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五金工具产品及配附件制造技术
一种大尺寸圆柱形样件外柱面红外镀膜装置及其工艺方法
本发明属于镀膜领域,涉及一种大尺寸圆柱形样件外柱面红外镀膜装置及其工艺方法。样件外柱面红外镀膜装置,真空腔体包括扇形腔体和方形腔体,扇形腔体一端封闭、另一端活动安装真空室门,抽真空机构与扇形腔体连通,扇形腔体封闭端与真空室门之间转动安装圆柱...
电极组件和沉积设备
本申请公开了电极组件和沉积设备。电极组件包括加热板、载板和连接片。载板设置于加热板上。多个连接片位于载板和加热板之间,连接片的一端固定连接于加热板,连接片的另一端与载板抵接,连接片将载板和加热板电导通。通过上述方式,本申请能够提高载板与加热...
一种耐液态铅铋合金腐蚀的陶瓷复合涂层及其制备方法
本发明涉及耐铅铋合金腐蚀涂层技术领域,具体涉及一种耐液态铅铋合金腐蚀的陶瓷复合涂层及其制备方法。所述陶瓷复合涂层是在基体表面从内向外依次形成金属层和陶瓷涂层;所述金属层是锆或锆基合金;所述陶瓷涂层是在金属层的表面沉积形成ZrAlN层和AlO...
一种稀土元素掺杂AlNiCo磁性薄膜材料及其制备方法
本发明公开了一种高性能稀土掺杂AlNiCo薄膜材料及其制备方法和应用。采用多靶共溅射的方法,利用高真空磁控多靶共溅射系统,在硅衬底上沉积稀土元素掺杂的AlNiCo薄膜:将硅衬底、金属AlNiCo靶和稀土金属靶置入溅射腔室中,AlNiCo薄膜...
一种具有厚度梯度变化的多层功能组合物膜及其制备方法和应用
本发明涉及一种具有厚度梯度变化的多层功能组合物膜及其制备方法和应用,包括一或多个功能层,各功能层包括多个膜层,多个膜层中至少两个膜层采用的材料不同,多个膜层中至少一种材料在所述多个膜层中的不同膜层的厚度沿纵向变化。与现有技术相比,本发明制备...
一种提高涂层/合金基体界面稳定性的Ni-Al/MCrAlY涂层及其制备方法
本发明公开了一种提高涂层/合金基体界面稳定性的Ni‑Al/MCrAlY涂层及其制备方法,属于高温防护涂层技术领域。具体而言,就是在高温合金基体上先沉积Ni‑Al涂层,再沉积MCrAlY涂层,最后经真空退火使涂层成分扩散均匀。与单一的MCrA...
一种TiCrN陶瓷/NiCrBSi合金三维互锁超细叠层复合涂层的制备方法
本发明为一种TiCrN陶瓷/NiCrBSi合金三维互锁超细叠层复合涂层的制备方法。该方法中,涂层体系的陶瓷相是在TiN中引入Cr形成TiCrN固溶体,其熔点较TiN(2950℃)降低约350℃,显著改善熔滴扁平化行为,实现亚微米级精准沉积;...
用于镍基高温合金热防护的涂层及其制备方法
本发明是关于一种用于镍基高温合金热防护的涂层及其制备方法,所述涂层由粘结层、过渡层和陶瓷层组成;其中,所述粘结层为NiCoGrAlYSi;所述过渡层为(Gd
0.2
Yb
0.2
Y
0.6
一种稀土改性盐浴离子渗处理锅体表面的方法
本发明公开了一种稀土改性盐浴离子渗处理锅体表面的方法,其包括以下步骤:S1:将铝锅体预热;S2:将其放置于盛有第一氮化盐的氮化炉内进行分阶段一次氮化处理,得到沿锅体表面具有浓度梯度氮化物的一次氮化锅体;S3:将其放置于盛有氧化盐的氧化炉内进...
一种具有高切削寿命的刀具复合涂层及其制备方法
本发明涉及机械加工刀具切削和表面处理技术领域,公开了一种具有高切削寿命的刀具复合涂层及其制备方法,利用高功率脉冲磁控溅射同步脉冲偏压在刀具基体表面进行复合涂层沉积;复合涂层沉积包括TiAlN薄层和(CrAl)
2
O
用于腔室部件的金属氟氧化物涂层及其涂覆方法
本文描述了一种包括金属氟氧化物涂层的腔室部件,此金属氟氧化物涂层包括YF
3
、ZrF
4
或其组合以及由Y
2
O
3
及ZrO
2
组成的金属氧化...
一种硼化锆致密涂层的制备工艺及等离子喷涂装置
本发明提供一种硼化锆致密涂层的制备工艺及等离子喷涂装置,涉及涂层制备技术领域。该制备工艺包括以下步骤:悬浮液制备:将分散介质、ZrB
2
粉体、富含
10
B的B粉、粘结剂和分散剂混合均匀得到悬浮液;其中...
一种冷轧沉没辊平稳运行装置
本发明属于冷轧沉没辊运行技术领域,具体的说是一种冷轧沉没辊平稳运行装置,包括锌液箱,锌液箱一端固定连接有电机,锌液箱内部固定连接有两个轴承座,两个轴承座分别固定在锌液箱的两个内壁上,两个轴承座之间转动连接有沉浸辊,锌液箱内设置有防偏移组件,...
一种金属零件表面发黑处理装置
本发明涉及金属零件加工技术领域,尤其是一种金属零件表面发黑处理装置,包括限位箱,所述限位箱的内部放置有浸泡壳体,所述浸泡壳体的上方设置有活动臂,所述活动臂上转动连接有转动环,所述转动环的内部固定连接有密封管,所述密封管的表面沿周向固定连接有...
一种铜铝结合钝化工艺方法
本发明公开了一种铜铝结合钝化工艺方法,涉及金属表面处理技术领域,包括预处理、抛光处理、施加抗氧化涂层、超声波清洗、钝化处理、脱水处理、干燥处理和最终检验与包装;通过硝酸进行预处理,以去除金属表面的氧化层、锈蚀和其他杂质,再使用抛光剂对金属表...
一种制备超薄金刚石声学振膜的方法
本发明公开了一种制备超薄金刚石声学振膜的方法,属于金刚石应用领域。包括以下步骤:S1:对基底材料进行加工处理,形成声学振膜需要的三维形状;S2:在基底材料上沉积金刚石薄膜;S3:将金刚石薄膜从基底材料上剥离;S4:将剥离掉的金刚石材料通过静...
制造金属氮化物薄膜的方法
一种制造金属氮化物薄膜的方法,通过至少一原子层沉积循环所执行。每一原子层沉积循环先执行关于金属元素的至少一个半循环,于每一个半循环中,先供应包含金属元素的前驱物至反应腔体内,再选择性地供应冲洗气体至该反应腔体内,其中元件置于反应腔体内。随后...
使用衬垫的自下而上的间隙填充
所公开的示例涉及使用原子层沉积(ALD)以自下而上的方式实施部分间隙填充处理。一示例提供了一种在衬底中的间隙的部分填充方法。该方法包括:将硅氮化物次保形层沉积在间隙的第一部分中且不沉积在间隙的第二部分中。第一部分从间隙的顶部延伸至在间隙内的...
一种通过异丙醇稀释提升DM-4000封孔剂对AT13陶瓷涂层封孔效果的方法
本发明公开了一种通过异丙醇稀释提升DM‑4000封孔剂对AT13陶瓷涂层封孔效果的方法。该方法通过使用异丙醇对DM‑4000(Dura‑Metal Sealer 4000)进行稀释(DM‑4000:异丙醇=1:0‑1:1)来改善其流动性,提...
一种掩膜基板及镀膜温度控制方法
本发明公开了一种掩膜基板及镀膜温度控制方法,属于半导体制造技术领域。本发明的一种掩膜基板,包括基板本体以及在基板本体表面依次形成的抗反射层、遮光层和保护层,其中,抗反射层为梯度复合膜,遮光层为纳米晶Cr,遮光层由HiPIMS溅射沉积,晶粒尺...
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