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电沉积液、绝缘覆膜的制造方法
一种电沉积液,其为通过阴离子电沉积使电沉积膜在导电性基材上电沉积的电沉积液,含有水、有机溶剂、固体成分、中和剂及有机酸,所述固体成分至少含有聚酰亚胺系树脂。一种绝缘覆膜的制造方法,其为在基材的表面形成绝缘覆膜的绝缘覆膜的制造方法,具备:电沉...
一种碱性水电解槽安全运行控制的方法及监测系统
本发明涉及制氢用碱性水电解槽技术领域,具体涉及一种碱性水电解槽安全运行控制的方法及监测系统,包括在碱性水电解槽的碟簧处安装至少一个碟簧变形监测仪器,用于监测所述碟簧的变形,并提供电解槽安全运行控制信号来源;根据所述碟簧变形监测仪器监测到的碟...
金属碳化物和烃的制造方法以及含碳部件
本发明涉及金属碳化物的制造方法,其包括制备含有选自碱金属离子和碱土金属离子中的至少一种第1金属离子的熔融盐的工序、准备含有碳的电极的工序、和使用上述电极对上述熔融盐施加电压,得到含有上述第1金属的碳化物的金属碳化物组合物的工序。
热浸镀钢材
该热浸镀钢材的镀层具有下述化学组成:含有Al:超过10.0%且低于45.0%、Mg:4.0~15.0%、Si:0.01~2.0%、0.03%~5.0%的Cu及0.03~6.0%的Ag中的至少一者、剩余部分包含Zn及杂质,在从镀层朝向钢材进行...
取向性电磁钢板用绝缘覆膜处理液及其制造方法、以及取向性电磁钢板的制造方法
一种取向性电磁钢板用的绝缘覆膜处理液,含有从K、Al、Fe、Mg、Mn、Ni、Zn、Co、Mo、V、W及Zr中选择的一种或两种以上的金属的磷酸金属盐以及胶体状二氧化硅,绝缘覆膜处理液中的以K2O换算的K量和以SiO2换算的Si量的质量%的K...
基材表面的预处理方法
本发明涉及一种用于在随后的无电铜沉积之前预处理基材表面的方法,所述方法包括:a)提供包括非导电材料上的活化表面的基材,其中所述活化表面具有活化剂,其中所述活化剂包括催化金属;b)将所述活化表面与用于预处理的水性预处理溶液接触以获得预处理表面...
基于热传感器读数的热处理腔室状态
一种表征热处理腔室的方法可包括使用来自现有热处理腔室中的温度变化率数据来训练模型。监督学习过程可基于基板上的沉积轮廓来标记这些变化率数据。经训练模型可用于表征另一腔室,以确定预测性能是否与用于训练该模型的腔室匹配。使用载气的惰性工艺可用于捕...
含硅薄膜沉积用组合物及利用其制造的含硅薄膜
本发明涉及包含氟氨基硅烷化合物作为前体的含硅薄膜沉积用组合物及利用其的含硅薄膜的制造方法,由此制造的含硅薄膜不仅化学稳定性和热稳定性均优异,而且具有足够低的介电常数,因此期待可以有用地适用作半导体器件的绝缘膜,特别是间隔件用绝缘膜。
使用形状记忆合金的智能面板/喷淋头
示例基板处理系统面板可包括板,板以第一表面和与第一表面相对的第二表面为特征。第二表面可限定延伸穿过板的厚度的一部分的多个凹部。板可限定穿过板的厚度的多个孔。每个孔可延伸穿过多个凹部中的一个凹部的底表面。每个凹部可具有比延伸穿过凹部的底表面的...
用于基板处理的具有扩散气孔塞的气体扩散器
于此的实施例一般涉及半导体制造,且更特别是用于基板处理腔室的气体扩散器。在一实施例中,气体扩散器包括:至少一个气体扩散器单元,包括:紧固孔口,穿过扩散板主体的顶表面;第一气体入口,设置成距紧固孔口一入口距离;第二气体入口,设置成距紧固孔口该...
用于收集、回收和再循环来自半导体处理腔室的化学废气的系统
公开了回收和再使用半导体制造化学品的化学前体回收系统和方法。所述回收系统包括与多个冷阱流体连通的冷阱入口管线和冷阱出口管线。所述多个冷阱配置为冷凝所述化学前体并且基于半导体制造处理条件来布置。
化学气相沉积(CVD)反应器
本发明涉及一种用于制备颗粒材料的CVD反应器,特别是携带流反应器。本发明还涉及使用CVD反应器特别是携带流反应器制备此类材料的方法。本发明进一步涉及包含颗粒材料的电极材料、电极和碱金属离子电池。
具有非晶界面层的纳米晶体钻石
描述了沉积纳米晶体钻石膜的方法。此方法可用于集成电路的制造。方法包括用等离子体处理基板以形成经处理基板表面,用富碳等离子体孵育所述经处理基板以使钻石颗粒在此经处理基板表面上成核,随后用等离子体处理此基板以形成纳米晶体钻石膜。在此纳米晶体钻石...
用于改善底部覆盖和均匀性的磁控管设计
一种用于处理腔室的磁控管的磁体组件包括支撑构件。多个磁道安装到所述支撑构件。每个磁道包括一对磁极。部分磁道安装到所述支撑构件。所述部分磁道包括单一不成对磁极。所述部分磁道安装得接近所述支撑构件的旋转中心。
真空沉积系统和在基板上沉积层堆叠的方法
描述了一种用于处理基本上竖直地取向的基板的真空沉积系统(100)。真空沉积系统(100)包括:多个沉积腔室(150),沿主要运输方向(T)成排地布置,并且容纳用于在所述基板上沉积包含至少一种有机材料的层堆叠的多个真空沉积源(155),其中第...
用于在涂覆装置中遮蔽眼镜镜片产品的遮蔽装置、涂覆装置以及用于制造眼镜镜片产品的方法
提供了一种用于在涂覆装置(118)中遮蔽眼镜镜片产品(102)的遮蔽装置(100)。遮蔽装置(100)包括保持器元件(104),该保持器元件用于相对于涂覆装置(118)的承载件(106)保持眼镜镜片产品(102)。遮蔽装置(100)还包括支...
金属掩模用基材、金属掩模用基材的制造方法、以及金属掩模的制造方法
金属掩模用基材由铁‑镍系合金构成。在金属掩模用基材中,在将步长设定为0.5μm、并且将晶体取向差为5°以上的边界视为晶界的情况下,通过电子背散射衍射法得到的KAM值为2.18°以上。金属掩模用基材具有10μm以上30μm以下的厚度。
熔融镀覆钢材
该熔融镀覆钢材,镀层具有含有Al:超过10.0%且小于45.0%、Mg:4.0~15.0%、Si:0.01~2.0%、Sr:0.03~1.50%,包含余量Zn和杂质的化学组成,镀层含有Zn‑Sr系化合物、Zn‑Sr‑Si系化合物,在从镀层的...
热浸镀钢板、支架及热浸镀钢板的制造方法
该热浸镀钢板具备钢板以及设置在所述钢板上的镀层,所述钢板具有规定的第一化学组成,所述钢板的拉伸强度为740MPa以上,在所述钢板自表面到板厚方向上3μm为止的区域中,SiO2的面积率小于0.4%,所述镀层具有规定的第二化学组成,所述镀层包含...
油井用高强度不锈钢无缝钢管
本发明的目的在于,提供具有高强度和优良的低温韧性、并且未处理海水环境下的耐缝隙腐蚀性优良的油井用高强度不锈钢无缝钢管。一种油井用高强度不锈钢无缝钢管,其具有含有特定的成分、并且满足式(1)和式(2)、余量由Fe和不可避免的杂质构成的成分组成...
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