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  • 本申请涉及一种半导体器件的制造方法,包括:提供衬底,所述衬底上形成有栅极结构,所述栅极结构包括形成于所述衬底上的栅极和形成于所述栅极的侧壁的栅极侧墙;于所述栅极侧墙的远离所述栅极一侧的所述衬底内形成第一金属硅化物层,所述第一金属硅化物层中远...
  • 本公开实施例涉及一种半导体结构及其制备方法。该制备方法包括:提供基底,于基底上形成初始栅极结构;初始栅极结构包括栅极和初始侧墙;于基底裸露于相邻初始栅极结构之间间隔内的表面形成金属硅化物层;对初始侧墙执行至少一次刻蚀清洗工艺,以获得厚度符合...
  • 本发明提供一种半导体结构及其制造方法,具体涉及半导体技术领域。所述半导体结构的制造方法包括提供衬底,所述衬底上形成有栅极结构和侧墙结构,所述侧墙结构位于所述栅极结构的两侧,所述栅极结构两侧的衬底内形成有源漏区;对所述源漏区进行湿法预刻蚀,形...
  • 本发明提供一种具有金属栅极的半导体器件及其形成方法,伪栅结构具有大于目标关键尺寸的第一关键尺寸;氧化伪栅结构的两侧侧壁形成氧化层,一侧氧化层的第二关键尺寸为第一关键尺寸与目标关键尺寸之差的一半;氮化伪栅结构的侧壁的氧化层形成氮氧化层,氮氧化...
  • 本发明涉及一种半导体器件及其制作方法。所述制作方法中,形成具有不同横截面面积的栅极凹槽,在横截面面积较小的第一栅极凹槽中形成较低沉积温度的第一金属层,在横截面面积较大的第二栅极凹槽中先形成第一金属层,再形成较高沉积温度的第二金属层,第二金属...
  • 本发明公开了一种寄生超级整流器的MOSFET集成器件,包括MOS外延层、MOS沟槽栅、体区、源区、隔离层和接触孔;接触孔包括SBR结构区和金属柱;SBR结构区包括底部介质层、SBR金属栅极和SBR栅介质层;体区通过体接触区与金属柱形成欧姆接...
  • 本发明公开了一种寄生超级整流器的MOSFET集成器件,包括MOS外延层、MOS沟槽栅、体区、源区、隔离层、接触孔和接触岛区;接触孔包括SBR结构区和金属柱;SBR结构区包括SBR外延层和SBR栅介质层;体区通过体接触区与金属柱形成欧姆接触,...
  • 本发明提供一种基于射频数模混合的多模芯片制备方法,涉及集成电路制造工艺技术领域,所述方法包括:在P型硅衬底上外延生长III‑Ⅴ族化合物层形成高迁移率沟道,同步在射频与数字电路交界区刻蚀1.5微米深槽隔离沟槽并构建双阱结构,输出总噪声隔离值≥...
  • 本发明公开了一种BCD工艺中制备CFP场板的方法,包含:步骤一,在半导体衬底上形成多个浅槽隔离结构以隔离出LDMOS区以及逻辑区;在所述半导体衬底中形成阱区、漂移区,形成LDMOS区以及逻辑区的栅极结构,然后淀积一层侧墙介质层;步骤二,以光...
  • 本申请公开了一种离子注入方法,包括:提供一衬底,所述衬底包括PMOS区域和NMOS区域;在位于所述NMOS区域的衬底上形成光阻层,使得所述PMOS区域露出;以所述光阻层为掩膜,进行源漏区离子注入工艺,以在所述衬底中形成PMOS器件的源区和漏...
  • 本申请实施例提供了一种半导体结构、形成方法及相关器件,其中,所述方法,包括:提供包括衬底和形成在所述衬底上的第一氧化层的基底;在所述基底上形成多个相互间隔的隔离沟槽,以隔离沟槽间的基底为隔离基底;在隔离沟槽中形成包括形成在沟槽侧壁和底部的第...
  • 一种方法,包括:在衬底上方形成下部源极/漏极区;在下部源极/漏极区的旁边形成栅极堆叠件;在下部源极/漏极区上方形成上部源极/漏极区;实施背面薄化工艺,以薄化衬底并且暴露出牺牲区;去除牺牲区以暴露出下部源极/漏极区;以及形成背面接触插塞以电连...
  • 本公开提供了半导体结构及其形成方法,该方法包括:在衬底上方形成包括第一和第二半导体层的堆叠件,其中第一和第二半导体层具有不同组成且彼此交替;图案化堆叠件以形成有源区域;形成围绕有源区域的隔离结构;在隔离结构上形成硬掩模;在堆叠件上方形成伪栅...
  • 方法包括:形成包括衬底上方的下部多层堆叠件、下部多层堆叠件上方的介电蚀刻停止层和介电蚀刻停止层上方的上部多层堆叠件的多层堆叠件。方法还包括:蚀刻多层堆叠件以形成对准标记沟槽;对上部多层堆叠件实施第一蚀刻工艺以形成上部多层堆叠件部分;以及基于...
  • 一种方法包括形成互补场效应晶体管,包括形成下源极/漏极区域,以及在下源极/漏极区域上方形成上源极/漏极区域。执行蚀刻工艺以蚀刻穿过上源极/漏极区域并形成接触开口。蚀刻工艺停止于下源极/漏极区域的顶面上。该方法还包括:在接触开口中形成介电接触...
  • 本公开实施例提供一种芯片封装方法及封装结构,方法包括:形成桥接芯片,桥接芯片的有源面设置有可研磨芯片粘结膜;提供载板并在载板上形成塑封料导电柱;通过可研磨芯片粘结膜将桥接芯片粘贴固定于载板;在载板上形成第一塑封层并对其第一表面进行研磨减薄以...
  • 本专利申请涉及非对称传输线功率组合器。本文中所描述的实例装置包含第一焊盘(140A)、第二焊盘(140H)和包含配置成耦合到监控电路系统(125)的第一端(155)的传输线(135),其中所述传输线(135)包含第二端(150)。所述实例装...
  • 本发明提供一种IGBT器件及其制备方法,该IGBT器件包括半导体层、第一和二沟槽、栅介质层、栅导电层、发射区、层间介质层、接触孔、接触区、集电区及各电极,其中,半导体层包括层叠的衬底及基区;第一沟槽贯穿基区;栅介质层和栅导电层填充第一沟槽;...
  • 本发明属于半导体制造技术领域,具体涉及α相三氧化钼薄膜的制备方法、背栅硅基场效应晶体管及其制备方法。本发明将前驱体分散于有机溶剂中,得到前驱体溶液,前驱体含有钼元素和硫元素;将前驱体溶液涂覆于衬底表面,得到带有前驱体湿膜的衬底;将带有前驱体...
  • 本发明公开了一种基于TiNiPt体系栅极金属结构的GaN HEMT及制备方法,包括:衬底,以及位于衬底上的GaN基外延结构;源电极和漏电极,位于器件两端欧姆接触区域的GaN基外延结构上;隔离区域,位于器件两端;其中,隔离区域通过对器件两端的...
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