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  • 本申请实施例公开了一种自动搬运运输车, 包括:行走底座;车身, 安装于行走底座顶部, 车身上形成有至少一个贯通其第一侧面与第二侧面的安装腔;输送机构, 设于安装腔内, 并沿第一侧面向第二侧面的方向延伸, 输送机构被配置为承接从前道设备输送过...
  • 本发明涉及一种改善高频的石墨舟, 属于光伏电池生产设备领域, 包括;安装板, 整体为U形, 包括安装底板, 所示安装底板两端设有挡板, 所述安装底板上设有支撑板;支撑板通过柔性支撑结构安装在安装底板上, 支撑板用于放置舟片;安装片, 活动套...
  • 本发明涉及晶圆片加工技术领域, 且公开了一种晶圆片盒压料设备, 包括桌体, 还包括:框体安装在桌体的顶部, 水槽设置在桌体上, 用于存放纯水, 压料机构设置在桌体的顶部, 用于将晶圆片盒压入纯水中, 防护机构设置在水槽的内部, 用于对晶圆片...
  • 一种晶圆容器管理方法, 用以在设施中管理多个晶圆容器, 并包含:运用悬挂式搬运系统来运送晶圆容器, 其中悬挂式搬运系统包含载具, 载具包含抓取装置, 其中每个晶圆容器包含上凸缘, 抓取装置配置以抓取上凸缘;将每个晶圆容器分类至可安全使用群组...
  • 本发明提供了一种晶圆减薄片去胶基座及半导体设备, 所述晶圆减薄片去胶基座包括支撑单元、压力单元以及升降单元, 所述压力单元设置于所述支撑单元的上方, 所述升降单元与所述支撑单元的底面或侧面固定连接, 用于支撑所述压力单元在竖直方向上移动, ...
  • 本发明涉及半导体湿法制程设备技术领域, 尤其是涉及一种半导体基板慢排液系统、处理设备及慢排液控制方法。本发明提供的半导体基板慢排液系统包括:干燥容器、连接于干燥容器的清洗液进出管路系统和液位计;干燥容器包括内容器和外容器;液位计设置于内容器...
  • 本发明公开了一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备, 涉及清洗设备技术领域, 清洗设备包括超声波强酸清洗机构、循环水路清洗机构、干燥清洗机构、温控机构和清洗机体, 超声波强酸清洗机构和清洗机体紧固连接, 循环水路清洗机构和清洗机体紧固连接, 干...
  • 本发明公开了一种石英半导体封装装置及使用方法, 涉及石英半导体封装技术领域, 包括:工作台, 所述工作台的一侧安装有伸缩缸, 所述伸缩缸的执行端贯穿至所述工作台的下方固定连接有上模具, 所述工作台的内侧底部安装有下模具, 且所述下模具设置在...
  • 本发明涉及贴片机领域, 且公开了一种手机生产用芯片贴装设备, 包括主体, 通过导轨以及安装组件设置在主体上的吸头组件, 所述主体的上方设置有塑性组件, 所述塑性组件与吸头组件设置在同一工作区域内, 所述塑性组件在吸头组件取料与校对元件时不与...
  • 本发明提供了一种加热盘和加热装置。所述加热盘包括:加热丝层和热管层, 所述加热丝层和所述热管层分层分布。所述热管层具有按第一规则排布的自均匀温度的热管, 所述热管包括工作液, 所述工作液通过相变进行传热。所述加热丝层具有按第二规律排布的加热...
  • 本发明涉及半导体技术领域, 尤其涉及一种气液混合吹扫单片清洗装置。它包括U形安装主体, 所述U形安装主体内底面上设置有升降托料组件, 所述U形安装主体一侧内壁上设置有固定组件, 所述U形安装主体同一侧的外壁上设置有气液混合组件, 所述U形安...
  • 本发明涉及一种用于半导体清洗干燥的一体化设备。包括支撑架、用于放置晶圆的支撑装置、用于驱动支撑装置升降的第一驱动装置、用于驱动支撑装置水平滑移的滑移装置、用于清洗晶圆的清洗装置以及用于干燥晶圆的烘干装置;滑移装置设置在支撑架顶端;第一驱动装...
  • 本发明公开了一种层压机冷却腔冷却系统, 涉及太阳能电池组件层压技术领域, 设于层压机加热层压后的冷却工序, 包括传动机架和制冷模组, 传动机架上设有循环传动的高温布, 用于实现对层压后的太阳能电池组件进行输送;制冷模组安装在传动机架上, 且...
  • 本发明公开了一种半导体用多温区加热盘, 涉及加热盘技术领域, 该加热盘包括上盘以及设置在上盘下端的下盘, 所述下盘下端中部固定有热台立筒;所述上盘包括边框以及若干设置在边框内部的加热区域板。本发明每个加热区域板通过独立加热件和隔热结构实现温...
  • 本申请涉及晶圆蚀刻技术领域, 且公开了一种晶圆蚀刻辅助装置, 包括壳体, 壳体的底部固定连接有接口, 壳体的内部固定安装有控制器, 控制器的内部固定安装有控制阀, 壳体的上表面固定连接有底座, 底座的上表面固定连接有卡板, 卡板的下表面固定...
  • 本发明提供了一种气体分配盘及其加工方法。所述加工方法包括如下步骤:(1)热处理金属坯料, 而后进行切削处理, 得到气体分配盘坯件;(2)对步骤(1)所述气体分配盘坯件进行开设分配孔, 采用全周夹具固定后, 进行机械加工, 得到所述气体分配盘...
  • 一种炉管设备及获取晶圆厚度的检测方法, 设备包括:底座;晶舟, 承载于所述底座的上方, 且所述晶舟用于承载晶圆;量测感应件, 附着于所述晶舟的表面, 且所述量测感应件适于发出不同波长的光来获取晶圆的厚度。通过在炉管设备的晶舟上设置量测感应件...
  • 本发明提供了一种COB产品自动生产线, 包括:上料机;沿X方向安装在上料机前方的精雕机, 所述精雕机包括精雕机架;安装在精雕机与上料机之间的桁架转移机械手, 所述桁架转移机械手包括支架, 所述支架顶部安装有沿X向分布的桁架X向直线模组, 所...
  • 本申请实施例公开了一种芯片封装方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质, 该方法包括通过获取多芯片并联功率器件的回路寄生参数和芯片的关键器件参数;分别构建回路寄生参数和关键器件参数与待优化物理特性参数的第一映射关系和第二映射关系;根据第一映...
  • 本发明涉及半导体封装相关技术领域, 公开了一种半导体面板级封装压机及控制方法, 为了解决单根丝杆承载力有限以及合模压力异常过大的问题, 通过下模座下方四角部位对应设置有举升丝杆组件, 四个举升丝杆组件同步向下模座提供动力, 保障下模座上方受...
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