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最新专利技术
  • 基于导向自组装的光罩制造方法及使用该方法制造的光罩
    基于导向自组装的光罩制造方法及使用该方法制造的光罩_张江国家实验室_202410815921.7
    本公开提供一种基于导向自组装的光罩制造方法，能够以高生产通量制备出高图形质量的先进节点高端光罩。包括：引导模板制备步骤，在光罩基底上依次层叠旋涂碳膜和减反射层，并在减反射层中形成规定图形，通过涂布中性层或分子刷并退火，制备引导模板；嵌段共聚...
    2026-02-01
  • 一种光罩盒的自动翻转开盒机构
    一种光罩盒的自动翻转开盒机构_浙江赛瑾半导体科技有限公司_202511701365.1
    一种光罩盒的自动翻转开盒机构，其包括设备平台，放置工位，解锁组件，开盖组件。所述光罩盒包括盒体，滑扣。所述解锁组件包括固定板，移动气缸，连接板，夹爪气缸，夹爪。所述开盖组件包括固定架，驱动设备，转动组件，吸嘴。所述转动组件包括连接杆，转动杆...
    2026-02-01
  • 光掩模及图案转移的方法
    光掩模及图案转移的方法_联华电子股份有限公司_202410899095.9
    本发明公开一种光掩模及图案转移的方法，其中光掩模用于配合一曝光源图案化一半导体元件。半导体元件定义有一第一元件区以及一存储器区与第一元件区相邻设置，半导体元件包含一存储器元件设置于存储器区。光掩模包含一基材、一预定图案以及一第一光学辅助件。...
    2026-02-01
  • 用于掩模图形优化的方法、设备和存储介质
    用于掩模图形优化的方法、设备和存储介质_全芯智造技术有限公司_202511735157.3
    根据本公开的示例实施例提供了用于掩模图形优化的方法、设备和存储介质。该方法包括利用分别对应于至少一个工艺条件的至少一个光刻成像模型，生成掩模图案中的至少一个图形片段的相应仿真信号；基于用于调整至少一个图形片段的相应校正参数、以及相应仿真信号...
    2026-02-01
  • 光学邻近效应的修正方法
    光学邻近效应的修正方法_杭州富芯半导体有限公司_202511365034.5
    本申请涉及一种光学邻近效应的修正方法，包括：获取待处理版图以及目标图形，所述目标图形为所述待处理版图经过曝光处理后的理想图形；采用OPC修正算法对所述待处理版图进行修正处理，获取所述待处理版图对应的第一修正版图，所述第一修正版图的边缘线条包...
    2026-02-01
  • 版图形成方法、掩膜版组和半导体器件的制备方法
    版图形成方法、掩膜版组和半导体器件的制备方法_北京超弦存储器研究院_202410804720.7
    本申请公开一种版图形成方法和掩膜版组、半导体器件的制备方法，涉及半导体技术领域。图形成方法包括：提供第一掩膜版，第一掩膜版具有初始版图图形及添加至初始版图图形旁侧的可曝光辅助图形；基于第一掩膜版进行一次曝光，于待蚀刻层中形成初始版图；提供第...
    2026-02-01
  • 反射型掩模坯料及其制造方法以及反射型掩模坯料关联基板的检查方法
    反射型掩模坯料及其制造方法以及反射型掩模坯料关联基板的检查方法_信越化学工业株式会社_202510807836.0
    本发明提供一种能够在不将缺陷误检测为基准标记的情况下可靠地检测基准标记的反射型掩模坯料及其制造方法以及反射型掩模坯料关联基板的检查方法。一种反射型掩模坯料，至少具备：基板；多层反射膜，其设置在该基板上，反射曝光光；以及吸收体膜，其设置在该多...
    2026-02-01
  • 一种霉变黑白照相底片霉斑掩蔽及影像恢复方法和应用
    一种霉变黑白照相底片霉斑掩蔽及影像恢复方法和应用_陕西师范大学_202511313276.X
    本发明属于档案修复保护技术领域，涉及一种霉变黑白照相底片霉斑掩蔽及影像恢复方法和应用，包括以下步骤：S1、对霉变黑白照相底片进行吹尘、清洗和晾干预处理；S2、将预处理后的霉变黑白照相底片铺在玻璃板上，然后将甲基硅油滴在霉变黑白照相底片的一侧...
    2026-02-01
  • 一种用于光学相机成像的靶标电动三维调节装置及方法
    一种用于光学相机成像的靶标电动三维调节装置及方法_长光卫星技术股份有限公司_202511446608.1
    本发明提供了一种用于光学相机成像的靶标电动三维调节装置及方法，涉及空间遥感相机的自动化生产装配技术领域，调节装置包括安装底座、轴向动力单元、移动滑盘、位置反馈单元、滚转动力单元、滚转滑环、齿轮三、齿轮五、齿轮六和靶标，通过轴向动力单元驱动移...
    2026-02-01
  • 一种投影屏幕和投影系统
    一种投影屏幕和投影系统_青岛海信激光显示股份有限公司_202410804940.X
    本发明公开了一种投影屏幕和投影系统，包括：表面功能层、菲涅尔透镜层和位于菲涅尔透镜层的透镜单元表面上的共振层，共振层采用单层薄膜，可以对投影设备出射的投影光线进行选择性反射，而对其它波段的光线反射率大幅降低，由此可以显著提高投影图像的对比度...
    2026-02-01
  • 幕布装置及车辆
    幕布装置及车辆_福耀玻璃工业集团股份有限公司_202511498900.8
    本申请涉及一种幕布装置及车辆，其可以解决相关技术中的幕布装置的滑轨机构存在占用空间较大的问题，无法满足在车内空间布置上的紧凑性要求，该幕布装置包括吊轨、多个活动饰板及驱动组件，所述吊轨包括直线段与圆弧段，所述直线段与所述圆弧段相切连接，所述...
    2026-02-01
  • 光源模组及投影机
    光源模组及投影机_苏州佳世达光电有限公司_202410809296.5
    本发明提供一种光源模组及投影机，光源模组包括的第一光源组件包含第一组发光单元及第二组发光单元；第二光源组件包含第三组发光单元及第四组发光单元，第一组发光单元及第三组发光单元发射相同色光，第二组发光单元及第四组发光单元发射相同色光；第一分光镜...
    2026-02-01
  • 一种投影设备
    一种投影设备_青岛海信激光显示股份有限公司_202410808656.X
    本发明公开了一种投影设备，包括：激光光源用于出射红绿蓝三色激光；匀光部件位于激光光源的出光侧，用于对入射激光匀化处理；光调制部件位于匀光部件的出光侧，用于对入射激光进行调制；投影镜头位于光调制部件的出光侧，用于投影成像；光束调整镜组位于激光...
    2026-02-01
  • 一种光源系统
    一种光源系统_宜宾市极米光电有限公司_202410806136.5
    本发明涉及投影设备技术领域，尤其涉及一种光源系统，包括窄谱光源、宽谱光源以及第一合光元件，窄谱光源发出的窄谱光束和宽谱光源发出的宽谱光束出射至第一合光元件以合光出射，窄谱光束与宽谱光束之间具有重叠波段，第一合光元件在进行波长合光的同时还对重...
    2026-02-01
  • 一种摄像头的滤光片切换装置
    一种摄像头的滤光片切换装置_宁波金诚泰电子有限公司_202511393133.4
    本发明公开了一种摄像头的滤光片切换装置，包括底部框架、微型电机、驱动齿轮、场景切换齿轮以及定位结构。所述底部框架设有透光开口，用于对应摄像头镜头光路；微型电机固定于底部框架下方，其电机轴贯穿底部框架并与驱动齿轮连接；场景切换齿轮设置于底部框...
    2026-02-01
  • 一种稳定性高的反光伞角度调节架
    一种稳定性高的反光伞角度调节架_南京光冕智造科技有限公司_202511397922.5
    本发明提供一种稳定性高的反光伞角度调节架，涉及反光伞调节架技术领域，包括底部支撑架、支撑柱、配重块、支架结合件、反光伞支架及自锁式气动弹簧。支撑柱通过万向节悬挂机构与底部支撑架中部的固定连接部连接，可多自由度摆动；配重块可拆卸连接于支撑柱底...
    2026-02-01
  • 一种弹性消隙的可变光圈结构及摄影设备
    一种弹性消隙的可变光圈结构及摄影设备_佛山柏瑞光电技术有限公司_202511468944.6
    本发明涉及一种光圈结构，具体是一种弹性消隙的可变光圈结构及摄影设备，包括固定组件，固定组件安装有转盘和光圈叶片，光圈叶片通过导向结构从动于转盘与固定组件之间，固定组件安装有弹性变形件，弹性变形件分别抵靠在固定组件和光圈叶片以限制光圈叶片的转...
    2026-02-01
  • 一种光学平台、摄像模组及电子设备
    一种光学平台、摄像模组及电子设备_苏州春启精密电子有限公司_202511584856.2
    本发明公开了一种光学平台、摄像模组及电子设备，涉及影像设备技术领域，其中，光学平台包括：基座，具有第一抵接部；上盖，与基座固定连接，上盖与基座之间具有容纳空间；移动座，滑动设置在容纳空间内，移动座与上盖之间具有间隙，移动座具有第二抵接部，移...
    2026-02-01
  • 一种高增益氮化硅片上光放大器及其制备方法
    一种高增益氮化硅片上光放大器及其制备方法_中国科学院上海光学精密机械研究所_202511282906.1
    本发明公开了一种高增益氮化硅片上光放大器及其制备方法。所述放大器自下而上包括硅基底、二氧化硅下包层、铒镱共掺氮化硅波导芯层和二氧化硅上包层，芯层两侧设有二氧化硅侧包层。其制备方法关键在于：采用400～500keV能量的离子注入技术，将注入剂...
    2026-02-01
  • 一种基于集成光芯片的光纤激光相控阵自适应光学系统
    一种基于集成光芯片的光纤激光相控阵自适应光学系统_中国科学院光电技术研究所_202511384666.6
    本发明公开了一种基于集成光芯片的光纤激光相控阵自适应光学系统，包括自适应光纤耦合器阵列、集成光芯片、光纤分路器、光电探测器、控制平台、高压放大器。集成光芯片包含光纤耦合接口、波导、移相器、马赫泽德强度调制器等部件。自适应光纤耦合器阵列将入射...
    2026-02-01
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