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  • 本发明公开了一种基于C阶梯掺杂的硅基AlGaN/GaN HEMT外延结构及其生长方法,所述外延结构包括从下至上依次层叠的硅衬底、AlN缓冲层、阶梯AlGaN应力释放层、GaN晶种铺垫粗化层、GaN外延层、第一AlN插入层、第一C掺杂GaN层...
  • 本发明提供一种功率器件及其制造方法,包括:提供基底,包括第一区域和第二区域;形成金属层,所述金属层覆盖所述第一区域和所述第二区域;刻蚀所述金属层,以暴露出第二区域的边缘区域;形成低应力无机物侧墙,该侧墙覆盖所述金属层的靠近所述边缘区域一侧的...
  • 本发明提供了一种功率器件及其制备方法,其中功率器件的制备方法包括以下步骤:提供第一衬底,并在第一衬底上依次生长氮化物层、外延层和功能层,功能层的第一表面位于外延层上,氮化物层包括氮化硼层;提供临时键合片,并将功能层的第二表面与临时键合片键合...
  • 本申请涉及半导体技术领域,特别涉及一种MOSFET制造工艺、场效应晶体管以及功率设备,所述MOSFET制造工艺包括对原始衬底进行离子注入,以在所述原始衬底中形成源极区域和漏极区域;在所述原始衬底的表面先形成隔离层,再在所述隔离层的上方形成多...
  • 本申请涉及半导体技术领域,特别涉及一种MOSFET制造工艺、场效应晶体管以及功率设备,MOSFET制造工艺包括在多晶硅层对应衬底进行第一注入窗口的位置进行光刻和刻蚀形成两个沟槽;在多晶硅层的表面依次形成第二掩膜层和第三掩膜层,对第二掩膜层和...
  • 本申请公开了一种场效应晶体管、设备及其制造方法,涉及晶体管技术领域,其中,场效应晶体管包括衬底、氧化层、多晶硅层、源极以及漏极,衬底设有第一沟槽和第二沟槽,氧化层和多晶硅层依次层叠设于衬底的顶面,多晶硅层位于第一沟槽和第二沟槽之间的区域被配...
  • 一种制造功率半导体器件的方法包括:形成漂移层、阱区域和源区域,以形成基底结构;在基底结构的上表面和下表面上形成掩模层;对基底结构执行第一退火工艺;在基底结构的上表面上形成预备栅极绝缘层;对基底结构执行第二退火工艺;在预备栅极绝缘层上形成预备...
  • 本公开涉及半导体装置及其制造方法。栅极电极的引出部分的上表面的位置高于栅极电极的有源部分的上表面。绝缘膜具有经由侧壁间隔物被定位在栅极电极的有源部分的侧表面上的第一凸起部分,以及经由侧壁间隔物被定位在栅极电极的引出部分的侧表面上的第二凸起部...
  • 本公开涉及具有氧化物牺牲层的纳米片器件及其制造方法。一种方法包括:形成从衬底突出的鳍,其中,鳍包括与电介质牺牲层交错的半导体层。该方法包括:在每个电介质牺牲层的端部处形成内部间隔件。该方法包括:在与内部间隔件相邻的鳍中形成源极/漏极特征。该...
  • 一种沟槽型栅极结构IGBT器件及制备方法。涉及半导体技术领域。本发明栅极层上窄下宽的结构在保证垂直导电通道有效性的同时,减少电流导通路径上的电阻,结合高单元密度的沟槽结构优势,进一步降低器件的导通电压,提升导电效率。P+区与N+区的合理布局...
  • 本申请公开一种多重深沟槽绝缘柱高导电度绝缘栅双极型晶体管及其制程,涉及功率半导体制作技术领域,包括射极端与集极端,射极端包括发射区、基区及绝缘层,基区两侧为沟槽式栅极;射极端还包括电位可浮动P型区域及其中多个深沟槽绝缘柱;该P型区域由绝缘柱...
  • 本发明涉及半导体技术领域,具体公开了一种绝缘栅双极晶体管器件及其制备方法。绝缘栅双极晶体管器件包括:在晶体管器件上表面刻蚀的多个沟槽;在各沟槽两侧均做N型重掺杂光刻注入,每一个沟槽上均形成至少一个N型重掺杂区;各N型重掺杂区垂直沟槽方向的尺...
  • 本发明的目的在于提供能够抑制功率损耗的技术。半导体装置具备:第一主面侧栅极结构,设置于第一主面,控制基极层内的第一导电沟道;以及第二主面侧栅极结构,设置于第二主面,控制第一集电极层内的第二导电沟道,规定有第一密集区域和第一稀疏区域,上述第一...
  • 本发明涉及功率半导体技术领域,具体为一种集成异质结二极管的SiC槽栅MOSFET及其制备方法。本发明通过在元胞内四个角上分别设置了深入SiC体内较重掺杂的N型电流增强层的重掺杂P型多晶硅或者NiO,其各个面与N型电流增强层构成低开启压降的异...
  • 本发明涉及一种图像传感器的金属‑绝缘体‑金属(MIM,Metal‑Insulator‑Metal)电容器结构及其制造方法,尤其涉及一种可以通过借助于形成层叠型电容器而并联连接N个(N>1;N=自然数)的电容器结构增加单位面积下的电容并借此对...
  • 本申请公开了一种半导体器件的制备方法,包括:提供衬底,所述衬底上形成有薄膜电阻结构;在所述衬底上依次形成覆盖所述薄膜电阻结构的接触中间层、金属层和介质反射层;执行光刻工艺,在所述介质反射层上形成定义金属连线的图形;执行第一刻蚀工艺,去除所述...
  • 提供了半导体装置、制造半导体装置的方法和半导体存储器系统。所述半导体装置可包括:第一半导体芯片;至少一个半导体芯片堆叠件,在所述半导体装置的第一方向上在第一半导体芯片的表面上,所述至少一个半导体芯片堆叠件被配置为电连接到第一半导体芯片;以及...
  • 本发明提供一种RRAM存储器件,本发明的RRAM存储器件包括字线阵列,包括多条字线,字线沿第一方向平行且间隔排列;位线阵列,包括多条位线,位线沿与第一方向垂直的第二方向平行且间隔排布;存储单元阵列,包括多个存储单元,每一个存储单元位于字线和...
  • 本申请实施方式提供了一种半导体结构及其制备方法、存储器、存储器系统,其中,半导体结构包括:第一掺杂层;半导体主体,位于第一掺杂层沿第一方向的一侧,半导体主体包括第一半导体部和第二半导体部,第二半导体部位于第一半导体部沿第一方向背离第一掺杂层...
  • 本申请提供了一种半导体结构及其制备方法、存储器件、电子设备。该半导体结构包括:衬底;晶体管,设置在衬底的一侧,晶体管包括沿垂直于衬底方向延伸的沟道、至少部分环绕沟道外周的栅极、以及设置于沟道与栅极之间的栅极绝缘层,栅极绝缘层与沟道接触,沟道...
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