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  • 一种光刻设备,包括:照射系统,被配置为将辐射束引导到图案形成装置上以生成图案化的辐射束,所述图案形成装置包括在衬底的曝光期间待遮蔽的区域;支撑结构,被配置为支撑所述衬底;投影系统,被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述衬底上;以及掩模装置,...
  • 一种感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件,该感光性树脂组合物含有:选自由含杂环聚合物及其前体组成的组中的至少一种树脂;及作为光致变色化合物的化合物A‑a。
  • 感光性树脂组合物,其含有环氧当量为600以上的氢化双酚A型环氧树脂(A1)、和下述通式(b‑1)表示的光产酸剂(B1)。式中,Rb1b1~Rb3b3各自独立地表示可具有取代基的芳基、杂芳基、烷基或烯基。其中,Rb1b1~Rb3b3不含稠环。...
  • 本发明涉及一种具有光学元件(M3)的光学模块(30、40、50),其中光学元件(M3)具有光学有效表面(31)并且经由至少一个连接元件(33、41)连接到加强体(32)。该连接元件的特征在于,该连接元件(33、41)包含解耦区域(34、42...
  • 静电夹具装置包括:夹具构件,夹具构件包括主体,主体限定多个夹具单元;其中每个夹具单元包括:主体的至少两个凸起支撑部,至少两个凸起支撑部在它们之间限定了凹部;以及静电板,静电板被定位在凹部中,其中静电板包括电极和介电层;以及致动器,致动器被机...
  • 本文中描述一种确定光刻系统内的辐射束的性质的方法。所述方法包括针对所述辐射束的在第一方向上具有不同位置的多个区段中的每个区段来测量多个强度。使用传感器的多个感测元件中的不同的一个感测元件来测量所述多个强度中的每个强度。所述多个强度中的每个强...
  • 本公开涉及静电夹具装置,静电夹具装置包括:夹具构件,夹具构件包括至少一个电极和第一导电层;安装构件,安装构件包括第二导电层,夹具构件被安装在第二导电层上;以及介电层,介电层被夹在第一导电层与第二导电层之间。
  • 本发明涉及一种在光刻的投射曝光设备(1)中使用的MEMS反射镜阵列模块(100)。根据本发明的MEMS反射镜阵列模块(100)包括位于重新布线基板(120)上的MEMS反射镜阵列结构(110),以及用于将MEMS反射镜阵列模块(100)固定...
  • 本发明涉及一种表壳,该表壳包括:‑ 中间件,‑ 表圈,其布置成连接到中间件,‑ 环形轴向保持元件,其布置成将表圈保持在中间件上,中间件和表圈中的一者包括第一壳体,第一壳体用于在表圈未连接到中间件时接收环形轴向保持元件,表圈和/或中间件布置成...
  • 一种用于从片材材料重复形成物体的系统,该系统包括:用于执行形成过程的转换机,所述物体至少部分地由片材材料形成,该转换机包括用于与片材材料接合的工具,以在形成过程期间至少部分地形成所述物体。电子存储器存储有数据库,数据库包括针对于多个之前执行...
  • 工艺数据的编辑方法在由多个设备构成的生产线中,该多个设备由对原料实施规定的处理的多个机器、以及连结多个机器并输送原料的输送装置构成,该方法包括:收集步骤,计算机所具备的收集单元收集表示多个设备的工作状态的工艺数据;以及编辑步骤,计算机所具备...
  • 确定旋转机器的运行状态的装置和方法。该方法包括接收多个参数值,该多个参数值对应于由被放置在旋转机器附近的一个或多个传感器测量的多个参数。多个参数值属于由一个或多个传感器支持的一个或多个测量轴线。该方法还包括在多个参数值中选择具有由每个传感器...
  • 一种为容器搬运车辆(201、301、401)确定路线的方法,其中,该路线是网格化自动储存和取出系统(10)中的至少一个其它容器搬运车辆(201、301、401)的路线中的路线,该网格化自动储存和取出系统包括具有第一方向(X)和垂直于第一方向...
  • 在一些实施例中,一种用于诊断实验室系统中的样品容器的路径寻找的方法包括 : 在具有诊断实验室设备的诊断实验室系统中接收一批样品容器;获得对于诊断实验室系统的网格,该网格具有包括诊断实验室设备和连接诊断实验室设备的一个或多个轨道的单元;将智能...
  • 提出了一种用于检测数据流中的模式的系统(200)。系统(200)包括适于将多个光输入向量与模式矩阵相乘的光学乘法电路(210)。光输入向量包括编码数据值的一组输入信号。模式矩阵包括要检测的模式的目标值。在将每个光输入向量与模式矩阵相乘时,光...
  • 本申请公开一种散热模组、电子设备及散热方法,涉及电子设备技术领域,该电子设备能够兼顾轻薄化设计与散热性能。其中,散热模组包括导热板、均热件和第一流道,导热板用于与发热元件热传导连接。均热件位于导热板的远离发热元件的一侧,且与导热板热传导连接...
  • 本申请实施例提供了一种设备控制方法及电子设备,涉及终端技术领域。解决针对滑动操作进行CPU提频过程中性能和能耗的问题。具体方案为:显示第一界面;在检测到用户的第一横向滑动之后,控制中央处理器CPU在第一目标时长内提升工作频率;在检测到用户的...
  • 一种设备包括被配置为存储与沉浸式音频环境相关联的数据的存储器和被配置为获得与沉浸式音频环境的一部分相关联的上下文移动估计数据的一个或多个处理器。处理器被配置为基于上下文移动估计数据来设定位姿更新参数。处理器被配置为基于位姿更新参数来获得位姿...
  • 本公开提供了用于响应于触控笔或其他触摸输入而显示数字数据的方法、设备和系统。相关联过程可包括将触摸传感器的采样率同步至串行接口时钟。扩频操作可应用于该串行接口时钟的输出频率。其他相关联过程可包括在该触摸传感器处检测多个触摸事件,以及响应于检...
  • 本公开提供一种触控显示面板及显示装置,包括:显示面板,显示区包括多个子像素区以及将多个子像素区彼此间隔开的间隔区,非显示区包括位于显示区一侧的绑定区以及阻挡区,阻挡区包括至少一个挡墙;非显示区划分为包括绑定区的第一非显示区以及除第一非显示区...
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