026-03-14
  • 一种电子束斑的自动对中方法
    一种电子束斑的自动对中方法_中国科学院大连化学物理研究所_202511950114.7
    本发明提供一种电子束斑的自动对中方法，属于电子显微镜中电子束斑控制技术领域。通过电子束斑图像提取电子束斑前景；以电子束斑图像中1个像素对应的长度为单位长度，以目标参考中心为原点构建坐标系，并确定电子束斑前景质心坐标；计算电子束斑前景质心与原...
    2026-03-14
  • 电子探测器及透射电子显微镜成像系统
    电子探测器及透射电子显微镜成像系统_中国科学院广州生物医药与健康研究院_202511454989.8
    本申请涉及一种电子探测器及透射电子显微镜成像系统。电子探测器包括转换元件、第一反射元件、第二反射元件以及光敏元件。转换元件用于接收电子束并将电子束转化为光线。第一反射元件用于接收并反射所述转换元件出射的光线。第二反射元件用于接收并反射所述第...
    2026-03-14
  • 一种扫描电镜载物台和扫描电镜
    一种扫描电镜载物台和扫描电镜_超威电源集团有限公司_202410979437.8
    本发明实施例公开一种扫描电镜载物台和扫描电镜，所述扫描电镜载物台包括：样品底座、至少一个夹持组件和基座，所述样品底座与所述基座升降连接，每个所述夹持组件用于夹持一个待测样本，每个所述夹持组件的底部与所述样品底座通过万向连接装置万向连接。本申...
    2026-03-14
  • 磁极保护组件及质量分析装置
    磁极保护组件及质量分析装置_浙江求是创芯半导体设备有限公司_202511418572.6
    本申请公开了一种磁极保护组件及质量分析装置，涉及半导体离子注入技术领域，磁极保护组件包括外侧板、内侧板、顶板和底板，外侧板、内侧板、顶板和底板共同组成一个两端开口的曲线形腔体。外侧板由多块外单元板拼接形成，相邻外单元板之间设置外间隙板进行连...
    2026-03-14
  • 一种梯度钨-钽合金靶层电子加速器X射线转换靶
    一种梯度钨-钽合金靶层电子加速器X射线转换靶_厦门大学_202511501990.1
    一种梯度钨‑钽合金靶层电子加速器X射线转换靶，属于辐射源领域，包括上框架和下框架，二者之间夹持功能梯度材料靶层，其由钨‑钽合金材料构成，通过多通道等离子喷涂工艺制备，沿厚度方向钨与钽的成分由9 : 1过渡至1 : 9，梯度层为5~25。钨基...
    2026-03-14
  • 一种超高空间分辨时间展宽分幅相机及分幅成像方法
    一种超高空间分辨时间展宽分幅相机及分幅成像方法_中国科学院西安光学精密机械研究所_202511400239.2
    本发明公开了一种超高空间分辨时间展宽分幅相机及分幅成像方法，解决了现有的时间展宽分幅相机中电子在渡越过程中存在空间电荷效应作用引起的空间弥散，从而导致系统空间分辨率降低的问题；本发明中利用光电子在漂移磁场中运动其自旋周期只与磁场强度有关，与...
    2026-03-14
  • 一种宽带速调管放大器注入结构
    一种宽带速调管放大器注入结构_西北核技术研究所_202511323444.3
    本发明公开了一种宽带速调管放大器注入结构，属于高功率微波技术领域。该注入结构包括同轴波导通道、四扇形波导通道、双扇形波导通道、矩形‑扇形过渡段和矩形输入波导。该结构将一路注入矩形波导中的TE0101模式信号分成四路扇形波导中的TE0101模...
    2026-03-14
  • 一种跌落式熔断器用熔丝结构
    一种跌落式熔断器用熔丝结构_国网山东省电力公司潍坊供电公司_202511260504.1
    本发明涉及一种跌落式熔断器用熔丝结构，包括上端连接柱、下端连接套筒、铜绞线、辅助灭弧管，该熔丝结构还包括：可卸式端帽、熔体单元、挤压绞线段，可卸式端帽与上端连接柱的顶部可拆卸连接，上端连接柱的底部通过熔体单元连接到下端连接套筒，熔体单元由螺...
    2026-03-14
  • 电动操作跌落式熔断器及控制方法
    电动操作跌落式熔断器及控制方法_辽宁东科电力有限公司_202511853801.7
    本发明公开了一种电动操作跌落式熔断器及控制方法，涉及供电或配电的电路装置领域，其中，该电动操作跌落式熔断器包括：防护绝缘子、智能控制模块、跌落组件、驱动机构及传动机构，防护绝缘子为纵向贯穿的凹槽结构，顶部设封闭上盖，两侧向下延伸形成侧壁，与...
    2026-03-14
  • 一种数控电路断路器及其断路方法
    一种数控电路断路器及其断路方法_南京天卓电气科技有限公司_202511604703.X
    本发明公开了一种数控电路断路器及其断路方法，涉及断路器技术领域。包括绝缘防护壳，所述绝缘防护壳的内部设置有控制臂、限位环，所述控制臂的其中一端设置有第一延伸抵块，所述控制臂的另一端设置有，所述控制臂的中部设置有卡块，所述第一延伸抵块的外壁固...
    2026-03-14
  • 具有电动操作功能的智能断路器
    具有电动操作功能的智能断路器_苏州未来电器股份有限公司_202511668715.9
    本发明提供了一种具有电动操作功能的智能断路器，所述具有电动操作功能的智能断路器包括断路器本体和电动操作装置，所述电动操作装置包括外壳体、设置在所述外壳体一侧的盖板、开关手柄、用以驱动所述开关手柄开关的驱动块，所述断路器本体包括中盖体、设置在...
    2026-03-14
  • 一种电的开关装置
    一种电的开关装置_浙江天正电气股份有限公司_202511611896.1
    本申请公开一种电的开关装置，其包括，电磁系统、至少一相主线路导体、触发开关，具有状态一以及状态二；触发开关处于状态一时和处于状态二时，其中一个线圈的电流方向正好相反；触发开关处于状态一时，电磁系统为吸合动作，线圈一与线圈二通电使衔铁与磁轭产...
    2026-03-14
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