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  • 本发明公开了一种半导体磨片设备,包括外壳体,和设置于外壳体内的一组第一竖板和一组第二竖板,以及位于两个第二竖板之间的研磨机构,所述研磨机构包括第一研磨盘和第二研磨盘,所述第一研磨盘和第二研磨盘相对的一面设置有用于研磨晶圆的研磨垫,所述第一研...
  • 本发明公开了一种高可靠性的LDI光纤束研磨工艺及装置,涉及光纤束加工技术领域,工艺内容如下,S1,输送研磨液;S2,驱动输送的研磨液喷出,形成承载液膜;S3,磨盘产生涡流生成剪切力,研磨光纤束表面;S4,调节磨头高度,改变磨头与磨盘的间隙,...
  • 本发明属于研磨技术领域,公开了一种硬化内花键振动研磨用内涨紧研磨棒及其使用方法,其包括:底盖;顶盖;楔形内花键齿槽柱,其设计为套筒状,且一端粗一端细,在其圆周面上均匀分布有若干卡槽;楔形内花键齿,其一端厚一端薄,在其下表面设有两个相对的与所...
  • 本发明公开了一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法,属于晶圆制造技术领域。该电化学机械抛光头包括:联轴盘,中心设置有定位孔;承载盘,匹配设置有轴部,所述轴部滑动连接于定位孔中,使得承载盘随联轴盘旋转和/或沿竖直方向移动;导电的弹性膜,设置...
  • 本发明公开了增强散热性能的多层结构CMP抛光垫及制备方法,属于抛光垫技术领域。增强散热性能的多层结构CMP抛光垫,包括自上而下依次连接的抛光层、导热过渡层和柔性支撑层,所述抛光层由包含有导热纳米磨料的聚氨酯材料制成,导热过渡层包括弹性聚合物...
  • 本发明型涉及磨削加工领域,特别是涉及一种抛光垫,包括抛光层和支撑层;所述抛光层可更换地贴设在所述支撑层的一侧表面;所述抛光层的纵剖面呈一大致的等腰梯形,所述等腰梯形的高度为10‑30μm。相比于现有技术,抛光垫的抛光层纵剖面呈等腰梯形,即抛...
  • 本发明涉及光纤通信技术领域,尤其涉及一种裸纤FAU研磨夹具,包括夹具,夹具下方活塞插接设置有固定套,固定套上转动连接设置有转动座,转动座上方设置有调节座,调节座一侧固定连接设置有传动机构,传动机构一端转动连接设置有活动架,活动架上转动连接设...
  • 本发明公开了一种平磨机治具,包括:用于连接机台的治具外圈、治具内圈与安装组件,治具内圈适配安装在治具外圈上,治具内圈与治具外圈共处于第一面上,安装组件设置在治具内圈与治具外圈之间,以在治具外圈转动的过程中对治具内圈进行限位使治具内圈维持在第...
  • 本发明公开了一种扫光机用抛光毯,包括:用于连接机床转盘与清洁组件的转接板、第一连接组件和第二连接组件,转接板位于第一平面,机床转盘与清洁组件分别位于与第一平面平行的第二平面和第三平面上,第一连接组件设置在转接板与机床转盘之间,以连接转接板与...
  • 本发明具体涉及一种用于蓝宝石CNC研磨和抛光的弹性磨具,包括连接轴、壳体、磨头、紧固件、弹簧;壳体沿轴向设有一通孔,磨头包括磨头本体和设置在磨头本体一端的磨料层,磨头本体的另一端与壳体为可拆卸固定连接;连接轴包括轴体以及设置在轴体一端的盘状...
  • 本发明属于机械打磨设备技术领域,具体为一种具有快拆结构的工业机器人工具磨头,包括机械臂、连接装置和磨头装置,连接装置设置在机械臂上,磨头装置安装在连接装置内;连接装置包括连接套筒和锁定机构,连接套筒内开设有连接腔,连接腔的内壁以轴心环向分布...
  • 本申请公开一种用于航空发动机叶片机器人抛光的夹具及系统、方法,属于航空发动机制造技术领域,包括固定板、夹持圆柱、榫头定位块、榫头压紧块及压紧驱动机构,还可增设定位圆柱、示教块、定位块与垫板。叶片通过榫头定位块、压紧块及定位圆柱实现精准定位与...
  • 本发明公开了一种LED车灯打磨加工的固定装置,包括固定夹持块、伞型齿轮一、侧向对接齿轮、伞型齿轮二和六棱面孔柱。本发明中,过对位于每一个固定夹持块两侧所连的侧向对接齿轮与相邻的另一个侧向对接齿轮先调整分离后再次啮合在一起,能够对同组中的多个...
  • 本发明公开了一种同心式轴承内孔外圆复合夹具,包括基座和支撑架,所述基座的一侧转动连接有若干个第一连杆的一端,第一连杆的另一端转动连接有第二连杆的一端,所述第二连杆的另一端对称设置有弹性件;所述支撑架上设有若干根支杆,且第二连杆转动连接于支杆...
  • 本发明属于铝型材加工技术领域,涉及一种铝型材加工打磨用夹持工装及其夹持方法,包括打磨座,所述打磨座上设置有限位组件,所述限位组件包括安装在打磨座上的套筒,所述套筒内部通过第一弹簧活动连接有套杆,所述套筒侧端通过第一管道与外界环境相连通,所述...
  • 本发明公开了一种晶圆减薄机转台倾角调整装置,包括:底座;至少一组调整机构,设置于底座上,用于调整转台的倾角;调整机构包括:位移台,固定于所述底座,其表面设有导向槽;位移块,包括一可沿所述导向槽移动的移动部,以及一设于移动部上的凸起部,移动部...
  • 本发明提供了一种研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法,所述装置包括:立柱、支臂、扫描器、至少一个水平仪和处理模块;至少一个水平仪,设置于支臂与扫描器之间,用于检测扫描器在往复运动的过程中是否保持水平;在扫描器检测到研磨盘停止研磨的...
  • 本申请属于高精密坐标磨床进给系统设计与控制技术领域,具体公开了一种滚珠丝杆竖直进给系统的结构优化与复合控制方法,包括如下步骤:建立滚珠丝杆‑主轴箱系统的多体动力学模型,该模型包含滚珠丝杆的柔性特性、主轴箱的模态特性以及联轴器的非线性接触特性...
  • 本申请提供了一种航空领域工件磨削的多级控制方法以及系统,属于航空制造技术领域,该方法包括:基于目标工件的材料属性与磨削任务要求,确定磨削设备的第一控制策略;获取基于第一控制策略控制磨削设备时,目标工件磨削区域的物理状态信号;物理状态信号,包...
  • 本发明属于数字孪生技术领域,尤其公开了一种基于数字孪生的粗精磨一体机虚实协同控制方法,包括如下步骤:S1、采集粗磨单元与精磨单元的实时加工参数,构建与实际加工过程同步的磨削数字孪生体;S2、构建长短期记忆网络模型,预测未来加工过程各单元状态...
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