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  • 本发明涉及真空处理技术领域, 具体公开了一种真空视窗结构及真空处理设备。该真空视窗结构包括真空腔室、视窗组件、防护通道、低温捕集组件和供气组件;真空腔室开设有视察窗口;视窗组件设于真空腔室;防护通道设于真空腔室;低温捕集组件的抽气口连通于防...
  • 本发明公开了一种Mo‑Nb微合金化不锈钢集流体及其制备方法, 涉及集流体技术领域。所述Mo‑Nb微合金化不锈钢集流体的制备方法包括以下步骤:S1:将钼纯金属和铌纯金属分别与铬纯金属熔融制备得到钼‑铬溅射靶材和铌‑铬溅射靶材;S2:将不锈钢板...
  • 本发明涉及压缩机缸体表面镀层技术领域, 公开了一种高压活塞式氢气压缩机缸体表面PVD的制备工艺, 包括以下步骤, 步骤1、基体激光微织构与等离子活化:采用脉冲光纤激光器在缸套和活塞表面加工微凹坑阵列;并通过Ar+/H2混合等离子体刻蚀去除氧...
  • 本发明公开了一种真空镀膜系统及其镀膜方法, 包括如下步骤:S1:将靶材进行烘干, 自然冷却后放置于坩埚内, 接着将下壳体密封;S2:将单晶锗片和一片光学玻璃片作为基片放置于放置筒底端的凸缘上, 将上壳体密封;S3:对下壳体和上壳体进行抽真空...
  • 本发明提出了一种低缺陷密度薄膜材料制备技术, 涉及薄膜沉积技术领域。本发明的薄膜沉积装置包括金属外壳、真空腔体、电极板和紫外线灯, 其中, 电极板设置在沉积区中沿沉积粒子运动方向的侧边, 紫外线灯发射紫外线, 照射至沉积区内, 对沉积区内的...
  • 本发明涉及一种真空设备用加热组件, 包括, 陶瓷基底辅助屏蔽组件, 所述陶瓷基底辅助屏蔽组件包括高温合金底座和设置于所述高温合金底座下方的柱杆, 所述柱杆上套设有高温合金鳍片, 所述高温合金底座下方固定有隔热屏蔽外壳;所述隔热屏蔽外壳内部设...
  • 本申请涉及一种真空镀膜用防堵坩埚盖, 包括盖体、喷嘴和端子;盖体为具有预设厚度的板状结构, 盖体放置在外部的坩埚的顶部, 盖体的顶部开设有贯穿孔, 贯穿孔贯穿盖体的顶部和底部, 盖体与坩埚形成加热腔室;喷嘴为上下开口的中空结构, 设置在盖体...
  • 本发明公开了一种真空镀铝机, 包括机壳、辊组、镀铝蒸发器, 机壳包括第一外壳和第二外壳, 第二外壳能够靠近或远离第一外壳, 辊组和镀铝蒸发器固定安装于第一外壳内, 第一外壳和第二外壳合拢能够形成密闭空间, 辊组和镀铝蒸发器位于密闭空间内, ...
  • 本发明涉及一种个性化钛合金骨缺损修复体钽涂层生成设备, 属于医疗器械技术领域, 真空腔室、双靶材复合沉积系统、五轴联动基底运动机构、动态遮挡装置、等离子体闭环调控系统及智能工艺规划系统。双靶材系统实现不规则曲面与深腔微孔的协同沉积, 五轴联...
  • 本申请公开了一种Al‑W‑O涂层及制备方法和应用, Al‑W‑O涂层包括在基体表面交替沉积的Al2O3层和WOX层, Al‑W‑O涂层的分子结构表达式为WOX/Al2O3。Al‑W‑O涂层应用于金属表面处理或金属加工。Al‑W‑O涂层交替形...
  • 本发明涉及表面防护技术领域, 具体涉及一种氧化铝氧化硅交替沉积多层薄膜、制备方法及其应用, 所述薄膜由金属基体到表面依次包括氧化铝层、氧化硅层, 所述氧化铝层与氧化硅层厚度比为2 : 1, 薄膜总厚度为1300~1500nm。本发明利用中频...
  • 本发明涉及航空发动机热障涂层技术领域, 涉及一种仿生竹节状柱状晶结构热障涂层的制备方法。所述方法通过在电子束物理气相沉积工艺过程中, 加入引导气流与电子束流的周期性控制, 实现柱状晶生长过程和微观结构的有效控制, 获得具有仿生竹节状柱状晶结...
  • 本发明涉及刀具涂层, 使用Tix1Aly1M(1‑x1‑y1)N层和TiCX2Ny2层叠加而成, 其中, Tix1Aly1M(1‑x1‑y1)N层的M由Zr, Hf, Cr, Mo, W, Nb, Ta, Y, Si元素中的一种或两种以上物...
  • 本发明提供了一种非晶态三元氮化物类铁电薄膜及其制备方法和应用。所述非晶态三元氮化物类铁电薄膜具有非晶态结构, 其由化学式为Al1‑y(X)yN的材料组成, 其中X选自B、Hf、Sc中的任一种, 本发明提供的非晶态三元氮化物类铁电薄膜展现出类...
  • 提供了一种掩模组件, 所述掩模组件包括:框架, 其中限定有开口;支撑部分, 位于框架上并与开口叠置;以及掩模, 位于支撑部分上并覆盖开口的至少一部分。支撑部分可以包括:中心层;第一外层, 位于中心层的第一表面上;以及第二外层, 位于中心层的...
  • 本申请提供一种掩膜板、掩膜板组件及掩膜板组件的制作方法。其中的掩膜板包括掩膜条, 掩膜条的长度方向沿第一方向设置, 包括中部的网面和两端的实体区, 网面包括有效蒸镀区和遮挡区, 遮挡区覆盖有遮挡膜层;两个牵引条, 分别设置于掩膜条沿第二方向...
  • 本申请公开了一种掩膜板固定装置、掩膜板组件和蒸镀设备, 掩膜板固定装置包括沿第一方向相对设置的支撑组件, 相对设置的支撑组件之间形成预设区域, 支撑组件包括朝向第二方向的第一表面, 第二方向与第一方向垂直, 第一表面包括第一固定区, 第一固...
  • 本发明的FMM的制造方法包括:步骤(a), 以电镀方式将因瓦合金片电镀于对象物;步骤(b), 将因瓦合金片整列于载体膜的一面并附着;步骤(c), 在因瓦合金片的上部面形成划分的光刻胶, 利用蚀刻液蚀刻因瓦合金片的上部面部位, 在划分部位形成...
  • 本发明涉及FMM的制造方法及通过该制造方法制造的FMM, 其特征在于, 包括:步骤(a), 将保护薄膜沉积于硅基材的上下两面;步骤(b), 将导电层沉积于上下两面沉积保护薄膜的硅基材的上面;步骤(c), 将因瓦合金镀层沉积于沉积在上面的导电...
  • 本发明公开了一种耐腐蚀锰黄铜材料及其加工工艺, 涉及锰黄铜材料技术领域, 所述耐腐蚀锰黄铜材料包括锰黄铜基材、仿生结构疏水层、耐腐蚀抗磨层;所述仿生结构疏水层由NiTi合金粉末通过激光熔覆增材制造工艺制备得到;所述耐腐蚀抗磨层由TiCrB复...
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