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  • 本发明公开了一种基于显示驱动芯片的铜镍金凸块生产工艺,其包括如下步骤:S1、晶圆前置清洗处理;S2、钝化层开口,暴露焊盘,在晶圆上蚀刻形成沉孔;S3、在沉孔内填充金属;S4、在晶圆进行黄光工艺,在晶圆上形成正面重布线层;S5、对晶圆进行减薄...
  • 一种方法包括提供厚度为250微米或更小的半导体晶片。半导体晶片包括多个管芯位点,每个管芯位点包括垂直功率半导体器件。该方法还包括将金属晶片附接到半导体晶片。金属晶片具有与半导体晶片类似的形状。在将金属晶片附接到半导体晶片之前或之后,将半导体...
  • 本申请涉及半导体封装技术领域,提供TO‑247分立器件功率模块及其封装方法,TO‑247分立器件功率模块的封装方法,包括:在基板表面涂覆焊膏,并将至少一个晶体管放置在基板的预设位置;按照预设温度曲线对焊膏进行温度控制,焊膏熔融,以形成晶体管...
  • 本发明提供一种半导体晶圆及其制备方法,制备方法包括:提供晶圆,测量晶圆的翘曲数据,依据翘曲数据,在晶圆背面沉积弓形应力膜,其中,弓形应力膜满足以下规则:若晶圆正面x方向的翘曲,则由分布在背面y方向弓形应力膜校正;若晶圆正面y方向的翘曲,则由...
  • 本发明提供一种混合键合封装结构及其制作方法,该混合键合封装结构的制作方法包括以下步骤:提供一包括多个间隔设置电极区的衬底晶圆,电极区中包括多个上表面与电极区的上表面齐平的第一电极;提供一牺牲晶圆,并于牺牲晶圆的上表面固定多个与电极区一一对应...
  • 本公开内容涉及具有载体支撑结构的半导体封装。一种形成半导体封装的方法包括:提供引线框架,所述引线框架包括与外围结构连接的多条引线;提供多个管芯焊盘,每个管芯焊盘上安装有功率开关器件;提供第一电路载体,所述第一电路载体上安装有控制器器件,所述...
  • 本申请提供一种封装基板制作方法及封装基板,属于封装基板技术领域,所述封装基板制作方法包括:提供一封装基板,在所述封装基板上压合绝缘层;对所述封装基板进行固化烘烤,使所述绝缘层固化;对所述封装基板进行退火烘烤,所述退火烘烤的温度低于所述绝缘层...
  • 本公开提供一种封装基板的镭射加工方法、装置、电子设备及存储介质。所述方法包括:获取待处理的封装基板,并确定所述待处理的封装基板的所在层数;响应于确定所述所在层数为奇数层,直接对处于初始位置的所述待处理的封装基板进行镭射加工;响应于确定所述所...
  • 本公开涉及半导体技术领域,提供了一种半导体器件的制造方法。该制造方法包括:从晶圆的第一面修整晶圆的边缘区形成台阶,台阶包括台阶面和台阶侧面,台阶面的宽度小于等于边缘区的宽度;在晶圆的第一面和台阶侧面形成粘合层,以将晶圆固定在载片上;其中,台...
  • 本申请实施例提供一种无芯封装基板的加工方法及无芯封装基板,包括:提供支撑板,支撑板包括基材、附着于基材两侧的第一铜箔、附着于第一铜箔的第二铜箔;在第二铜箔上压合第一半固化片和第三铜箔;在第三铜箔上进行图形制作,以形成电路图形;在第三铜箔上压...
  • 本申请提供的一种桥连封装方法和封装结构,该桥连封装方法包括提供具有金属层的可分离基底;金属层设有凹槽。在金属层上形成第一金属柱;在凹槽贴装第一芯片。第一芯片包括芯片主体和边缘层,芯片主体设有第一导电柱和第二金属柱。边缘层超出芯片主体的边缘;...
  • 本发明提供了一种共晶设备及共晶工艺,共晶设备包括横梁、第一贴片机构、第二贴片机构、第一备料机构、第二备料机构和加热台,其中:第一贴片机构与第二贴片机构均可移动地设置于横梁,第一贴片机构包括支撑板和第一滑台,第一滑台沿第一方向可移动地设置于横...
  • 本申请涉及半导体技术领域,提供了一种半导体器件制备方法,用于在玻璃基板上形成通孔。玻璃基板的一侧叠置有硬掩膜层,硬掩膜由高稳定性材料制成,使得硬掩膜层的结构稳定,这样硬掩膜层在干法刻蚀工艺过程中的蚀刻速率较低,硬掩膜层相对于玻璃基板的选择比...
  • 一种封装基板线路制备方法,包括以下步骤:S1、将铜粉与聚酰亚胺溶液混合形成复合材料;S2、将所述复合材料图案化沉积于封装基板的表面,形成线路图案复合材料层;S3、对沉积后的线路图案复合材料层进行干燥,在封装基板的表面形成干燥的复合材料层;S...
  • 本发明涉及微波毫米波电路领域,提供一种基于缺陷地结构BGA型SiP封装结构的高阻线设计方法,该设计方法包括:在BGA型SiP封装结构中,去除BOTTOM层的部分大面积金属地,使得RF层射频带线的下层参考地为PCB复合基板的TOP层。本发明通...
  • 本发明公开了一种图形化刻蚀方法,包括步骤:形成第一工艺层。形成第一SOC层。生长第一厚度的LTO层。形成第二SOC层。涂布光刻胶并进行曝光将第一区域打开。进行第一次等离子体刻蚀工艺将第一区域的第二SOC层去除并停止在LTO层上。进行第二次等...
  • 本发明提供一种半导体器件的形成方法,包括:提供衬底,衬底包括功能区和划片区,在衬底上形成图形化的硬掩膜层;以硬掩膜层为掩膜,刻蚀衬底,在衬底中的功能区形成若干间隔的沟槽,刻蚀气体包括:SF6、O2和He;同时,在衬底中的划片区形成测试凹槽,...
  • 本发明公开了一种刻蚀掩膜层的方法,包含:提供一基片,其包含设置在刻蚀主体层上的掩膜层,其表面具有开口图形;第一刻蚀阶段:通入刻蚀气体,纵向刻蚀掩膜层至设定深度,形成开口;过渡沉积步骤:通入含硅前驱体,以在开口侧壁粘附;然后,通入含氧气体,在...
  • 本申请提供一种沟槽的刻蚀方法,通过脉冲等离子体刻蚀工艺刻蚀部分厚度的衬底,以在衬底中形成深沟槽,其中,参与刻蚀的气体至少包括:O2和SF6,O2和SF6的比例在刻蚀过程中随着刻蚀时间线性递增,并且偏置电压的占空比随着刻蚀周期递减。本申请在刻...
  • 本发明提供了一种凸起区窗口的制备方法,属于半导体技术领域。该方法包括:制备一基体结构,基体结构包括基础层和至少一个位于基础层顶面处的凸起结构;在基体结构上依次沉积介质膜层和保护膜层;在第一刻蚀条件下刻蚀保护膜层,以使得保护膜层减薄至低于凸起...
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