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最新专利技术
  • 一种基于金纳米夹层的表面合金微孔化方法及医用植入件
    一种基于金纳米夹层的表面合金微孔化方法及医用植入件_上海交通大学_202410907254.5
    本发明属于表面处理技术领域，公开了一种基于金纳米夹层的表面合金微孔化方法及医用植入件。所述方法包括：获取原工件；于所述原工件表面沉积一金薄膜以形成一中间工件；将所述中间工件置于等离子真空炉内；其中，加热台、活性屏与顶盖合围形成一空心阴极；所...
    2026-03-22
  • 一种齿圈涂层、制备方法及内啮合齿轮泵
    一种齿圈涂层、制备方法及内啮合齿轮泵_诚联恺达(河北)科技股份有限公司_202511335133.9
    本发明属于机械零部件表面处理技术领域，涉及一种齿圈涂层、制备方法及内啮合齿轮泵。本发明提供了一种用于内啮合齿轮泵齿圈壳体界面的真空镀涂层技术及制备方法，该技术采用多层复合结构设计，包括金属底层、氮化物过渡层和类金刚石碳功能层，通过材料组合和...
    2026-03-22
  • 一种Cu复合MAX相的导电复合涂层及其制备方法和应用
    一种Cu复合MAX相的导电复合涂层及其制备方法和应用_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511336676.2
    本发明提供了一种Cu复合MAX相的导电复合涂层及其制备方法和应用，涉及功能涂层材料技术领域。本发明导电复合涂层呈均匀的纳米晶结构，且所述导电复合涂层包括MAX相和Cu‑Al合金相。与现有技术相比，本发明通过构建以MAX相为基、Cu‑Al相为...
    2026-03-22
  • 一种高强韧耐铅铋腐蚀陶瓷涂层的制备方法
    一种高强韧耐铅铋腐蚀陶瓷涂层的制备方法_北京科技大学_202511674097.9
    本发明提供一种高强韧耐铅铋腐蚀陶瓷涂层的制备方法，涉及铅铋环境防护涂层技术领域，包括：对基体依次进行打磨、抛光和清洗；将Ti靶和TiSi靶分别安装在直流磁控靶上，AlCrY靶安装在射频磁控靶上，将基体置于基片台上放置于镀膜设备腔室内；将腔室...
    2026-03-22
  • 金刚石镀层复合材料、铜复合材料及其制备方法
    金刚石镀层复合材料、铜复合材料及其制备方法_成都虹波实业股份有限公司_202511826681.1
    本发明公开了一种金刚石镀层复合材料、铜复合材料及其制备方法。属于金刚石复合材料的技术领域。所述金刚石镀层复合材料的制备包括：在清洗后金刚石颗粒的表面沉积非晶碳薄膜并进行第一热处理，获得非晶碳包覆金刚石，在非晶碳包覆金刚石表面镀覆金属层并进行...
    2026-03-22
  • 一种蒸发镀膜设备颗粒料填充系统
    一种蒸发镀膜设备颗粒料填充系统_北京北方华创真空技术有限公司_202511301228.9
    本申请公开了一种蒸发镀膜设备颗粒料填充系统，涉及蒸发镀膜的技术领域，颗粒料填充系统设置在真空腔室内，真空腔室内还设置有卷绕系统，颗粒料填充系统位于卷绕系统的正下方，包括储料部，储料部底部开设有出料口；传送带，首尾相连且设置于出料口下方；驱动...
    2026-03-22
  • 一种钙钛矿用高温点蒸发源
    一种钙钛矿用高温点蒸发源_安徽微迈思科技有限公司_202511345706.6
    本发明公开了一种钙钛矿用高温点蒸发源，涉及点蒸发源技术领域，该点蒸发源包括主体以及设置在主体内部的内撑结构；主体包括外壳、分隔套、内壳和分隔环。本发明通过加热丝一和加热丝二，以及设置辐射孔一和辐射孔二，形成了均匀、高效的立体热场；加热丝二呈...
    2026-03-22
  • 一种蒸镀薄膜沉积设备及方法
    一种蒸镀薄膜沉积设备及方法_广东中图半导体科技股份有限公司_202511410723.3
    本申请涉及一种蒸镀薄膜沉积设备及方法，其中，蒸镀薄膜沉积设备，包括工艺腔、加热组件和载片台；工艺腔具有工艺腔侧壁；加热组件具第一加热件和第二加热件；载片台设于工艺腔内，用于放置待抗粘衬底；所述载片台由所述第一加热件独立加热，所述工艺腔侧壁由...
    2026-03-22
  • 蒸镀铝用坩埚装置
    蒸镀铝用坩埚装置_博宇(天津)半导体材料有限公司_202511882782.0
    本申请提供了一种蒸镀铝用坩埚装置，包括：坩埚，其包括埚体、颈部和上口部，所述颈部连接所述埚体和所述上口部；防爬结构，其为环形，所述防爬结构设于所述颈部外部和/或所述上口部。本申请的蒸镀铝用坩埚装置能够改善爬埚现象。
    2026-03-22
  • 一种3D打印件微孔表面制造工艺及3D打印件
    一种3D打印件微孔表面制造工艺及3D打印件_上海交通大学_202410907211.7
    本发明提出一种3D打印件微孔表面制造工艺及3D打印件，涉及表面处理领域；工艺包括：将3D打印件置于源极靶材制成的外罩内部构成空心阴极后整体置于直流脉冲等离子真空炉内，真空炉顶部设置有电源正极，外罩作为活性屏；在直流脉冲电源作用下放电启辉，并...
    2026-03-22
  • 细晶钨靶材及其制备方法
    细晶钨靶材及其制备方法_厦门钨业股份有限公司_202511448795.7
    本申请涉及半导体制造用溅射靶材领域，具体提供一种细晶钨靶材及其制备方法，该制备方法包括：(1)将卤代烷烃预活化后，与氢气及六氟化钨在基体上进行化学气相沉积，形成掺碳钨材料；(2)将所述掺碳钨材料在1500~2100进行退火处理，得到细晶钨靶...
    2026-03-22
  • 一种薄膜电阻改性方法
    一种薄膜电阻改性方法_九江德福科技股份有限公司_202511470331.6
    本发明涉及一种薄膜电阻改性方法，包括如下步骤：在铜箔毛面真空溅射薄膜电阻，随后对薄膜电阻进行等离子体渗氮或渗碳处理，得到埋阻铜箔。经过本发明改性的薄膜电阻具有低TCR，随温度变化电阻波动小；可以通过渗碳或渗氮的含量来控制薄膜电阻的电阻率，制...
    2026-03-22
  • 工艺套件及半导体设备
    工艺套件及半导体设备_深圳市新凯来工业机器有限公司_202511393710.X
    本申请涉及半导体设备领域，尤其涉及工艺套件及半导体设备。工艺套件包括：限光壁(10)，其形成为环形，所述限光壁(10)的底部顶面具有凸出部(110)；外沉积环(20)，其底面具有凹陷部(210)，所述凸出部(110)伸入所述凹陷部(210)...
    2026-03-22
  • 一种脉冲电流辅助真空气相沉积刀具涂层制备方法
    一种脉冲电流辅助真空气相沉积刀具涂层制备方法_东北大学_202511417627.1
    本发明属于刀具涂层材料技术领域，公开了一种脉冲电流辅助真空气相沉积刀具涂层制备方法。所述的制备方法是对预镀膜刀具施加脉冲电流，通过脉冲电流产生的瞬态电效应和热效应取代传统的电加热方式。该方法不需要传统真空气相沉积涂层时的升温和降温过程、也不...
    2026-03-22
  • 一种基于磁控溅射的细杆表面的高熵涂层及其制备方法
    一种基于磁控溅射的细杆表面的高熵涂层及其制备方法_北京领涂铠盾科技有限公司_202511488808.3
    本发明属于表面工程与涂层制备技术领域，具体涉及一种基于磁控溅射的细杆表面的高熵涂层及其制备方法。采用磁控溅射工艺，在预处理后的金属基体构件表面依次沉积形成过渡层、主功能层和自润滑表层，过渡层为高熵金属，主功能层为高熵金属氮化物；高熵金属或高...
    2026-03-22
  • 一种高强韧Ti80基复合材料及其制备方法
    一种高强韧Ti80基复合材料及其制备方法_哈工大苏州研究院_202511661102.2
    本发明公开了一种高强韧Ti80基复合材料及其制备方法，属于钛基复合材料及其制备技术领域。本发明解决了现有Ti80基复合材料制备的混粉过程中由于氢化脱氢粉冷焊，导致增强相颗粒难以分散的问题。本发明通过物理气相沉积技术在氢化脱氢钛粉表面包裹均匀...
    2026-03-22
  • 异形基材磁控溅射镀膜方法及加热装置
    异形基材磁控溅射镀膜方法及加热装置_浙江大华技术股份有限公司_202511716721.7
    本发明涉及一种异形基材磁控溅射镀膜方法及加热装置，所述方法包括：将异形基材置于加热台上进行第一次溅射，使异形基材表面形成金属过渡层；在负偏压条件下对具有过渡层的异形基材进行第二次溅射，完成镀膜；其中，所述加热台具有多个开孔，所述开孔在所述加...
    2026-03-22
  • 一种柔性非晶合金基薄膜及其制备方法
    一种柔性非晶合金基薄膜及其制备方法_长三角物理研究中心有限公司_202511761573.0
    本发明涉及电加热薄膜技术领域，特别是一种柔性非晶合金基薄膜及其制备方法，制备时以FeSiB靶和Ag靶作为溅射靶材，以柔性膜为基材，通过磁控溅射的方式，在基材的表面交替沉积FeSiB层和FeSiBAg层。通过FeSiB层和FeSiBAg层交替...
    2026-03-22
  • 一种金属基镍铬应变薄膜及其制备方法和应用
    一种金属基镍铬应变薄膜及其制备方法和应用_中国工程物理研究院总体工程研究所_202511511675.7
    本发明公开了一种金属基镍铬应变薄膜及其制备方法和应用，涉及传感器应变薄膜技术领域，采用离子束溅射法制备，具体方法为：首先进行预溅射，然后进行正式溅射，在绝缘层薄膜上沉积镍铬合金应变薄膜；预溅射和正式溅射时的电压为500V~800V，加速电压...
    2026-03-22
  • 工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间
    工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间_ALD真空技术有限公司_202511274756.X
    本揭露是有关于一种用于在一生产车间(10)中更换一工件承载装置(50)以涂覆多个基板(12)的方法。此方法包括以下步骤：通过一机器人(16)将依工件承载装置(50)从一供应区(20)移动到一处理区(14)；通过机器人(16)进一步移动工件承...
    2026-03-22
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