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溅射装置
本发明提供能够实现在成膜面上具有凹凸的基板的膜厚的均匀化的溅射装置。所述溅射装置具备:移动机构,其移动基板;靶材,其使溅射粒子朝向所述基板飞散;磁铁,其以使来自所述靶材的溅射粒子的主飞散方向成为从所述基板的法线方向倾斜的斜入射方向的方式配置...
一种镀膜设备
本申请提供一种镀膜设备,属于镀膜技术领域。镀膜设备包括箱体、反应器、供料装置、电击棒、气体分析仪和控制器;反应器包括第一容器、第二容器和搅拌组件,第一容器具有第一容纳腔,第二容器收容于第一容纳腔,并与第一容器转动连接,第二容器具有与第一容纳...
一种光伏焊带用风刀
本发明公开了一种光伏焊带用风刀,涉及风刀技术领域,包括上壳体和下壳体,所述上壳体和下壳体同圆心处设置穿过焊带的模具孔,所述上壳体和下壳体连接后形成气体流通的腔体,所述上壳体和下壳体的模具孔处形成吹风口,腔体包括水平段、竖直段、斜向段,所述下...
一种氮化硅薄膜及其制备方法与半导体器件
本发明属于半导体技术领域,涉及一种氮化硅薄膜及其制备方法与半导体器件。所述氮化硅薄膜的制备方法包括:(1)向抽至真空的腔体中通入前驱体气体,同时预热晶片至沉积温度;(2)在晶片表面沉积氮化硅薄膜;(3)将腔体抽至真空,通入氮气,对所述氮化硅...
真空中转室及磁控溅射镀膜系统
本申请公开一种真空中转室及磁控溅射镀膜系统。真空中转室包括由顶壁、底壁和侧壁围成的真空腔室,以及可绕一竖直轴线转动安装在所述真空腔室内的换向架,所述换向架与所述顶壁和底壁枢转连接,所述侧壁上设置有对准所述换向架的工件转移口,所述真空腔室的外...
一种砂浆泵泵轴表面处理工艺
本发明涉及砂浆泵技术领域,且公开了一种砂浆泵泵轴表面处理工艺,包括以下步骤:(1)表面打磨处理;(2)清洗;(3)磷化液预处理;(4)磷化处理;本发明工艺在砂浆泵泵轴表面形成了一层均匀致密的磷化膜,并且形成的磷化膜表面无贯穿性的裂缝,成膜质...
一种制备低残余应力SiC耐高温防护涂层的化学气相渗透方法
本发明属于半导体高温防护涂层制备技术领域,具体涉及一种制备低残余应力SiC耐高温防护涂层的化学气相渗透方法。采用正压化学气相渗透技术,选择MTS‑H
2
体系作为前驱体并控制其摩尔比例(MTS:H
2
=...
一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺
本发明涉及溅射镀膜技术领域,具体涉及一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺,多离子源同步溅射镀膜工艺包括采用多离子源同步溅射镀膜装置进行镀膜;多离子源同步溅射镀膜装置包括壳体和多个均插装在壳体内的阴极射头,阴极射头包括连接臂、靶座、压接部、屏蔽...
一种调平装置及应用其的薄膜沉积设备
本实用新型公开了一种调平装置及应用其的薄膜沉积设备,调平装置包括第一调整块、第二调整块、固定组件以及调整组件,固定组件穿过第一调整块和第二调整块后形成固定点,调整组件穿过第一调整块和第二调整块后形成调整点;调整组件能够使得第一调整块在调整点...
一种Fe基薄膜材料用前驱体α-二亚胺基二甲基Fe(III)化合物
本发明公开了一种Fe基薄膜材料用前驱体α‑二亚胺基二甲基Fe(III)化合物,属于微电子材料技术领域。本发明提供了一种如式(I)所示的α‑二亚胺基二甲基Fe(III)化合物,该化合物有良好的挥发性、热稳定性、耐氧气稳定性,以及良好的成膜性能...
一种具有高温抗氧化性能的纳米TiO
2
复合Ni
2
Al
3
涂层及其制备方法
本发明涉及Ni
2
Al
3
涂层制备技术领域,具体公开一种具有高温抗氧化性能的纳米TiO
2
复合Ni
2
Al
3
涂层及其制备方法,其中,制备方...
一种液晶面板镀膜夹持机构
本实用新型公开了一种液晶面板镀膜夹持机构,包括:吸附件、驱动件以及两个定位件,吸附件包括真空吸盘以及安装板,真空吸盘安装于安装板,并连接真空泵,真空吸盘的一侧形成有一夹持区;驱动件连接安装板,用于驱动真空吸盘相对夹持区运动;两个定位件分别设...
一种真空镀膜机用充气装置
本实用新型公开了一种真空镀膜机用充气装置,属于真空镀膜技术领域,包括箱体,所述箱体内部设置有隔板,隔板一侧设置有镀膜腔,镀膜腔内部下侧设置有电机一,电机一输出端设置有基片放置架,基片放置架上端设置有夹持机构,箱体上端设置有加压泵,本实用新型...
一种复合氧化物涂层及其溶胶凝胶-激光快速氧化复合制备方法
本发明涉及金属材料表面防护技术领域,具体涉及一种复合氧化物涂层及其溶胶凝胶‑激光快速氧化复合制备方法,通过设计溶胶配方并匹配激光辐照参数,实现涂层的快速致密化,在基体表面获得复合氧化物陶瓷涂层。该方法工艺周期短、基材适用性广,所得涂层具有优...
一种真空镀膜用侧引弧机构
本实用新型属于真空镀膜引弧技术领域,具体涉及一种真空镀膜用侧引弧机构,其中包括基座和靶材,所述基座的外部套接有转动盘,所述转动盘的右端固定安装有端盖;所述转动盘的左侧固定安装有旋转盘,且旋转盘套接于基座的外侧,所述基座的一侧固定安装有旋转气...
一种改善磁控溅射薄膜膜厚均匀性的工艺方法、磁控溅射薄膜和磁控溅射设备
本发明提供一种改善磁控溅射薄膜膜厚均匀性的工艺方法、磁控溅射薄膜和磁控溅射设备,属于半导体制造领域。该工艺方法包括以下步骤:提供晶圆,设定磁控溅射设备中的靶磁间距为TM
0
,靶基距为TW
0
,然后在所...
一种压力可调的镀锌外吹风环
本实用新型提供了一种压力可调的镀锌外吹风环,包括:壳体;所述壳体采用圆环形结构,且壳体的内部开设有圆环形空腔结构;壳体的内侧固定设置有圆环形结构的内壳体;内壳体内壁的矩形凹槽内呈环形阵列状固定设置有六组圆柱型结构的滑杆;滑杆的外侧滑动设置有...
一种可翻转的真空镀膜用治具
本实用新型涉及一种可翻转的真空镀膜用治具,包括底板、转盘以及加工台,所述底板内部设有空槽,所述转盘转动安设在所述空槽内,所述底板内部设有旋转机构控制转盘旋转,所述加工台固定安装在所述转盘上端,所述加工台上端面设有两个可拆卸的第一夹板以及两个...
一种用于PECVD制作的喷头装置
本实用新型公开了一种用于PECVD制作的喷头装置,包括中转盒,所述中转盒的上端连接有进管,所述中转盒的侧壁开设有圆槽,所述中转盒的底端开设有出孔,所述圆槽内活动连接有转动机构,所述转动机构内设置有喷头机构,所述转动机构和中转盒上设置有有限位...
一种含有ReCr基扩散障的MCrAlY涂层及其制备方法
本发明公开了一种含有ReCr基扩散障的MCrAlY涂层及其制备方法,属于高温防护涂层技术领域。通过电镀技术、电弧离子镀技术和真空扩散退火的方法在高温合金基体上制备了一种能在高温环境下抑制涂层与基体的互扩散,减缓涂层退化速度,从而提高涂层使用...
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