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基于并行感测摄像头的量测系统和方法
现行的技术通常被配置为按顺序测量量测目标。过程时间用于加速和减速系统组件,以从一个目标移动到另一个目标。最近的并行测量系统包括传感器阵列,这些传感器被布置成与衬底上的量测目标布局匹配。然而,与现有技术相比,此类系统的组件使其庞大而复杂,并且...
负型感光性树脂组合物、负型感光性树脂组合物被膜、负型感光性树脂组合物膜、固化膜及使用这些的电子零件
本发明提供一种树脂组合物,其具有厚膜下的优异的图案加工性,且即使在具有铝焊盘电极的基板上进行加工处理也不会产生有机堆积物。一种负型感光性树脂组合物,含有(B)聚合性化合物、以及(C)光聚合引发剂,所述负型感光性树脂组合物的特征在于,所述负型...
层叠结构体、固化物、以及印刷布线板
(课题)提供一种可用在输送式层压机及真空辊层压机这两者进行层压的层叠结构体。(方案)本发明所涉及的层叠结构体,为具备第一膜与形成于所述第一膜上的树脂层的层叠结构体,所述树脂层由感光性树脂组合物的干燥涂膜构成,所述感光性树脂组合物在50℃下的...
用于上下文感知套刻调整的方法和系统
本文描述了用于确定图案的特征之间的套刻的系统和方法。该方法包括获得具有多个特征的图像的表示。不包含对应设计布局中限定的任何目标特征的图像的上下文区域被确定,并且特征的套刻基于上下文区域的特性来确定。套刻与使用基于图像的非上下文区域的另一工艺...
预测光刻设备的性能的方法、光刻设备的校准、器件制造方法
披露了一种预测光刻设备的性能的方法。所述方法包括:提供与已由所述光刻设备在一个或更多个衬底上曝光的多个场相关的校准数据,其中,场曝光时间、或相关参数针对所述多个场中的至少两个所述场而变化;基于所述校准数据来生成性能模型;以及使用所述性能模型...
用于辐照光刻物体的方法和系统
本发明涉及一种用于辐照光刻物体(14、40、50)的方法,其中光刻物体(14、40、50)涂覆有抗蚀剂层(20)。抗蚀剂的辐照特性以空间分辨的方式确定。根据针对光刻物体(14、40、50)的第一表面区域确定的辐照特性,将辐照装置(21、52...
消音器和光刻设备热调节系统
一种消音器被配置成在目标频率下使热调节流体中的声波消音。所述消音器包括:敞开式入口,所述敞开式入口连接至热调节流体导管以与所述导管中的所述热调节流体进行流体连通;封闭端,所述封闭端用于反射所述热调节流体中的所述声波;以及消音器导管,所述消音...
用于热调节系统的消音器和光刻设备
一种消音器,所述消音器被配置成使热调节流体导管中的热调节流体中的声波消音,并且所述消音器包括:敞开式入口,所述敞开式入口被配置成连接至所述热调节流体导管以与所述热调节流体导管中的所述热调节流体进行流体连通;消音器壳体,所述消音器壳体包括连接...
用于生成光刻过程感知光瞳轮廓的方法和系统
公开了一种用于确定用于在光刻过程中将图案成像在衬底上的光瞳轮廓的方法和系统。获得指示遍及光瞳平面的光刻性能变化与源变化之间的关系的数据,基于该数据优化第一光瞳轮廓以生成第二光瞳轮廓。第二光瞳轮廓是与可以用于使用光刻设备将图案印制在衬底上的期...
流体处理结构
本文中公开了一种用于浸没式光刻设备的流体处理结构。流体处理结构被配置为将浸没流体容纳到区域。流体处理结构在空间的边界处具有:被配置为将浸没流体供应到空间的至少一个开口;被配置为从该空间中提取浸没流体的提取器组件;相对于该空间在提取器组件的径...
可切换滤光器、照明装置和屏幕
本发明涉及可切换滤光器(5),其包括第一光学元件(1),所述第一光学元件在其侧包括多个光吸收跃迁偶极矩,使得入射到第一光学元件(1)中的光根据其相对于第一光学元件(1)的入射方向以及其偏振状态被透射或至少部分地被吸收;用于产生至少两个不同的...
用于佩戴者的眼睛的角膜塑形接触镜片
本发明涉及一种用于佩戴者的眼睛的角膜塑形接触镜片(L),其中,镜片的背部的后部面具有至少一个三维结构,至少一个三维结构沿着围绕镜片的几何中心轴线的圈状路径或环状路径进行延伸,其中,三维结构被构造成提供沿着圈状路径或环状路径的非均匀的光学屈光...
用于近视控制的纵向色差操纵
眼科透镜和相关方法为眼睛提供纵向色彩改变,以向该眼睛提供抑制近视发展或逆转近视的刺激。一种被配置为抑制眼睛近视发展或减少眼睛近视的眼科透镜,该眼科透镜包括亚表面光学结构。眼科透镜由透明材料形成,该透明材料具有透镜材料折射率。亚表面光学结构包...
眼镜腿
一种用于眼镜,尤其是用于护目镜,的眼镜腿,具有铰链端(6)、相反的自由端(7)、内表面(10)、外表面(11)、上表面(12)、下表面(13)以及至少三个通道(15),这些通道各自在内表面(10)与外表面(11)之间建立连接,并沿着眼镜腿的...
干涉观察装置、光学调整方法及光学调整程序
在干涉观察装置中,输入部受理表示观察对象物具有的多个层的厚度、折射率及配置顺序的第1输入。显示部显示表示与第1输入对应的多个层的厚度及折射率的值的第1要素、以及通过图形以对应于与第1输入对应的多个层的厚度及配置顺序的方式表示多个层的第2要素...
光学系统和相机模块
本发明的实施例中公开的光学系统包括:第一透镜组至第三透镜组,其沿光轴在物体到传感器的方向上布置,并且每个透镜组包括一个或多个透镜,其中,第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度,第二透镜组具有正光焦度,第一透镜组的位置是固定的,而第二透镜组和第三...
透镜单元、照相机模块、摄像系统以及移动体
本发明提供一种容易从振动体向第一透镜传递振动的透镜单元、照相机模块、摄像系统及移动体。具备多个透镜沿着该透镜的光轴排列而成的透镜组和收容保持该透镜组的镜筒(70),具备具有使多个所述透镜中的位于最靠物体侧的位置的第一透镜(73)振动的振动体...
包括光子芯片和多平面转换装置的光子系统
本发明涉及一种光子装置(1),该光子装置包括光子芯片(PIC),该光子芯片(PIC)包括布置在主平面(P)中的至少一个波导(WG)和布置在光子芯片(PIC)的表面上的至少一个接收区域(Z),波导(WG)和接收区域(Z)彼此光学地耦合,以便传...
嵌入式微透镜
本文描述的实施方式涉及一种具有嵌入其中的微透镜及微镜的光子元件以及制造此种元件的方法。示例光子元件包含:基板;埋入氧化物(BOX)层,所述埋入氧化物(BOX)层在所述基板上方设置;波导层,所述波导层在所述BOX层上方设置,所述波导层包含波导...
光隔离器的制造方法、光隔离器及偏光玻璃
本发明提供与以往相比更薄型且防反射膜的膜应力的影响极小的光隔离器的制造方法。一个实施方式的光隔离器的制造方法是具备法拉第旋转器和安装于该法拉第旋转器的偏光玻璃的光隔离器的制造方法,该方法包括:将偏光玻璃粘接于法拉第旋转器的工序、和在粘接后的...
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