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  • 本发明是关于一种基于ALD制备钙钛矿太阳能电池吸光层的方法。其包括,通过在基板上循环交替沉积含金属卤化物源层和含有机铵源层,制得钙钛矿前驱体薄膜层,后处理,得到钙钛矿吸光层;所述循环交替沉积步骤包括:1)在所述基板上沉积所述含金属卤化物源层...
  • 本发明公开了一种化学气相沉积用基体支撑构件及其使用方法,属于化学气相沉积技术领域,解决了基体在化学气相沉积碳化硅涂层过程中,基体支撑处无法涂覆涂层造成基体裸露的问题;其具体包括支撑座,支撑座上活动连接有若干根支撑杆,若干根支撑杆上支撑有待沉...
  • 本发明涉及异质结PECVD设备技术领域,具体为一种大面积传动载板顶升装置。为了解决现有的传动载板顶升装置存在缺陷的问题,故提供了一种新的大面积传动载板顶升装置,包括加热板、四个分区顶升板,四个分区顶升板分别位于加热板下方,四个分区顶升板与加...
  • 本发明提供了一种静电吸附盘,包括:本体,包括一体成型的吸附区和法兰区,其中,所述吸附区中设有至少一个电极,所述法兰区环绕于所述吸附区的外围,其外表面为绝缘材质;以及聚焦环,安装于所述法兰区之上,并环绕所述吸附区,其中,所述聚焦环由绝缘材料制...
  • 本申请公开了一种射频引入组件、承载舟支撑装置及半导体工艺设备,属于半导体加工技术领域。射频引入组件用于向晶片承载舟引入射频功率,射频引入组件包括电极环套和第一引入组件,电极环套用于套设于支撑件上,支撑件用于支撑晶片承载舟,且电极环套与第一引...
  • 本发明公开一种挤压模具表面耐磨涂层及其制备方法和应用,该耐磨涂层包括中间过渡层和耐磨覆盖层,所述中间过渡层由TiC、Ti(CN)、以及TiN三种成分由内向外渐变分布复合而成;并且该中间过渡层中总碳氮比为0<C/N<1,表面具有参差的TiN成...
  • 本发明公开一种快速升温快速冷却的CVD加热器及其制备方法,CVD加热器安装于CVD设备真空腔底部进行使用,包括有金属座、水冷盘以及陶瓷发热盘;该水冷盘贴合固定于金属座的下表面,该陶瓷发热盘贴合固定于金属座的上表面,该陶瓷发热盘具有陶瓷绝缘层...
  • 本发明公开了一种具有微纳结构与类液特性的复合涂层制备方法,属于表面功能涂层技术领域。该方法在同一真空腔体内,采用等离子体增强化学气相沉积工艺连续执行以下步骤:首先,以四甲基环四硅氧烷为第一前驱体,在基底表面沉积形成具有纳米结构的粗糙层;随后...
  • 本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种气路控制方法、气路控制装置及半导体工艺设备。该气路控制方法包括:获取作业模式的选择指令;启用与作业模式相对应的气路互锁条件,控制气路系统执行与作业模式相对应的任务。该气路控制装置包括:模式选择工具...
  • 本发明的一种掩膜结构的形成方法属于等离子体沉积技术领域,为了解决掩膜结构侧壁在刻蚀时出现形貌缺陷的技术问题,本发明的形成方法包括提供一基片,所述基片上具有多层堆叠的待刻蚀层;通入反应气体,在第一条件下形成等离子体状态,以在所述待刻蚀层上沉积...
  • 本发明公开了一种立式化学气相沉积炉用炉内流场调控方法,其包括以下步骤:通过在化学气相沉积炉的均温沉积区内设置有随形遮挡工装,并使随形遮挡工装处于待沉积基材的迎气面方向上;在反应气流从进气管到达均温沉积区后,利用随形遮挡工装对反应气流进行流场...
  • 本发明属于表面激光加工技术领域,具体涉及一种先驱体转化陶瓷法制备陶瓷涂层的系统和方法。本发明提供了一种先驱体转化陶瓷法制备陶瓷涂层的系统。本发明采用“连续激光+脉冲激光”多体制激光耦合组束模式,将连续激光与脉冲激光耦合成多体制激光,多体制激...
  • 本发明涉及一种高盐雾环境下光伏支架的复合防腐镀层及其制备方法,该方法包括:步骤一、用砂纸将镀件打磨至光亮,使用去离子水将镀件冲洗干净,将镀件浸入无水乙醇中,利用稀盐酸对镀件进行酸洗,露出纯净钢基体;步骤二、将去离子水在水浴锅中加热到30℃~...
  • 本发明公开了一种具有低介损的超平滑化学银镀液及其制备方法,属于线路板技术领域。该镀液包括硝酸银、络合剂、氨基磺酸、柠檬酸铵、稳定剂、成核剂、润湿剂、二甲基胺硼烷和蒽醌季铵盐。将硝酸银等原料按顺序溶解混合,加入特定组分后调节pH,最终加水定容...
  • 本发明涉及一种管状钯‑钒/铁‑钯复合膜及其制备方法与应用。该管状钯‑钒/铁‑钯复合膜包括:管状V/Fe合金基体,以及形成于所述管状V/Fe合金基体内外表面的钯层。将管状V/Fe合金基体依次浸入锡盐溶液和第一钯盐溶液中进行敏化与活化处理、清洗...
  • 本发明公开一种超疏水镁合金涂层的制备方法,属于金属表面处理技术领域。制备方法包括三步:预处理镁合金板材;以其为阳极、导电材料为阴极,在含硅酸钠的硅酸悬浮液电解液中恒压电化学蚀刻后清洗干燥;将蚀刻镁合金浸泡于含硬脂酸、十二烷基甲氧基硅烷的乙醇...
  • 本发明提供了一种压铸铝无铬钝化剂,按重量份数计,由以下成分制成:以重量百分比计,由以下成分制成:无机成膜剂5.0‑10.5%、有机络合剂3.0‑5.0%、成膜促进剂0.5‑1.5%、有机成膜剂2.0‑4.5%、成膜助剂1.0‑1.5%、金属...
  • 本发明涉及一种金属表面处理,它涉及一种用于渗锌层表面的无铬复合防护涂层及其制备方法,去离子水调节pH值,在搅拌下加入硅烷偶联剂进行水解,加入改性硅溶胶、稀土盐和水溶性光引发剂并混合均匀以得到无铬钝化液;将经前处理的渗锌工件浸涂于无铬钝化液中...
  • 本发明属于金属材料表面涂层制备与腐蚀防护技术领域,具体涉及一种镁合金表面的锡酸盐化学转化涂层及其制备方法。通过将镁合金浸泡于加入聚电解质的锡酸盐化学转化处理溶液中,聚电解质能在金属表面吸附,与锡酸盐反应产物形成更致密、更均匀的复合涂层,提升...
  • 本发明涉及生物医用材料表面处理技术领域,具体涉及一种一步法在镍钛合金表面原位生长多功能纳米涂层的方法及应用;所述方法包括如下步骤:首先将镍钛合金试件进行超声波清洗预处理,然后将预处理后的镍钛合金试件浸入含锂的反应溶液中,通过化学反应在其表面...
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