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  • 本申请公开一种进气组件、上电极装置和半导体工艺设备,属于半导体加工技术领域。所公开的进气组件用于安装于上电极装置的介质窗上,介质窗设有安装凹槽,安装凹槽的底部设有出气孔,进气组件包括供气件、密封件和隔离件;供气件内具有气体通道,气体通道具有...
  • 本说明书实施例提供了一种工艺腔室的清洁方法,该方法利用挡片保护晶圆承载装置,避免目标清洁工艺中较强的等离子体环境对晶圆承载装置造成损伤;在目标清洁工艺中,利用第一等离子体和第二等离子体分别在高压偏置(即高腔室压力+偏置功率)和低压偏置(即低...
  • 本发明提供一种电路编辑自动化方法、装置、系统和电子设备,属于半导体技术领域。其中方法包括:获取待修改的集成电路图像;将所述集成电路图像输入至修改区域识别模型,得到所述修改区域识别模型输出的所述集成电路图像的待修改区域识别结果;将所述待修改区...
  • 本发明公开了一种应用于SIC离子注入机的聚焦控制系统及聚焦方法,控制系统包括工控机、ADIO控制器、第一高压电源、高压仓、聚焦硅堆、聚焦电极、聚焦泄放电阻和安装法兰;所述工控机与ADIO控制器连接,所述ADIO控制器与第一高压电源连接,所述...
  • 一种基于液态金属轴承的CT球管及其阳极组件、加工方法,其中,阳极组件包括阳极靶;转子;中轴部,沿轴向至少包括第一配合段,中轴部的轴向平行于第一方向;外轴部,套设于第一配合段,阳极靶和转子分别连接于外轴部沿第一方向的两端,中轴部与外轴部之间形...
  • 本发明属于毫米波及太赫兹频段电真空器件领域,具体提供一种可抑制模式竞争的太赫兹高阶模互作用电路,包括:外壳1,设置于外壳内壁上抑制模式竞争的高频互作用电路2,设置于外壳上并与高频互作用电路连接的信号输出组件3、电子枪通道4、收集极通道5;高...
  • 本发明涉及光学探测器技术领域,提供一种光学探测器灌封方法及灌封工装。光学探测器灌封方法包括如下步骤:S110、将预处理后的胶液灌封入环形间隙内得到第一灌封组件,将上半舱体密封扣合于下半舱体得到第二灌封组件;S120、将第二灌封组件内部抽负压...
  • 本发明公开了一种基于传输线的大功率磁控管微波互耦合成方法及系统,属于磁控管控制技术及微波合成领域。本发明通过耦合波导或H‑T波导实现磁控管件的互联,调节H‑T波导或耦合波导的传输系数在‑7dB~‑14dB范围内,实现磁控管阵列的锁频锁相。本...
  • 本发明涉及一种复合式光阴极,其包括基底、半导体光阴极层、绝缘支撑结构和栅极,所述基底包括基底本体和微纳结构,所述微纳结构形成在所述基底本体的上表面,所述半导体光阴极层和所述绝缘支撑结构均设于所述基底本体上,所述半导体光阴极层覆盖所述微纳结构...
  • 本发明的实施例提供了一种具有碳纳米管的箔结构及其制备方法、冷阴极和X射线管,箔结构包括:金属衬底,具有第一表面和第一侧面,第一侧面垂直于第一表面,第一侧面位于金属衬底的至少一侧的边缘;结合层,位于金属衬底的第一表面;以及多个碳纳米管,多个碳...
  • 本发明提供了一种带内置钨丝电极的无热子空心阴极,属于航天相关设备制造技术领域。本发明中发射体设置在阴极管内侧壁上部且紧密贴合,阴极管顶部出口端密封连接节流顶,节流顶的流道一与阴极管及发射体腔体贯通设置,触持极同轴套装于阴极管外部,阴极管的底...
  • 本发明公开可带电型跌落式熔断器透明绝缘护罩(带灭弧),涉及电力设备绝缘保护技术领域,其包括与带灭弧的跌落式熔断器外形贴合的罩体,罩体对应熔断器上部接线端子处设导线出口,出口处装专用硅胶件;对应灭弧罩位置设适配的灭弧罩安装部,罩体设安装口,罩...
  • 本发明涉及熔断器技术领域,特别是一种拆装快捷的双柱式熔断装置,包括绝缘构件,绝缘构件为承载熔断器的绝缘架,起到承接安装作用,本装置还包括设置于所述绝缘构件侧面上部的上连接构件、设置于所述绝缘构件侧面下部的下连接构件以及设置于所述上连接构件和...
  • 本申请涉及一种抽屉式框架断路器,涉及断路器技术领域,其包括断路器本体、用于安装断路器本体的柜体、设置于断路器本体上的灭弧室以及分级储能灭弧系统,分级储能灭弧系统包括气泵、高压储气罐、低压储气罐、喷管和分级导阀,分级导阀根据分闸电流大小控制高...
  • 本发明涉及直流断路器的技术领域,公开了一种全机械式直流断路器,包括串联在一起的多个开断单元,它们均与上层控制器相连,接收上层控制器的开断指令,同时执行开断操作,每个所述开断单元均并联有均压模块,其灭弧室均设置在绝缘箱内部,所述绝缘箱内部的气...
  • 本申请涉及断路器技术领域,具体公开了一种小型断路器,其包括壳体以及设于所述壳体内的静触头;动触机构,包括活动连接于所述壳体上的动触架和连接于所述动触架上的动触头,所述动触头用于与所述静触头相抵触;灭弧机构,用于熄灭所述动触头和所述静触头在分...
  • 一种断路器的接电结构。主要解决传统的断路器接线完成后,裸露在断路器壳体侧面的导线段及端子金属部分缺乏有效封闭的问题。本发明提供一种断路器的接电结构,通过将固定的接电柱设于安装板,并利用安装槽实现底部对接,使得所有高压接电部位均被容纳在断路器...
  • 本发明公开了一种电磁式漏电断路器,涉及断路器技术领域,包括2P断路器、漏电保护机构以及附加断路器,漏电保护机构包括壳体二,所述壳体二的内部安装有控制器和零序电流互感器,壳体二的内部固定有限位板,壳体二的内部设置有导电组件和连接切换单元,本申...
  • 本申请提供一种断路器触头系统参数调整方法、装置及电子设备,涉及断路器技术领域,该方法包括:获取待调整断路器的弧触头开距、主触头开距及临界短路电流区间;计算弧触头开距与主触头开距的比例得到第一比例;将第一比例在第一预设比例区间内进行调整,待调...
  • 本发明公开了一种多组触点继电器,包括线圈安装架、安装底板、承接架、触点联动架和外绝缘壳,外绝缘壳,作为继电器的外部防护结构,用于容纳和保护内部部件,同时提供绝缘防护;线圈安装架,嵌设于外绝缘壳内部,用于安装线圈、线圈骨架和铁芯,本发明借助多...
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