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最新专利技术
  • 一种改善光掩模干法蚀刻工艺中石英玻璃片监测颗粒的方法
    一种改善光掩模干法蚀刻工艺中石英玻璃片监测颗粒的方法_宁波冠石半导体有限公司_202511504908.0
    本发明涉及一种改善光掩模干法蚀刻工艺中石英玻璃片监测颗粒的方法，包括对石英玻璃片进行第一次颗粒物检查、在真空腔室中进行氧化镀膜、进行第二次颗粒物检查、对比第一次颗粒物检查结果和第二次颗粒物检查结果以完成对石英玻璃片的处理。利用本发明设计的一...
    2026-03-22
  • 一种掩模版的清洗方法和清洗装置
    一种掩模版的清洗方法和清洗装置_中国科学院光电技术研究所_202511413199.5
    本发明涉及半导体掩模版清洗技术领域，具体涉及一种掩模版的清洗方法和清洗装置，清洗方法包括以下步骤：S1、将待清洗掩模版放置于亚硫酸盐溶液中，亚硫酸盐溶液的pH为10~14；S2、在采用紫外光照射活化亚硫酸盐溶液的条件下，利用超声清洗待清洗掩...
    2026-03-22
  • 一种掩膜工艺校正方法、装置、设备及存储介质
    一种掩膜工艺校正方法、装置、设备及存储介质_华芯程(杭州)科技有限公司_202511691202.X
    本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种掩膜工艺校正方法、装置、设备及存储介质，通过接收目标掩膜图案及对应的设计厚度；将所述目标掩膜图案作为初始电子束曝光图案输入预训练的掩膜顶底面工艺校正模型；确定所述模拟电子束曝光图案中各个边缘段对应的...
    2026-03-22
  • 掩模版的缺陷修复方法、装置及终端
    掩模版的缺陷修复方法、装置及终端_浙江创芯集成电路有限公司_202511616422.6
    本发明提供一种掩模版的缺陷修复方法、装置及终端，修复方法包括：获取掩模版表面的光声信号与荧光信号；光声信号与荧光信号是在量子点溶液施加至掩模版表面，通过激发所述量子点溶液中的量子点时产生的；根据光声信号与荧光信号，确定缺陷区域的缺陷信息，缺...
    2026-03-22
  • 一种缺陷掩膜基板的筛选方法、系统、介质及终端
    一种缺陷掩膜基板的筛选方法、系统、介质及终端_青岛方益技术有限公司_202511544957.7
    本发明提供一种缺陷掩膜基板的筛选方法、系统、介质及终端，本发明的缺陷掩膜基板的筛选方法包括，获取缺陷掩膜基板的缺陷信息；获取目标版图数据；将缺陷掩膜基板与目标版图设定不同的相对旋转角度，进行匹配分析：B1：若缺陷为遮光型缺陷，当局部图形密度...
    2026-03-22
  • 一种掩模版表面光刻保护层、制备方法及应用
    一种掩模版表面光刻保护层、制备方法及应用_中国科学院光电技术研究所_202511322936.0
    本发明涉及半导体光刻技术领域，具体涉及一种掩模版表面光刻保护层、制备方法及应用，光刻保护层设置在掩模版具有图形结构的表面上，用于提升光刻曝光过程中的图形质量，所述光刻保护层包括类金刚石碳材料，所述光刻保护层的厚度为至少12nm，使用包括光刻...
    2026-03-22
  • 冗余图形的添加方法、添加系统、计算机设备和存储介质
    冗余图形的添加方法、添加系统、计算机设备和存储介质_北京超弦存储器研究院_202410773156.7
    本申请涉及一种冗余图形的添加方法、添加系统、计算机设备和存储介质。该冗余图形的添加方法包括：获取掩膜图形；于掩膜图形中划分出第一区域及第二区域；第一区域为需要进行光学临近校正的区域，第二区域为无需进行光学临近校正的区域；于第一区域添加第一冗...
    2026-03-22
  • 一种校正光罩布局的方法
    一种校正光罩布局的方法_合肥晶合集成电路股份有限公司_202511676880.9
    本发明提供了一种校正光罩布局的方法，应用于半导体技术领域。在本发明中，先基于相邻像素图形之间的间距长度，筛选出间距长度不满足预设范围的多个像素图形，然后再对筛选出的像素图形的关键尺寸进行不同比例的N次倍缩，以构建出若干第一测试光罩，而后基于...
    2026-03-22
  • 光学邻近修正模型的建立方法、系统、设备及存储介质
    光学邻近修正模型的建立方法、系统、设备及存储介质_浙江创芯集成电路有限公司_202511624035.7
    本发明实施例提供一种光学邻近修正模型的建立方法、系统、设备及存储介质，方法包括：提供测试版图，测试版图上具有第一测试图形；利用第一光学邻近修正模型对第一测试图形进行修正操作，生成第一测试图形的掩模版图形数据；获取按照掩模版图形数据，执行曝光...
    2026-03-22
  • 光学邻近校正方法、电子设备及计算机可读存储介质
    光学邻近校正方法、电子设备及计算机可读存储介质_上海华虹宏力半导体制造有限公司_202511511912.X
    本发明提供一种光学邻近校正方法、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取与图形密度对应的光刻胶等效扩散长度数据；基于所述数据，对目标版图进行光学邻近校正。获取数据时，可设计具有不同占空比的测试图形，通过光刻实验确定等效扩散长度随图形密...
    2026-03-22
  • 光罩传送盒
    光罩传送盒_特铨股份有限公司_202411724665.7
    本发明提供一种光罩传送盒，用于存放一光罩，该光罩传送盒包含一底座及一上盖。其中，底座具有一基板，基板可气体连接至一外部充填洁净气体。上盖可选择性盖合底座并形成一存放空间，用以存放光罩，并使存放空间气体连接至外部充填洁净气体。基板与上盖是由一...
    2026-03-22
  • 一种偏轴投影屏幕及投影系统
    一种偏轴投影屏幕及投影系统_四川菲斯特科技有限公司_202511282193.9
    本发明属于投影显示领域，公开了一种偏轴投影屏幕，包括成像层、黑色吸光层和锯齿形微结构层；所述黑色吸光层上设置有若干非均匀间隔分布的黑色吸光条，从靠近投影机方向往远离投影机方向，所述黑色吸光条的分布间距增大。本发明的黑色吸光条的设置，使得屏幕...
    2026-03-22
  • 投影幕布、影像系统和车辆
    投影幕布、影像系统和车辆_比亚迪股份有限公司_202511214076.9
    本发明公开了一种投影幕布、影像系统和车辆，投影幕布包括：基材；光学结构，光学结构设在基材上且包括多组光学分区，多组光学分区沿同一圆心依次排布，每个光学分区包括多个微结构，多个微结构沿其所在的光学分区的延伸方向排布，其中，每个微结构具有侧周壁...
    2026-03-22
  • 投影幕布收纳装置及投影设备
    投影幕布收纳装置及投影设备_深圳万拓科技创新有限公司_202511306428.3
    本发明涉及投影设备技术领域，公开一种投影幕布收纳装置及投影设备。投影幕布收纳装置包括收纳组件、驱动组件、支撑杆和支脚。收纳组件包括收纳管，收纳管包括第一收纳管和第二收纳管，第一收纳管与投影设备的投影幕布的第一端连接。驱动组件包括收卷轴，收卷...
    2026-03-22
  • 投影屏幕及投影系统
    投影屏幕及投影系统_青岛海信激光显示股份有限公司_202410772517.6
    本申请提供一种投影屏幕及投影系统，投影屏幕包括显示膜片，显示膜片具有投影受光面；屏幕框架，屏幕框架围设在显示膜片的外周，屏幕框架包括支撑架和支撑杆，支撑杆连接显示膜片的端部，支撑杆活动设置在支撑架内，支撑杆具有抵接部；张紧单元，张紧单元活动...
    2026-03-22
  • 分屏投影装置
    分屏投影装置_宜宾市极米光电有限公司_202410773821.2
    本发明提供了一种分屏投影装置。分屏投影装置包括：投影镜头模块，投影镜头模块由第一侧至第二侧依序包括多片具有屈光度的透镜和显像光阀；分光模块，分光模块位于投影镜头模块的第一侧且处于投影镜头模块的光轴上，分光模块具有多个反射面，多个反射面的反射...
    2026-03-22
  • 照明系统及其投影机
    照明系统及其投影机_苏州佳世达光电有限公司_202410767946.4
    本发明提供的照明系统及其投影机，照明系统接收投影机的光源模组的色光以形成投影光束且包含透镜阵列元件、数字微镜元件、屈光元件及投射镜头。透镜阵列元件设置于光源模组的出光轴上以对从光源模组所传来的色光进行匀光塑形。数字微镜元件具有微型阵列反射区...
    2026-03-22
  • 激光投影设备、异常检测方法、存储介质及程序产品
    激光投影设备、异常检测方法、存储介质及程序产品_青岛海信激光显示股份有限公司_202410767402.8
    本申请提供实施例属于显示技术，提供一种本申请实施例提供的激光投影设备、异常检测方法、存储介质及程序产品，激光投影设备包括：控制单元、光源组件、第一散热组件和第二散热组件，第二散热组件用于对第一散热组件进行辅助散热，控制单元分别与光源组件和第...
    2026-03-22
  • 激光投影设备、调整方法及程序产品
    激光投影设备、调整方法及程序产品_青岛海信激光显示股份有限公司_202410773302.6
    本申请提供实施例属于显示技术，本申请实施例提供一种一种激光投影设备，所述激光投影设备包括：主机和显示屏，所述主机被配置为：获取当前的姿态数据和位置数据；在所述姿态数据与预设姿态数据不匹配的情况下，进行主机姿态调整，以及，在所述位置数据与历史...
    2026-03-22
  • 一种卡口、转接环、镜头及图像拾取装置
    一种卡口、转接环、镜头及图像拾取装置_深圳市唯卓仕科技有限公司_202511660854.7
    本申请属于摄影技术领域，尤其涉及一种卡口、转接环、镜头及图像拾取装置，卡口包括卡口主体、安装部件、固定突出部和活动突出部，安装部件连接于所述卡口主体并用于将所述卡口主体连接至所述镜头，活动突出部和固定突出部连接于所述卡口主体，所述活动突出部...
    2026-03-22
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