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一种铜催化辅助制备二维转角WS2的方法
本发明公开了一种铜催化辅助制备二维转角WS2的方法,属于无机纳米半导体材料领域,包括:将装载硫粉的第一刚玉舟放在多温区管式炉的上游低温区;将氧化钨粉与铜粉混合后的混合粉末放在第二刚玉舟内的前端,将沉积衬底放在第二刚玉舟内的末端,第二刚玉舟入...
一种针对金属、陶瓷的光学遮光圈内孔的消光方法
本发明涉及光学元件处理技术领域,具体公开了一种针对金属、陶瓷的光学遮光圈内孔的消光方法,先采用超声波清洗,内孔区域辅以旋转式喷淋清洗;再用去离子水进行内外高压冲洗,最后在烘箱中烘干;将经过表面预处理的遮光圈放入VCD反应炉内;通入碳源气体,...
一种中空玻璃镀膜装置及镀膜工艺
本发明提供一种中空玻璃镀膜装置及镀膜工艺,涉及玻璃镀膜技术领域,包括:支架用于承载待镀膜玻璃;镀膜机构包括移动组件、固定架、更换组件和底座;支架与底座转动连接,更换组件与固定架滑动连接,更换组件与移动组件固定连接;送料机构安装在支架上,用于...
一种镜片镀膜夹装系统
本发明公开一种镜片镀膜夹装系统,涉及镜片镀膜加工技术领域;包括镀膜箱,镀膜箱的顶部设置有抽真空设备,在镀膜箱的外侧设置料口,且在料口处设置有支架;在镀膜箱的外侧设置有用于运输镜片的运输设备,支架上设置有转移组件,用于将镜片运输设备上转移至镀...
一种稳定抗震光学镜片真空镀膜架
本发明提供一种稳定抗震光学镜片真空镀膜架,涉及真空镀膜架技术领域,包括支架本体,所述支架本体的内部固定安装有承托板,所述承托板的顶端固定安装有多个辅助架,每个所述辅助架的内部均滑动安装有导轨移板,每个所述导轨移板的顶端均固定安装有水平悬架,...
一种具备翻转夹持功能的汽车配件用镀铝工装
本发明公开了一种具备翻转夹持功能的汽车配件用镀铝工装,涉及镀膜工装技术领域,包括:驱动组件、固定外框和若干翻转夹持组件,所述翻转夹持组件包含:偏转连杆、伸缩杆、工件夹头和导向套杆;驱动组件升降时,通过第一铰接轴带动偏转连杆偏转,迫使伸缩杆沿...
一种用于刀具前刀面的复合润滑减摩涂层的制备方法
本发明提供一种用于刀具前刀面的复合润滑减摩涂层的制备方法,包括以下步骤:将预处理的刀具基体置于真空室的基片架上;加热刀具基体至预设沉积温度;采用非平衡磁控共溅射工艺,同时溅射至少一个硬质相靶材和至少一个润滑相复合靶材以沉积涂层;通过对刀具基...
一种管道内壁阻氢涂层及其制备方法
本发明公开了一种管道内壁阻氢涂层及其制备方法,涉及管道涂层技术领域,制备方法包括以下步骤:(1)对待处理工件进行清洗、烘烤后安装入炉并抽真空加热、保温;(2)开启金属靶材的磁控溅射镀膜电源,在真空室中产生等离子体,外接负压电源,金属靶材接正...
一种复合涂层、其制备方法及其在玻璃模压模具中的应用
本发明公开了一种复合涂层、其制备方法及其在玻璃模压模具中的应用。沿厚度方向,该复合涂层依次包括Cr层和C‑Pt纳米复合层;通过在基体表面依次沉积Cr层,在Cr层表面沉积C‑Pt纳米复合层,制得复合涂层。本发明显著弱化甚至消除了复合涂层中团簇...
一种带有波浪环的磁控溅射靶装置
本发明涉及磁控技术,尤其涉及一种带有波浪环的磁控溅射靶装置。包括相互隔离的调节室和隔离室、励磁装置。所述励磁装置通过基础永磁体与分散式永磁体阵列形成约束电子的磁势阱。通过位于所述隔离室内的微动电机经一传动系统,带动位于所述调节室内的波浪环产...
靶材混合溅射方法及系统
本发明公开了一种靶材混合溅射方法及系统,其中溅射方法,包括匹配于待溅射膜层的合金成分,为同一靶位配置若干第一靶材:依据第一靶材对应的物质在合金中的含量,匹配第一靶材的输出功率;和/或依据第一靶材对应的物质在合金中的含量,调整第一靶材的磁控角...
类金刚石基复合涂层及制备方法
本发明提供了一种类金刚石基复合涂层及制备方法,所述复合涂层形成于不锈钢基体或铸铁基体上,所述复合涂层包括依次层叠设置的过渡层、耐磨层和抗咬合层;所述过渡层包括第一Me层、MeN层、Me(W)N层以及MeWN层;所述耐磨层包括WC‑DLC复合...
一种磁控溅射镀膜工艺用偏压系统
本发明涉及真空镀膜领域,尤其是一种磁控溅射镀膜工艺用偏压系统,包括偏压电源;磁控溅射镀膜机包括真空室以及设置于真空室内的基板和磁铁,基板和磁铁相近一侧分别连接有溅射靶材和基板,基板上安装有电池片;偏压电源的正极通过绝缘导线连接至基板,电池片...
工艺腔室及半导体工艺设备
本申请公开了一种工艺腔室及半导体工艺设备,涉及半导体领域。一种工艺腔室,包括:腔体、进气组件、第一加热组件和隔热组件;所述进气组件设于所述腔体,用于向所述腔体内通入工艺气体;所述第一加热组件设于所述腔体内,并连接于所述进气组件的边缘区域,用...
一种方舱辐射屏蔽涂层及制备方法
本发明涉及辐射屏蔽涂层制备技术领域,公开了一种方舱辐射屏蔽涂层及制备方法,包括在恒定物理溅射环境中,通过周期性地脉冲注入反应气体,在涂层生长界面原位触发选择性化学反应,生成硬质相与纳米韧化相交替的微观结构,并利用电源谐波反馈对生成过程进行闭...
金属钇靶材及其制备方法
本申请提供了一种金属钇靶材及其制备方法,属于溅射靶材技术领域,更广范围地属于电子专用材料领域。该金属钇靶材的制备方法,包括如下步骤:将金属钇置于悬浮炉中,抽真空至≤10‑2Pa,通入保护性气体并升温至1500℃~1700℃熔炼,待金属钇充分...
一种叠轧制备高性能钽溅射靶材的方法
本发明涉及靶材制备技术领域,尤其涉及一种叠轧制备高性能钽溅射靶材的方法,包括以下步骤:步骤1、真空熔炼:取出钽锭;步骤2、正向轧制;步骤3、斜轧制;步骤4、叠轧制;步骤5、热处理:将轧制后的钽靶坯进行热处理;步骤6、机械加工:将热处理后的钽...
一种AlCrSiVN复合涂层及其制备工艺
一种AlCrSiVN复合涂层及其制备方法,所述AlCrSiVN复合涂层沉积于WC‑Co硬质合金表面,由CrN过渡层、AlCrSiVN功能层叠加而成,其中所述CrN过渡层、AlCrSiVN功能层均为单层结构。制备方法,包括:步骤一基底预处理:...
防护涂层部件及其制备方法
本申请涉及涂层材料技术领域,具体涉及防护涂层部件及其制备方法。本申请提供的防护涂层部件的制备方法,包括以下步骤:在基体表面制备金属粘结层;采用阴极电弧复合磁控溅射法于金属粘结层背离基体的一侧表面制备MAX相材料涂层;其中,MAX相材料的化学...
翻盖开合装置和镀膜设备
本发明提供了一种翻盖开合装置和镀膜设备,涉及镀膜技术领域,该翻盖开合装置包括翻盖门板、门板驱动件和第一锁止机构,翻盖门板活动设置在一开口处;门板驱动件传动连接于翻盖门板,被配置为带动翻盖门板转动,以打开或闭合开口;第一锁止机构被配置为在翻盖...
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