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数据处理方法、电子设备、存储介质以及光刻设备
本公开的示例实施例涉及数据处理方法、电子设备、存储介质以及光刻设备。该数据处理方法包括:针对目标版图的每个块,按照缺陷类型对每个块内的缺陷点的缺陷值进行排序,以获得每个块的排序后的缺陷数据,其中缺陷值指示缺陷的严重程度;基于与每个块内的缺陷...
套刻精度监控结构、监控方法、半导体结构及其制造方法
本发明提供了一种套刻精度监控结构、监控方法、半导体结构及其制造方法,构建一套刻精度监控结构,通过所述套刻精度监控结构便可实现对套刻精度的监控,其中,可以方便、可靠地获取离子注入工艺中光刻工艺的套刻精度。在LDMOS器件的体区形成过程中,虽然...
一种用于光刻机设备的具有分布式温控功能的气浴装置
本发明公开了一种用于光刻机设备的具有分布式温控功能的气浴装置,属于光刻技术领域。解决了在长距离输送中温控精度衰减、无法抑制传感器自身动态热扰动、以及缺乏末端实时闭环调控能力的技术问题。该装置中控温层以陶瓷基板为载体,其工作面以交错贴装有多个...
套刻标记结构及其制造方法、套刻标记尺寸选择方法
本发明提供一种套刻标记结构及其制造方法、套刻标记尺寸选择方法,套刻标记结构包括形成于光阻层中的标记沟槽,所述标记沟槽的深度小于所述光阻层的厚度,所述标记沟槽的沟槽宽度小于2μm。本发明通过窄宽度的标记沟槽设计,能够有效减小因周围图形不对称使...
一种面向工艺窗口的光刻仿真与校准方法及系统
本发明公开了一种面向工艺窗口的光刻仿真与校准方法及系统,属于光刻仿真与校准技术领域,其技术方案要点包括,获取光刻工艺基础参数与实测物理参数,得到标准化工艺物理参数数据集;根据标准化工艺物理参数数据集和预设公式,得到多物理效应耦合仿真模型;根...
基于动态聚焦的三维衍射母模高速直写系统
本发明公开了基于动态聚焦的三维衍射母模高速直写系统,涉及激光直写技术领域,包括数据处理、聚焦控制、能量调制、扫描执行、误差传感及误差补偿模块。数据处理模块接收三维点云数据,由当前扫描点局部曲率计算最优聚焦位置,聚焦控制模块驱动压电陶瓷微位移...
一种基于改进随机像素分离法的低散斑噪声全息3D显示方法
本发明提出一种基于改进随机像素分离法的低散斑噪声全息3D显示方法。该方法将3D物体看作由不同深度的2D物体所构成,首先提取2D物体的强度信息得到原始图像,并提取互补棋盘格的随机像素索引生成一组随机掩膜。随后,将随机掩膜与初始图像叠加得到一组...
系统自动校准台区电能表时钟方法、装置、系统终端及计量箱
本申请公开了一种系统自动校准台区电能表时钟方法、装置、系统终端及计量箱,涉及时钟校准技术领域,包括:查询台区的电能表记录的对时信息组;根据所述对时信息组计算电能表在各温度点的时钟误差;基于所述时钟误差对所述电能表进行时钟校准。通过系统时间采...
守时方法、终端设备及计算机可读存储介质
本申请适用于时钟同步技术领域,提供了一种守时方法、终端设备及计算机可读存储介质,应用于时间同步装置,所述时间同步装置包括晶体振荡器;所述守时方法包括:当时间同步装置从第一状态切换至第二状态,获取基于时间同步装置处于第一状态时的第一采集数据训...
机械推拉式数字显示时钟装置
本发明公开了一种机械推拉式数字显示时钟的控制方法及系统,属于电子时钟控制技术领域。所述方法包括:获取并解析当前时间;根据数字‑段位映射表将时间数字转换为各伸缩段的目标状态指令;控制驱动装置执行相应动作;通过零点校准流程建立并维护机械绝对零位...
用于仿真验证系统的无扰切换接口、仿真验证系统和方法
本发明涉及用于仿真验证系统的无扰切换接口、仿真验证系统和方法,包括:逻辑计算模块、指令差异输出模块、切换完成输出模块、执行指令输出模块;逻辑计算模块根据无扰切换指令对验证指令和配套控制系统配套指令进行逻辑计算验证并输出计算验证结果;监测切换...
一种无PLC的可燃气体探测器与风机的直接安全连锁方法
本发明属于可燃气体安全防护技术领域,公开了一种无PLC的可燃气体探测器与风机的直接安全连锁方法,提供一种无PLC的可燃气体探测器与风机的直接安全连锁系统,包括可燃气体探测单元、核心控制单元、风机驱动单元、电源保障单元及状态反馈单元;各单元通...
一种双冗余继电器板主从切换方法及系统
本发明提供一种双冗余继电器板主从切换方法及系统,该方法包括:提供互为冗余的两个继电器板,所述继电器板分别连接可编程逻辑控制器和面板控制器,将其中一个继电器板作为主板,另一继电器板作为从板;在主板接收到从板的心跳信号或抢主信号时,将自身切换为...
一种可复用运载火箭的箭载综合控制系统
本发明属于运载火箭航电控制技术领域,尤其涉及一种可复用运载火箭的箭载综合控制系统。该系统包括至少两种不同控制功能的箭载设备单元,每种箭载设备单元包括不同数量组成的若干种功能模块,每种功能模块的数量根据箭载设备单元的控制功能和负载路数设定;其...
一种基于液压-电气开闭环调节的筒阀控制方法、系统、设备及介质
本发明公开了一种基于液压‑电气开闭环调节的筒阀控制方法、系统、设备及介质,属于水电站水力机械控制技术领域,包括布置硬件传感器和控制器,采集传感器信号数据,并进行预处理,基于预处理后的数据建立开环控制模型,计算每个接力器的初始控制指令;在筒阀...
飞行器控制方法、装置、电子设备、多旋翼飞行器及介质
本发明公开一种飞行器控制方法、装置、电子设备、飞行器及存储介质。该方法包括:获取多旋翼飞行器对应的目标位置,所述多旋翼飞行器的旋翼设有安装角;基于所述多旋翼飞行器的目标位置和所述多旋翼飞行器反馈的当前时刻对应的实测位置,确定当前时刻对应的位...
一种液氢储罐的温度压力PID动态响应优化方法及系统
本发明公开了一种液氢储罐的温度压力PID动态响应优化方法及系统,包括:采集液氢储罐运行中的关键参数历史数据,并进行预处理;构建多变量动态响应预测模型,基于关键参数历史数据进行训练和验证,以获取训练好的最优预测模型;基于所述最优预测模型,模拟...
基于PID-拉格朗日深度强化学习的电动汽车充电站安全调度方法、设备和介质
本发明公开基于PID‑拉格朗日深度强化学习的电动汽车充电站安全调度方法、设备和介质,涉及智能电网与人工智能交叉技术领域。该方法首先构建充电站的约束马尔可夫决策过程模型,定义了包含电网跟踪误差或经济利润的奖励函数,以及基于配电变压器物理容量限...
一种履带车辆PID控制驱动方法、履带车辆及介质
本发明公开一种履带车辆PID控制驱动方法、履带车辆及介质,涉及履带车辆运动控制技术领域。所述方法包括响应于履带车辆输出受限,对PID控制器进行积分冻结,通过当前积分值计算积分冻结时PID控制器输出量;所述PID控制器进行积分冻结后,若PID...
一种基于模糊控制和自抗扰控制的双旋翼无人机控制方法
本发明公开了一种基于模糊控制和自抗扰控制的双旋翼无人机控制方法,包括:S1):建立新型双旋翼无人机的运动学和动力学模型,构建由输入到控制的完整模型;S2):运用自抗扰控制在内层构建扩张状态观测器及其对应法则;S3):运用模糊控制在外层对无人...
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