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五金工具产品及配附件制造技术
  • 本实用新型提出一种基片翻转镀膜装置,包括回转机构、防着板、治具承板,防着板设于治具承板下方,回转机构与主腔体的顶板连接,回转机构下方设有连接支架,通过连接支架将防着板与治具承板固定;治具承板上设有多个安装孔,每个安装孔内设置有翻转件,安装孔...
  • 本发明涉及半导体设备技术领域,具体地涉及一种晶圆加热器和分区域吹扫的方法。本发明提供了一种晶圆加热器,包括:加热器主体,其侧面设有多个吹扫气孔,所述吹扫气孔围绕所述加热器主体的边缘分布,所述多个吹扫气孔被划分为N个独立控制区域,所述加热器主...
  • 具有优异挤压加工性能与强塑性能的镁合金及其制备方法,该合金为Mg‑Cu基合金,其组分质量百分比为:Cu:0.2~1.8%,Mn:0.25~0.7%,Ca:0.1~0.7%,其余为镁、添加元素和不可避免的杂质,所述的添加元素为Zn、Al中的一...
  • 本发明属于真空镀膜技术领域,具体的说是一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统,该控制方法包括在镀膜过程中,持续采集并融合处理反映电子枪工作状态及蒸发过程的关键实时参数,基于关键实时参数,实时评估当前镀膜状态,并结合预设的镀膜工艺要求,通过内置的...
  • 本发明的目的在于提供一种制造形成有化学转化皮膜的带化学转化皮膜的金属材料的方法,上述化学转化皮膜的化学转化处理后的外观和涂装后通过曝露试验、VDA621‑415法等所评价的耐腐蚀性优异并且能够在宽温度范围中使用。通过如下的在金属材料的表面或...
  • 一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法,所述碳靶材以高纯甲烷气体为碳源气体,氮气和氢气为稀释气体和载气,采用化学气相沉积法进行制备;首先,使碳靶材在底部沿水平方向生长1‑5mm,然后,改变气体流型使碳靶材沿垂直方向生长5‑10mm,接着,再在顶部...
  • 本发明提供一种锂系液体表调剂,以重量百分比计,由以下成分制成:磷酸锂23‑33%,乳酸锂6‑9%,焦磷酸钾6‑8%,聚乙二醇硬脂酸酯6‑8%,聚苯乙烯磺酸20‑26%,十二水硫酸铝钾10‑12%,余量为水。该锂系液体表调剂配合锌系磷化液处理...
  • 本发明公开了一种微通道散热器表面防腐处理的方法,该方法包括以下步骤:将铜基底放置于真空腔体内,对腔体进行抽真空;向真空腔体内通入氩气与氢气的混合气体,并对腔体进行加热;使真空腔体内保持第一设定温度,停止氩气与氢气的混合气体通入,并向腔体内通...
  • 本申请公开了一种封装结构及其制备方法、柔性器件、封装组件,通过调控前驱体种类及沉积顺序,制备得到基于同种材料具有纳米叠层结构的封装结构。本申请的制备方法实现了封装结构内部结构的应力分布、应力大小以及应力方向的精准调控,将封装结构中残余应力控...
  • 本发明为一种具有环形抽气单元的沉积机台,包括一腔体、一承载盘、一环形抽气单元及一进气单元,其中腔体包括一容置空间及一沟槽,沟槽环绕在容置空间的外围。环形抽气单元包括一环形主体、一环形盖板及一环形遮挡件,其中环形主体包括一环形凹槽、至少一连接...
  • 本发明公开了种岩层地面挖掘机用滚刀钢及其制备方法,属于滚刀钢材料领域。该滚刀钢由内到外依次包括:钢基体结构和表面自润滑涂层;基体结构为内层:30CrNiMo钢基体,含纳米TiN颗粒;中间层:Fe‑TiC梯度复合材料;外层:WC‑10Co层;...
  • 本申请涉及金属表面处理及防护技术领域,本申请公开了一种锌镍合金钝化剂及其制备方法。一种锌镍合金钝化剂,包括以下重量份数原料,三价铬化合物50‑80份,酸性溶液10‑25份,羟基石墨烯8‑15份,酯化聚四氟乙烯12‑20份,烯丙基苯1‑3份。...
  • 本发明涉及半导体加工技术领域,公开一种镀膜设备。其中镀膜设备的加工柜体设置有加工腔;晶圆托盘设置于加热盘上,晶圆托盘和加热盘设置于加工腔内;喷头设置于加工腔内且位于晶圆托盘的上方,喷头设置有多个气体通道,多个气体通道包括连通于加工气体供给气...
  • 本发明公开了一种B掺杂FeCo基高饱和磁化强度、高磁导率软磁薄膜的制备方法,涉及电子材料技术。薄膜成分为(Fe65Co35)100‑xBx(at.%),...
  • 本发明公开了一种电工纯铁防腐耐磨复合涂层制备方法,该方法包括以下步骤:(1)对电工纯铁工件进行镜面抛光处理,使用石油醚和无水乙醇对抛光电工纯铁分别进行超声波清洗,随后进行吹干处理;(2)先将电工纯铁工件放入预热炉内预热,然后放入氮化炉内进行...
  • 本申请公开了一种晶圆处理装置,属于半导体加工技术领域,本申请实施例中的晶圆处理装置,包括基座与承载组件,基座具有容置槽,容置槽具有底壁和侧壁,基座具有第一方向,侧壁自底壁所在平面沿第一方向延伸;承载组件设置于容置槽内,承载组件的外周壁与侧壁...
  • 本实用新型属于热浸镀锌分离技术领域,具体为一种热浸镀锌工件分离装置,包括:浸锌槽及其外侧电动升降结构的固定座;所述固定座的一端内部设有滑架,通过内部的分流管及其下方两侧的喷头对多个工件同时进行分离作业,以缩短作业时长预防冷却固化,所述固定座...
  • 本发明提供一种溅射镀膜设备,所述溅射镀膜设备包括溅射腔体、位于溅射腔体上部的溅射组件、位于溅射腔体内的载台及遮挡组件;所述遮挡组件包括挡板及遮挡环,所述挡板自溅射组件外围向下延伸到载台周向外围,所述挡板内设置有冷却通道,且所述挡板和遮挡环上...
  • 本实用新型涉及物理气相沉积的镀膜领域,尤指上下料平台及磁控溅射设备,上下料平台与镀膜装置是相邻的,上下料平台包含有梯台,梯台具有与镀膜装置相对应的高度,以及在梯台上设有若干个围栏,部分围栏为可翻转的翻板,设置在梯台底面的支撑机构,其伸缩用的...
  • 本实用新型涉及镀膜设备技术领域,具体涉及一种用于钛金属镀膜的辅助工装;包括底板,所述底板上表面的左右两侧上对立设置有两条平行的滑轨,所述滑轨上连接有两组滑动架,两组所述滑动架之间还转动连接有用于调节滑动架间距的夹持机构,所述夹持机构包括调节...
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