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最新专利技术
  • 用于手动匀胶台的可撕式多层防护膜结构及其使用方法
    用于手动匀胶台的可撕式多层防护膜结构及其使用方法_成都航天博目电子科技有限公司_202511830173.0
    本发明公开了一种用于手动匀胶台的可撕式多层防护膜结构及其使用方法，所述结构包括环形基座框架、多层U型复合膜单元、弱粘性隔离层和撕拉翼片；所述环形基座框架与匀胶台腔室形状贴合，基座框架的材质为聚四氟乙烯，多层U型复合膜单元堆叠于基座框架上，每...
    2026-05-12
  • 一种涂胶显影设备及传片方法
    一种涂胶显影设备及传片方法_沈阳芯源微电子设备股份有限公司_202511772449.4
    本发明公开了一种涂胶显影设备及传片方法，包括片盒模块，具有上料区域、暂存区域、对称设置的搬运区域和转移区域；对称设置的液处理模块和对称设置的热处理模块，液处理模块设于转移区域并包括至少两层进片液处理框架和至少两层回片液处理框架；每个液处理模...
    2026-05-12
  • 一种双传片路径涂胶显影设备
    一种双传片路径涂胶显影设备_沈阳芯源微电子设备股份有限公司_202511764633.4
    本发明公开了一种双传片路径涂胶显影设备，包括至少两层进片液处理框架和至少两层回片液处理框架；至少两层进片热处理框架和至少两层回片热处理框架；进片热处理框架对应进片液处理框架设置；热处理模块用于对晶圆进行热处理工艺；接口模块，与热处理模块连接...
    2026-05-12
  • 一种面向复杂微纳结构的多级精细套刻方法
    一种面向复杂微纳结构的多级精细套刻方法_大连理工大学_202610107356.8
    一种面向复杂微纳结构的多级精细套刻方法，属于微纳加工技术领域。所述多级精细套刻方法中，首先，基于双层光刻胶体系，通过优化上下胶层厚度、旋涂参数与两次独立显影工艺，形成具有精准底切轮廓的图形化掩膜；随后，通过预设于掩膜模具的全局对准标记组，在...
    2026-05-12
  • 一种阻氧层及制备方法及表面自带纹理的平顶网点的柔性树脂版
    一种阻氧层及制备方法及表面自带纹理的平顶网点的柔性树脂版_乐凯华光印刷科技有限公司_202511695634.8
    本发明提供一种阻氧层及制备方法及表面自带纹理的平顶网点的柔性树脂版，聚合物颗粒由含游离异氰酸酯单体的聚氨酯树脂与含羟基的阻氧剂树脂在有机溶剂中原位聚合形成，无需额外添加固体填料；通过阻氧剂树脂中的羟基摩尔含量大于异氰酸酯单体中异氰酸根的摩尔...
    2026-05-12
  • 一种图案化材料下层膜形成用组合物及图案化材料下层膜
    一种图案化材料下层膜形成用组合物及图案化材料下层膜_珠海基石科技有限公司_202610110873.0
    本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种图案化材料下层膜形成用组合物及图案化材料下层膜。与现有技术相比，本发明可增加图案化材料下层膜与基底粘附性，并在此基础上通过添加抗氧化剂作为添加剂，阻止取代的芳香化合物的氧化变质，从而能够在不影响配方性能...
    2026-05-12
  • 一种光刻胶颜料色浆及其制备方法
    一种光刻胶颜料色浆及其制备方法_茂名清荷科技有限公司_202511952498.6
    本发明涉及光刻胶颜料色浆制作技术领域，具体涉及一种光刻胶颜料色浆及其制备方法，包括颜料颗粒材料、树脂材料、功能化颗粒材料及其他功能性材料；本发明通过颜料颗粒的复合改性和功能化颗粒材料的引入，显著提升了色浆的分散稳定性和功能多样性，其颜料颗粒...
    2026-05-12
  • 抗蚀剂组合物及应用、抗蚀剂图案的制作方法
    抗蚀剂组合物及应用、抗蚀剂图案的制作方法_常州强力电子新材料股份有限公司_202511922912.9
    本发明提供了一种抗蚀剂组合物及应用、抗蚀剂图案的制作方法，属于半导体光刻胶技术领域。该抗蚀剂组合物包含：光产酸剂、正性光刻胶树脂、苯胺衍生物和溶剂；光产酸剂具有如下式(I)所示的结构，R11、R22各自独立地选自氢、C11~C55烷基或C1...
    2026-05-12
  • 高性能的光刻胶组合物
    高性能的光刻胶组合物_浙江新盈电子材料有限公司_202511782651.5
    本发明公开了一种高性能的光刻胶组合物。本发明的光刻胶组合物由下述原料制得，所述原料包括：聚合物，光致生酸剂，溶剂和淬灭剂。本发明的光刻胶组合物具有良好的延展性和抗裂性等性能。
    2026-05-12
  • 磁性液态光敏树脂、制备方法及应用
    磁性液态光敏树脂、制备方法及应用_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511662499.7
    本发明涉及磁性功能材料与光固化树脂技术领域，公开了一种磁性液态光敏树脂、制备方法及应用，旨在解决现有磁性光敏树脂中的硬磁磁粉易沉降团聚、稳定性差的问题。磁性液态光敏树脂包括羟基化‑硅烷化双步修饰的硬磁磁粉10‑40wt.%、液态光敏树脂58...
    2026-05-12
  • 光刻胶及其制备方法、无支撑3D悬浮打印方法和应用
    光刻胶及其制备方法、无支撑3D悬浮打印方法和应用_甬江实验室_202511604637.6
    本申请属于3D打印领域，具体涉及一种光刻胶及其制备方法、无支撑3D悬浮打印方法、应用。该光刻胶包括：高粘度树脂、光致产酸剂和增敏剂；所述高粘度树脂的粘度为10000 mPa·s以上，所述高粘度树脂的剪切变稀指数小于1。该光刻胶具有高粘度、自...
    2026-05-12
  • 一种用于纳米压印拼版设备的晶圆搬运机械手
    一种用于纳米压印拼版设备的晶圆搬运机械手_苏州固益微纳科技有限公司_202511527675.6
    本发明公开了一种用于纳米压印拼版设备的晶圆搬运机械手，涉及晶圆加工设备领域，包括：壳体，以及安装在壳体侧部的若干个呈竖直等距分布的托板，托板呈Y型，且托板的分叉端位于壳体的外部，壳体的内部固定装配有两个呈竖直状的光轴，且光轴滑动贯穿托板，壳...
    2026-05-12
  • 一种基于模块化微纳光学结构模版制备方法以及模版
    一种基于模块化微纳光学结构模版制备方法以及模版_苏州印象技术有限公司_202511824322.2
    本发明揭示一种基于模块化微纳光学结构模版制备方法，包括以下步骤：提供一基元库，所述基元库中包括若干基础纹理模块；目标图像设计，通过图像形成机构形成目标图像；对所述目标图像进行分析，并进行分割，得到若干子图像模块，其中至少存在两个子图像模块的...
    2026-05-12
  • 一种耐刻蚀性复合硬掩膜的制备方法及其应用
    一种耐刻蚀性复合硬掩膜的制备方法及其应用_浙江拓感科技有限公司_202610098837.7
    本发明涉及一种耐刻蚀性复合硬掩膜的制备方法及其应用，包括以下步骤：S1、在待刻蚀的基底表面上旋涂负性光刻胶，经软烤后固化得到底层光刻胶层；S2、在底层光刻胶层上旋涂正性光刻胶，经软烤后固化得到顶层光刻胶层；S3、在顶层光刻胶层上覆盖具有预设...
    2026-05-12
  • 掩膜图的光学邻近校正方法、装置、设备及存储介质
    掩膜图的光学邻近校正方法、装置、设备及存储介质_华芯程(杭州)科技有限公司_202610114820.6
    本发明涉及半导体加工工艺技术领域，公开了一种掩膜图的光学邻近校正方法、装置、设备及存储介质，该掩膜图的光学邻近校正方法包括对待加工晶片的抛光面进行形貌预测，获得抛光面形貌信息；根据所述抛光面形貌信息对仿真光学模型中的焦平面参数进行修正；利用...
    2026-05-12
  • 自动添加光学邻近校正图形的方法、系统及存储介质
    自动添加光学邻近校正图形的方法、系统及存储介质_中芯集成电路(宁波)有限公司_202610007350.3
    本发明公开一种自动添加光学邻近校正图形的方法、系统及存储介质，该方法包括：获取待校正的原始版图数据；加载预先生成的光学邻近校正规则脚本，光学邻近校正规则脚本包含用于驱动设计规则检查工具执行图形创建与修改操作的指令代码；通过设计规则检查工具执...
    2026-05-12
  • 一种多波长半导体激光数字照明装置
    一种多波长半导体激光数字照明装置_上海统凯信息科技有限公司_202610032272.2
    本发明公开了一种多波长半导体激光数字照明装置，属于投影技术领域，包括壳体机构，所述壳体机构的内部固定设置有合光机构，所述合光机构用于调节光线输出方向，所述绿光机构的内部安装有集束机构，所述集束机构用于整合光线。本发明通过设置合光机构、集束机...
    2026-05-12
  • 一种三色激光投影光源驱动及智能恒温控制系统
    一种三色激光投影光源驱动及智能恒温控制系统_上海统凯信息科技有限公司_202512038822.X
    本发明涉及投影显示技术领域，且公开了一种三色激光投影光源驱动及智能恒温控制系统，系统包括三色激光光源驱动模块、制冷器驱动模块、温度监控模块、智能恒温控制模块、微处理器集中控制模块。系统通过高效率光源驱动芯片单元实现三色激光光源的恒流驱动，本...
    2026-05-12
  • 激光投影光学系统及投影设备
    激光投影光学系统及投影设备_青岛海信激光显示股份有限公司_202511758499.7
    本申请公开了一种激光投影光学系统及投影设备，包括激光光源、第一照明光路、全反射棱镜组、相位光调制器件、第二照明光路、显示器件和镜头。通过设置全反射棱镜组，可以将激光光束以最佳角度全反射至相位光调制器件，使相位光调制器件达到最高的衍射效率。还...
    2026-05-12
  • 一种可折叠式柔光箱卡盘
    一种可折叠式柔光箱卡盘_肇庆晨威电子科技有限公司_202512048431.6
    本发明提供了一种可折叠式柔光箱卡盘，包括有呈环状结构的第一伞盘座、呈弧状或半环状结构的第二伞盘座和第一锁定机构；在第一伞盘座的外周设有第一支撑件，在第二伞盘座的外周设有第二支撑件；所述第二伞盘座转动连接于第一伞盘座。本发明通过第二伞盘座相对...
    2026-05-12
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