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半导体工件处理设备和减少处理设备内颗粒物的方法
本发明提供了一种半导体工件处理设备和减少半导体工件处理设备的处理腔室内颗粒物的方法。半导体工件处理设备包括处理腔室及位于其中的一个或多个部件;其中该部件具有高分子复合涂层;且高分子复合涂层包括位于部件表面的金属氧化物层,和位于金属氧化物层表...
一种热解吸质谱进样装置
本发明公开一种热解吸质谱进样装置,包括离子源、腔体、感应线圈及导磁取样针等。感应线圈通交变电流产生高频交变磁场,使腔体内导磁取样针感应涡流升温,实现样本瞬时热解吸。腔体为密闭或半封闭结构,通过接口与维持负压环境的离子源连通,压差梯度驱动解吸...
一种基于激光诱导相变的晶圆表面质量控制方法
本发明为一种基于激光诱导相变的晶圆表面质量控制方法,先采用超快激光扫描辐照晶圆表面,并设置合适的激光参数和激光扫描辐照纵向重叠率和横向重叠率,在抑制微沟槽形成的同时,诱导晶圆表面发生相变(非晶态或亚稳相);再将发生相变的晶圆浸入对相变区刻蚀...
一种硼掺杂方法、硼掺杂结构和背接触电池
本发明公开了一种硼掺杂方法、硼掺杂结构和背接触电池,该方法包括:步骤1)预晶化处理;步骤2)预氧化;步骤3)硼扩散;其中,该预晶化处理是在惰性气体氛围下,采用梯度变压的方式对硅片基材中的非晶硅层进行处理。本发明在预氧化和硼扩散之前,先通过梯...
反应腔室的内外腔间隙调节系统、方法和半导体设备
本发明公开了一种反应腔室的内外腔间隙调节系统、方法和半导体设备。该反应腔室经由内腔组件分隔为内腔和外腔,且内外腔经由内腔组件中的下板和承托板之间的间隙联通。该间隙调节系统包括:多个检测元件,设于下板和承托板的多个间隙点处,用于检测各间隙点的...
钠离子电池复合负极片及其制备方法、钠离子电池
本申请公开了一种钠离子电池复合负极片及其制备方法、钠离子电池,钠离子电池复合负极片为经过预钠化后外表面设置Al
2
O
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保护层的复合负极片。本申请的钠离子电池复合负极片,利用负极预钠化及涂敷保护层的协...
一种高性能双层石墨负极及其制备方法与应用
本发明提供一种高性能双层石墨负极及其制备方法与应用。本发明提出双层石墨负极最优构型设计,电极上层(靠近隔膜侧)由能量型石墨构成,电极下层(靠近集流体侧)由功率型石墨构成,上层D50在12‑50微米,下层D50在1‑10微米,优选上层包括石墨...
一种磷碳负极材料及其制备方法和应用
本发明提供了一种磷碳负极材料及其制备方法和应用,涉及电化学储能材料领域。所述磷碳负极材料呈现为双壳层的核壳结构;其中,所述磷碳负极材料的内核包括磷单质、氟化钠和氧化硅;其中,所述双壳层包括由内到外的第一碳壳层和第二碳壳层,所述第一碳壳层为沥...
一种正极活性材料及其制备方法、正极片和电池
本发明提供一种正极活性材料及其制备方法、正极片和电池,该正极活性材料包括第一活性物质,所述第一活性物质含有R‑3m空间群的层状相结构,所述第一活性物质包括锂层和过渡金属层,所述锂层的厚度与所述过渡金属层的厚度比为H,H满足1<H<1.3。本...
一种负极材料、负极、电池及用电装置
本申请实施例提供一种负极材料、负极、电池及用电装置,负极材料包括锂和合金相,合金相包括固溶相合金元素、骨架相合金元素和亲锂相合金元素;负极材料中锂的质量含量为a%,固溶相合金元素的质量含量为b%,骨架相合金元素的质量含量为c%,亲锂相合金元...
一种锂离子电池
本发明涉及锂离子电池的技术领域,提供一种锂离子电池。电池包括电芯及壳体,电芯包括电极组件和电解液,电极组件包括依次堆叠的负极片、隔膜和正极片;负极活性材料中硅元素质量占比为a%,a满足1≤a≤50;壳体含铝层及位于铝层朝向电芯侧包含聚烯烃类...
一种锂电用高安全电解液及其制备方法与应用
本发明涉及锂电池领域,尤其涉及一种锂电用高安全电解液及其制备方法与应用;按重量份数计,组分包括:基础电解液70‑90份;聚合物单体3‑15份;引发剂0.5‑1.5份;交联剂0.06‑0.55份;功能添加剂1‑5份;本发明配制的电解液满足正常...
一种匹配高压正极和三维复合锂负极的醚基电解液的制备方法与应用
本发明公开了一种匹配高压正极和三维复合锂负极的醚基电解液的制备方法与应用。将有机溶剂、锂盐与改性添加剂混合均匀得到醚基电解液,醚基电解液、正极与锂负极组装成电池,通过充放电循环,在正/负极界面形成更薄和富含无机物的电极/电解液界面层,提高离...
一种软包电池及其制备方法
本发明涉及电池技术领域,具体公开了一种软包电池,包括卷芯、顶封边、散热改性铝塑膜和热断路器,散热改性铝塑膜具有容纳空间和开口,卷芯置于容纳空间内,卷芯包括正极片、负极片和设于正极片和负极片之间的隔膜,正极片、负极片和隔膜卷绕形成卷芯,顶封边...
一种多腔体封装结构的钠离子二次电池及其热失控防护方法
本发明公开了一种多腔体封装结构的钠离子二次电池及其热失控防护方法,包括主腔体、设于主腔体一侧的热失控泄压通道及设于主腔体外壁的复合防护层,所述热失控泄压通道内填充相变材料及灭火介质存储囊。所述副腔体分别为4个外围子腔体及1个中心子腔体,每个...
一种储能装置和电池散热方法
本申请提供一种储能装置和电池散热方法,涉及储能站技术领域,利用该装置可以提高电池的散热效果。储能设备包括电池组、控制器和多个风扇;多个风扇围绕电池组设置,用于在不同方向上对电池组进行散热;控制器用于,监测电池组中每个电池的温度,在目标电池的...
一种液冷储能系统及控制方法
本申请实施例提供一种液冷储能系统及控制方法,液冷储能系统包括储能模块、供液管路、回液管路及至少两组液冷机;每组液冷机包括至少一台液冷机,不同组液冷机的出液口并联连通于供液管路,不同组液冷机的回液口并联连通于回液管路,供液管路与储能模块的进液...
电池加热方法、装置、设备、介质及产品
本申请公开了一种电池加热方法、装置、设备、介质及产品,方法包括:根据电池簇中每个单体电池的荷电状态和温度,确定目标荷电状态和第一参考温度;根据目标荷电状态和第一参考温度,从预设的多个对应关系中选取目标对应关系;根据预设的目标加热速率,从目标...
负极极片、二次电池及用电装置
本发明公开了一种负极极片、二次电池及用电装置,属于电池技术领域,本申请所述的负极极片包括负极集流体及负极集流体至少一个表面依次设置的金属层和绝缘层,所述绝缘层和所述金属层上设有多个孔结构,所述孔结构贯穿所述绝缘层,且所述孔结构延伸至所述金属...
耦合器
本申请公开一种耦合器,涉及电子电路技术领域。耦合器包括:第一介质基板;第一耦合线和第二耦合线,第一耦合线设置于第一介质基板的第一侧,第二耦合线的耦合结构设置于第一介质基板的第二侧,第一侧和第二侧是第一介质基板中相互背离的两侧;第二介质基板和...
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