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最新专利技术
  • 一种流体控制器件的制备方法及流体控制器件
    一种流体控制器件的制备方法及流体控制器件_上海芯物科技有限公司_202610064262.7
    本发明公开了一种流体控制器件的制备方法及流体控制器件。流体控制器件的制备方法包括：提供第一结构，第一结构包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面一侧设置有压电结构，第二表面设置有第一流道且第二表面包括第一离子；提供第二结构层，第二结构包括...
    2026-05-06
  • 一种高深宽比结构的加工方法、传感器及验证方法
    一种高深宽比结构的加工方法、传感器及验证方法_东南大学_202610059936.4
    本发明公开了一种高深宽比结构的加工方法、传感器及验证方法，本发明对传统激光直写方法的激光直写路径、激光扫描策略以及激光加工参数进行调整，使激光直写方法可运用于高深宽比结构的加工，克服了传统MEMS工艺流程存在的缺陷，可实现传感器的快速加工。
    2026-05-06
  • 一种MEMS惯性器件制造方法
    一种MEMS惯性器件制造方法_武汉衡惯科技发展有限公司_202511986438.6
    本发明一种MEMS惯性器件制造方法，包括如下步骤：S1，于衬底正面刻蚀形成焊点和若干梳齿锚柱；S2，将器件层晶圆通过所述焊点和各所述梳齿锚柱键合在所述衬底上；S3，将键合完毕后的整体翻面，于所述衬底的反面上生长隔离层；S4，在各所述梳齿锚柱...
    2026-05-06
  • 研磨辅助的图形化刻蚀铌酸锂的方法及其应用
    研磨辅助的图形化刻蚀铌酸锂的方法及其应用_甬江实验室_202511783449.4
    本申请公开了一种研磨辅助的图形化刻蚀铌酸锂的方法及其应用，属于微纳加工技术领域。本申请技术方案所采用的方法包括：提供铌酸锂基片，在铌酸锂基片的一侧表面制备图形化的金属掩模层；使用磨料对铌酸锂基片上具有金属掩模层的一面进行选择性研磨刻蚀，以在...
    2026-05-06
  • 一种基于两步干法刻蚀的MEMS结构聚酰亚胺去除方法及应用
    一种基于两步干法刻蚀的MEMS结构聚酰亚胺去除方法及应用_苏州子山半导体科技有限公司_202511741736.9
    本发明公开了一种基于两步干法刻蚀的MEMS结构聚酰亚胺去除方法及应用，属于MEMS器件制造技术领域。先在120‑200℃下，利用由氧气与H2/N2混合气体电离形成的第一氧等离子体对聚酰亚胺进行第一干法刻蚀，处理15‑25分钟，实现体量快速去...
    2026-05-06
  • 一种深腐蚀硅岛时的凸角保护技术
    一种深腐蚀硅岛时的凸角保护技术_中国计量大学_202310355438.0
    本发明公开了一种深腐蚀硅岛时的凸角保护技术。每个硅岛(4)采用4根<110>晶向两端固支梁(5)和2根悬臂梁(6)组成凸角保护图形。<110>晶向两端固支梁(5)的一端固支在框架(8)上，另一固支端与悬臂梁(6)的自由端相连。悬臂梁(6)固...
    2026-05-06
  • 一种低温度迟滞的介质隔离硅压阻式压力传感器芯片及其制备方法
    一种低温度迟滞的介质隔离硅压阻式压力传感器芯片及其制备方法_中国电子科技集团公司第二十六研究所_202610060027.2
    本发明属于微机电传感器领域，具体涉及一种低温度迟滞的介质隔离硅压阻式压力传感器芯片及其制备方法；从上到下依次包括：钝化层、器件层、埋氧层、衬底层和玻璃基座；钝化层上设置有两列电极孔；器件层在与钝化层上的两列电极孔对应位置设置有两列金属电极；...
    2026-05-06
  • 一种红外光源结构和红外光源结构的制作方法
    一种红外光源结构和红外光源结构的制作方法_北京中科银河芯科技有限公司_202511972755.2
    本申请公开了一种红外光源结构和红外光源结构的制作方法，涉及光电技术领域，以解决如何提高红外光源的性能的问题。所述红外光源结构包括：沿衬底的厚度方向，衬底具有贯穿衬底的空腔。支撑层设置于衬底上，支撑层覆盖空腔。加热电阻和第一介质层均设置于支撑...
    2026-05-06
  • 一种微腔芯片及其制备方法、用途
    一种微腔芯片及其制备方法、用途_芯宿科技(苏州)有限公司_202411423243.6
    本申请提供一种微腔芯片及其制备方法、用途。所述微腔芯片包括衬底层、第一电极层、第二电极层以及微腔层；所述第一电极层位于所述衬底层的第一表面上，所述第一电极层具有多个第一电极；所述微腔层位于所述第一电极层表面并具有多个微腔，每个所述微腔至少覆...
    2026-05-06
  • 一种加油站防作弊监管系统及方法
    一种加油站防作弊监管系统及方法_中国石油天然气股份有限公司_202411467391.8
    本发明提供了一种加油站防作弊监管方法，包括：通过流量监测模块得到流量计的出油量和标准脉冲数，进行对比，得到脉冲对比结果；通过油罐监测模块得到储油罐的油位变化数据和油温变化数据；通过加油机分析模块得到实际脉冲数、油枪出油量和加油机显示出油量，...
    2026-05-06
  • 一种实时监控的加油机工作参数检测方法
    一种实时监控的加油机工作参数检测方法_中国石油天然气股份有限公司_202411467394.1
    本发明涉及加油机参数检测技术领域，特别涉及一种实时监控的加油机工作参数检测方法。该检测方法包括：获取加油机各位置的待检测工作参数，所述待检测工作参数包括：油枪工作参数、油管工作参数、油罐工作参数和时长工作参数；对所述待检测工作参数进行预处理...
    2026-05-06
  • 一种用于槽罐车的智能氨水安全卸载系统及控制方法
    一种用于槽罐车的智能氨水安全卸载系统及控制方法_石横特钢集团有限公司_202610359939.X
    本申请涉及易液化流体卸载技术领域，具体涉及一种用于槽罐车的智能氨水安全卸载系统及控制方法，所述系统通过缓冲罐、气相平衡管路、电子液位计、电动阀及智能控制系统的协同配合，实现氨水卸载的全流程自动化与密闭化运行。系统通过气相平衡管路维持槽罐车与...
    2026-05-06
  • 一种生产线及其工位分配方法
    一种生产线及其工位分配方法_常州汇拓科技有限公司_202610133929.4
    本发明涉及一种生产线及其工位分配方法，包括输送物件的输送机构和对物件加工的多个生产机构，所述生产机构对不同输送线以及衔接工位上的物件进行加工，且单个第一生产机构单次加工的物件的数量、单个第二生产机构单次加工的物件的数量分别与第三生产机构单次...
    2026-05-06
  • 一种茶油成品灌装设备
    一种茶油成品灌装设备_安徽康生源生态农业有限公司_202310602215.X
    本发明涉及茶油生产技术领域，具体说是一种茶油成品灌装设备，包括：当活塞块与刮板进行接触后，随着活塞块向下进行运动，活塞块对刮板进行挤压，刮板受到挤压时对连杆进行推动，连杆受带动在弧形槽内进行滑动，且由于弧形槽为弧形设置，所以连杆会受到弧形槽...
    2026-05-06
  • 一种透析浓缩液灌装设备
    一种透析浓缩液灌装设备_吉林省富生医疗器械有限公司_202610327085.7
    本发明涉及医疗技术领域，具体公开了一种透析浓缩液灌装设备，包括：固定座；还包括：传输带，传输带设置于固定座内部，传输带用于运输空桶；注液升降台，注液升降台设置于传输带边侧，注液升降台用于根据传输带中空桶位置，下降注液；注液组件，注液组件设置...
    2026-05-06
  • 一种将流体注入容器的装置
    一种将流体注入容器的装置_江苏新美星包装机械股份有限公司_202610368774.2
    本发明公开了一种将流体注入容器的装置，包括可转动的输送器和流体分配器；输送器具有多个支撑件、多个喷嘴和多个流体输送通道，喷嘴朝向相应的支撑件，流体输送通道具有入口和出口，出口连接喷嘴；流体分配器在输送器转动时固定，并将流体导入各入口，流体分...
    2026-05-06
  • 一种间歇式全称重西林瓶灌装机传动结构
    一种间歇式全称重西林瓶灌装机传动结构_上海奥星制药技术装备有限公司_202610272083.2
    本发明提供了一种间歇式全称重西林瓶灌装机传动结构，属于西林瓶灌装技术领域，包括走瓶底轨、送瓶、两个扇形盘、第一称重、灌装及第二称重机构。走瓶底板沿输送方向水平延伸，稳定承托西林瓶，其两端的扇形盘机构通过第二半圆槽抓取过渡，负责瓶体进出料。送...
    2026-05-06
  • 一种防宠物掉毛的鱼油营养膏及其低温灌装装置、工艺
    一种防宠物掉毛的鱼油营养膏及其低温灌装装置、工艺_电子科技大学中山学院_202610230703.6
    本发明提供一种防宠物掉毛的鱼油营养膏低温灌装装置，包括顶盖、低温灌装部件以及出料端，所述顶盖下端设有一组用于对鱼油营养膏进行灌装的低温灌装部件，本发明装置具有如下的有益效果：外保护壳内侧外隔温层、内管道腔内侧内隔温层构成双重隔温设计，可有效...
    2026-05-06
  • 一种护瓶装置及多导板护瓶装置
    一种护瓶装置及多导板护瓶装置_江苏新美星包装机械股份有限公司_202610109622.0
    本发明公开了一种护瓶装置，包括安装座，安装座有一对且间隔设置；护瓶导板，护瓶导板通过其两端分别转动地设置在一对安装座上，护瓶导板上向内凹设有至少两个半径相异的弧形导向面，至少两个弧形导向面沿护瓶导板的旋转圆周方向依次间隔排列；锁定机构，锁定...
    2026-05-06
  • 一种负压防滴漏的PCB剥锡液灌装封存装置及灌装工艺
    一种负压防滴漏的PCB剥锡液灌装封存装置及灌装工艺_无锡诚化电子化工有限公司_202411458317.X
    本发明涉及剥锡液灌装技术领域，具体为一种负压防滴漏的PCB剥锡液灌装封存装置及灌装工艺，包括：举托板，以及固定安装在所述举托板上的固定杆，所述固定杆端部固定有固定盘；夹持旋转机构，设置在所述举托板上，所述夹持旋转机构上连接有限位轮和呈对称设...
    2026-05-06
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