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加热盘的制造方法及加热盘
本发明提供了一种加热盘的制造方法及一种加热盘。所述加热盘的制造方法包括以下步骤:向所述加热盘的金属盘体上的凹槽中填充绝缘材料,以形成第一绝缘层;直接将加热丝安装在所述第一绝缘层上;向所述加热丝上再次填充所述绝缘材料,以形成第二绝缘层;以及将...
三明治结构纤锌矿铁电材料及其原子层沉积制备方法
本发明涉及三明治结构纤锌矿铁电材料及其原子层沉积制备方法,属于半导体材料与微电子器件制造领域。该方法采用原子层沉积(ALD)工艺,在衬底上依次沉积底层AlN薄膜、含敏感元素的氮化物功能层和顶层AlN薄膜,形成AlN/氮化物功能层/AlN的叠...
一种用于真空吸填孔的电镀装置及其工作方法
本发明提供了一种用于真空吸填孔的电镀装置及其工作方法,包括沿X轴设置的桁架,桁架上滑动设置有滑动板,且桁架上至少设置两个滑动板,滑动板的下方设有上真空盖,上真空盖可通过Z轴方向的运动进行位置调整,与桁架对应的下方设置有下真空盖,任一上真空盖...
具有MAB相结构的Cr2AlB2涂层及其制备方法和包含其的制品
本申请公开了一种具有MAB相结构的Cr2AlB2涂层及其制备方法和包含其的制品,所述具有MAB相结构的Cr2AlB2涂层的制备方法,包括以下步骤:采用单靶位组合靶材在基片上进行磁控溅射沉积,获得沉积态涂层;对所述沉积态涂层进行热处理,获得具...
一种复杂构件热浸离心镀方法及设备
本发明涉及一种复杂构件热浸离心镀方法及设备,包括以下主要步骤:步骤一、清洗工序,将多个零件装入至载具内,启动驱动组件,载具震动的同时进行旋转,多个零件均匀分布在载具的外边缘,再向载具内先后通入清洗液、清水以及助焊剂,完成多个零件的清洗工作;...
一种刀具涂层及其制备方法和应用
本发明提供了一种刀具涂层及其制备方法和应用,属于数控刀具技术领域。本发明采用气体离子源法对刀具进行刻蚀清洗后,通过高功率脉冲磁控溅射技术在刀具表面依次沉积金属打底层、类金钢石层、粘结层和氧化物隔热层。本发明将高脉冲磁控溅射技术用于制备刀具涂...
一种电感过线珠材料选择装置
本实用新型公开了一种电感过线珠材料选择装置,包括装置本体,装置本体包括基座、固定块、小锡缸和漆包线,基座呈矩形状结构,固定块安装在基座顶部,固定块呈矩形状结构,固定块顶部开设有一组呈对称方式分布的安装凹槽,安装凹槽呈圆形状结构,小锡缸设有一...
一种智能温控式钢材渗碳热处理装置
本发明公开了一种智能温控式钢材渗碳热处理装置,本发明涉及合金热处理设备技术领域,该热处理装置包括炉体、炉门、控制面板、侧风机构和支撑机构,炉门与炉体铰接,控制面板、侧风机构、支撑机构均与炉体固定连接,侧风机构设有两组,两组侧风机构设于炉体内...
用于改善镀膜均匀性的调节挡片及氧化钒薄膜沉积设备
本申请公开了一种用于改善镀膜均匀性的调节挡片及氧化钒薄膜沉积设备,调节挡片包括挡片本体,挡片本体设于氧化钒薄膜沉积设备的气嘴上方、并位于靶材与载台之间,挡片本体上开设有多个通孔,多个通孔在挡片本体上呈非均匀分布,且通孔的分布密度、尺寸与无挡...
一种便于晶振探头维护的蒸镀设备及其维护方法
本发明公开了一种便于晶振探头维护的蒸镀设备及其维护方法,属于真空蒸发镀膜技术领域。便于晶振探头维护的蒸镀设备包括腔体、盖板、铰链、锁定组件和晶振探头,腔体的侧面开设有开口;盖板能够盖设于开口处;盖板通过铰链铰接于腔体;锁定组件用于将盖板夹紧...
一种金属氢化物复合涂层结构及其制备方法和应用
本发明公开一种金属氢化物复合涂层结构及其制备方法和应用,包括金属氢化物基体、锆过渡层和钛氮氧阻氢层;锆过渡层位于金属氢化物基体和钛氮氧阻氢层之间,其制备方法:步骤(1)、将金属氢化物基材打磨、化学清洗、干燥和刻蚀清理;步骤(2)、采用多弧离...
一种工业链轮表面等离子渗氮处理工艺
本发明涉及工业链条技术领域,且公开了一种工业链轮表面等离子渗氮处理工艺,包括以下步骤:(1)预处理;(2)等离子清洗;(3)梯度渗氮;(4)后处理;梯度渗氮通过分阶段控制温度、压力及气体比例,实现氮浓度的梯度分布。第一阶段利于氮原子初步渗入...
工件表面改性层及其制备方法
本发明公开一种工件表面改性层及该工件表面改性层的制备方法,该方法包括以下步骤:S100,采用离子注入技术,在待改性工件的表面注入Cr金属以形成注入层;S200,于所述步骤S100之后,采用离子注入和磁控溅射相结合的技术,在待改性工件的表面沉...
一种耐磨疏水涂层及其制备方法
本发明涉及一种耐磨疏水涂层及其制备方法,属于A的技术领域。一种耐磨疏水涂层的制备方法包括步骤:对清洗后的金属基材进行预处理,置于真空涂层炉中预热,离子刻蚀,采用Ti‑Cr复合靶材进行Ti‑Cr复合溅射处理、WC靶溅射处理,再进行多弧离子镀沉...
基板处理装置
本发明的一实施例提供一种基板处理装置,其包括:外壳,其形成外观;内壳,其插入外壳的内部以能够与外壳相对旋转,并且包括供待处理物安装的安装部;溅射部,其设置于外壳,并且用于在待处理物的表面形成薄膜;以及驱动部,其提供驱动力以使内壳能够旋转,其...
一种光学镜片加工用镜片镀膜装置及镜片镀膜方法
本申请公开了一种光学镜片加工用镜片镀膜装置及镜片镀膜方法,涉及镜片镀膜装置的技术领域,光学镜片加工用镜片镀膜装置包括箱体、真空泵、进气管、驱动气缸、镀膜机、隔板、驱动电机、固接于驱动电机的输出轴且处于隔板上方的转盘以及安装于转盘顶部的多个用...
一种高硬度超光滑TiN涂层制备方法
本发明涉及一种高硬度超光滑TiN涂层制备方法,包括将工件放入真空腔室内,对真空腔室进行抽真空,然后通入Ar对工件表面进行离子清洗;采用射频溅射技术在工件表面依次沉积Cr层和Ti层;采用纯离子镀膜技术在工件表面制备TiN层,纯离子镀膜时,向真...
一种MEMS探针卡的探针表面涂层的制备方法
本发明涉及一种MEMS探针卡的探针表面涂层的制备方法,包括如下步骤:1)将金属探针固定于可三维旋转的磁控溅射工装的沉积室中;(2)向沉积室中通入惰性气体,施加直流负偏压清除探针表面的污染物;(3)采用脉冲模式施加负偏压;(4)在惰性气体氛围...
一种碳化钽复合涂层及其制备方法和应用
本发明涉及复合材料技术领域,具体涉及一种碳化钽复合涂层及其制备方法和应用,包括位于基体表面从内至外依次叠加的碳纳米线层、细晶碳化钽涂层以及粗晶碳化钽涂层。本发明的碳化钽复合涂层弥补了碳化钽涂层与石墨基体的热膨胀差异,提供一种粗细晶交替的涂层...
一种真空镀膜产线及其运行方法
本发明涉及一种真空镀膜产线,包括:集成上下料区,其配置为执行待镀膜基片的上料和已镀膜基片的下料;工艺区,其包括并排设置的至少两个子工艺区,每个子工艺区配置为对基片采用化学气相沉积进行镀膜;单套输送系统,其设置于所述集成上下料区与工艺区之间,...
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