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  • 一种用于将物场(5)成像至像场(11)的成像EUV光学单元(10)。成像光学单元(10)具有多个反射镜(M1到M6),用于沿成像束路径引导EUV成像光(16)。多个反射镜包含至少两个NI反射镜(M1、M2、M5、M6)及至少一个GI反射镜(...
  • 滤光片单元包含配置在对被照射面进行照明的照明光学系统的光轴上的多个滤光片,所述多个滤光片包含具有第1透射率分布的第1滤光片和具有第2透射率分布的第2滤光片,所述第1透射率分布在与所述照明光学系统的光轴正交的平面内的正交坐标系的第1方向上,按...
  • 光源元件的驱动方法为若在光源元件的温度在第一温度范围内时供给第一电流值的电流则以第一发光量发光的所述光源元件的驱动方法,包括:在使所述光源元件成为以所述第一发光量发光的状态时,开始以比所述第一电流值低的第二电流值进行向所述光源元件的电流供给...
  • 本公开内容涉及全息图记录介质和包括其的光学元件。所述全息图记录介质不仅具有优异的光学记录特性,而且即使在高温条件下也可以表现出优异的可靠性和高透明度。
  • 本公开内容涉及光聚合物组合物、全息图记录介质、其制备方法及包括其的光学元件。所述光聚合物组合物能够提供不仅表现出优异的光学记录特性而且即使在高温下也表现出优异的可靠性和透明度的全息图记录介质和包括其的光学元件。
  • 提供具有厚膜时的优异的图案加工性,并且即使在具有铝焊盘电极的基板上进行加工处理也不产生有机堆积物的树脂组合物。一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,含有作为(A)成分的选自聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺和聚苯并唑中的至少1种高分子化合物、作...
  • 本公开关于感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、固化膜及半导体装置等。感光性树脂组合物包含:(A)下述(A1)和/或(A2)的聚酰亚胺:(A1)在侧链具有芳香族环的聚酰亚胺、(A2)具有下述通式(1):所表示的结构的聚酰亚胺;(B)溶剂...
  • 一种感光性元件,其依次具备支撑膜、光学调整层及感光层,其中,所述光学调整层对波长365nm的光的吸光度为0.060以下,所述光学调整层对波长365nm的光的折射率为1.800以下。
  • 一种用于将物场(5)成像至像场(11)的成像EUV光学单元(10)。多个反射镜(M1到M8)用于沿成像束路径从物场(5)朝向像场(11)引导波长短于30nm的EUV成像光(16)。多个反射镜(M1到M8)对EUV成像光(16)的总体传输率大...
  • 公开了一种用于从晶片台的表面去除材料的工具和一种形成用于从晶片台的表面去除材料的工具的方法。该工具包括卡盘和被设置在卡盘的至少一个表面上的研磨层。研磨层的表面包括共价键合到研磨层表面的原子,使得研磨层抵抗由被去除的材料引起的堵塞。该方法包括...
  • 该照明装置设置有:发光单元,发射第一波长带中的光;相位调制单元,对来自发光单元的入射光执行空间光学相位调制;波长转换单元,通过对来自相位调制单元的入射光执行波长转换来发射不同于第一波长带的第二波长带中的光;以及透镜光学系统,将来自波长转换单...
  • 本发明提供一种系统,所述系统包括用于使射束路径偏转的声光偏转器(AOD)扫描系统及用于控制所述AOD扫描系统的控制器。所述控制器可控制所述AOD扫描系统的一个驱动器的操作以使所述射束路径自第一位置偏转至第二位置,且可控制所述AOD扫描系统的...
  • 阵列基板、其制作方法及显示面板,包括衬底基板(101);第一数据线(102),在衬底基板(101)上沿第一方向(Y)延伸,第一数据线(102)包括断口(O);桥接结构(103),与断口(O)两端的第一数据线(102)相连;第一晶体管(104...
  • 本发明提供一种能得到以比以往高的水平抑制AC残像的液晶取向膜的液晶取向剂、该液晶取向膜以及使用了该液晶取向膜的液晶显示元件。一种液晶取向剂,其特征在于,所述液晶取向剂含有选自由具有由下述式(1)表示的重复单元(a1)的聚酰亚胺前体和作为该聚...
  • 提供一种液晶取向膜和液晶取向剂,所述液晶取向膜和液晶取向剂提供具有高预倾角的液晶显示元件。一种液晶取向剂,其特征在于,含有下述(B)成分。(B)成分:具有下述式(1)所示的重复单元结构的聚合物(B)。(W表示具有选自由碳原子数4~40的脂环...
  • 一种显示面板及显示装置,属于显示技术领域,包括:显示区以及围绕显示区的多个边框区,多个边框区包括第一边框区、第二边框区、第三边框区和第四边框区;显示面板在边框区还包括GOA电路;GOA电路包括多个第一GOA单元和多个第二GOA单元,多个第一...
  • 阵列基板(001)、显示面板(PNL)、显示装置及驱动方法,包括衬底基板(101),衬底基板(101)包括显示区(AA)、以及位于显示区(AA)至少一侧的非显示区(BB),非显示区(BB)包括移位寄存器区(GOA);传感器电路(103),传...
  • 本发明是一种智能镜面镀膜眼镜,其包括:眼镜镜片,兼具太阳镜功能和眼镜功能;眼镜架,具有用户触摸部、光检测部、用于太阳镜功能和眼镜功能之间转换的电致变色切换部、以及根据用户触摸部和光检测部的输入来控制电致变色切换部的功能控制部,通过用户触摸部...
  • 本发明涉及一种用于对眼科镜片(10)进行定心的方法,该眼科镜片包括位于无图案区域(13)周围的若干不同图案(12),所述方法由处理单元执行并且包括以下步骤:‑ 获取所述眼科镜片的至少一个图像,‑ 处理所述图像以检测所述图案,‑ 由此推导出定...
  • 本发明涉及一种多点光学测量装置(1),其包括用于发射激光脉冲的源(2),至少两个分束模块(4),其旨在被所述脉冲穿过并将入射激光光束(7)分成多个平行光束(8),至少一个会聚透镜(5),其设置在源(2)和分束模块(4)之间,测量区域(6),...
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