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  • 本发明提供了一种光刻胶组合物、光刻胶组合物的制备方法及旋涂方法,光刻胶组合物包括:重量百分比分别为82%‑86%的环氧丙烯酸酯树脂、3.5%‑4.5%的双峰分子量分布光酸剂、0.8%‑1.2%的纳米二氧化硅改质剂,以及剩余重量百分比的梯度沸...
  • 本发明公开一种光敏引发体系及包含其光致聚合物型全息记录介质和光聚合树脂。所述光敏引发体系包括:光引发剂以及染料,所述染料选自如下所示结构通式中的一种。该光敏引发体系可以在发射波长范围为400‑800nm的LED、激光或其他可见‑近红外光源照...
  • 本发明属于压印技术领域,涉及一种通过黏流温度调控改善压印胶面型的方法,其包括以下步骤:制备压印胶;将所述压印胶在20‑30℃下搅拌20‑28h,搅拌转速为1000‑2000RPM;将搅拌后的压印胶滴胶在晶片中心,在主转速为2000‑3000...
  • 提供了一种光刻机的光罩版缺陷检测方法。该光刻机的光罩版缺陷检测方法包括:通过所述光刻机的光源照射光罩版,由所述光刻机的相机获得光罩版图像;对所述光罩版图像通过空间域高斯函数和灰度域高斯函数进行线条缺陷检测;通过对所述光罩版图像进行自适应阈值...
  • 本申请实施例提供了一种掩膜图案的处理方法、掩膜图案的处理系统和掩膜,该方法应用于由至少两个子掩膜拼接形成的掩膜,该掩膜包括基于相邻子掩膜的重叠区域形成的拼接区域。该方法包括:获取掩膜上的掩膜图案并将其拆分为拼接图案和非拼接图案;利用对应掩膜...
  • 本发明涉及一种光学邻近修正数据的处理方法及其介质、产品和设备。其中光学邻近修正数据的处理方法包括:确定对版图图形执行光学邻近修正的修正目标边,并获取修正目标边的属性信息和变异系数。获取修正目标边的边缘位置信息,并根据边缘位置信息计算得出边缘...
  • 一种光学邻近修正模型校准方法、存储介质及终端,涉及半导体制造技术领域,其中光学邻近修正模型校准方法包括:建立光学邻近修正模型,所述光学邻近修正模型包括光刻胶模型,所述光刻胶模型具有待计算的线性系数和非线性变量;基于局部算法搜索所述线性参数;...
  • 本发明公开了一种灰度掩模版的制作方法,包括步骤:在透明基板上形成具有第一透光率和第一厚度的遮光材料层。在遮光材料层的表面形成电子束胶图形,电子束胶图形包括多个第一开口。以电子束胶图形为掩膜进行第一刻蚀以将第一开口底部的遮光材料层去除并形成第...
  • 本发明公开了一种灰度掩模版的制作方法,包括:步骤一、在透明基板的表面形成电子束胶图形,电子束胶图形包括多个第一开口。步骤二、以电子束胶图形为掩膜对透明基板进行刻蚀形成第二开口;之后去除电子束胶。步骤三、按照第一开口的尺寸逐渐减小或逐渐增加的...
  • 3D照相机、3D摄像机、3D内窥镜非常昂贵,该发明可以通过在照相机、摄像机、内窥镜等设备的镜头前加一个镜头就实现3D拍摄功能。该发明可以通过新设计一个镜头,跟照相机、摄像机、内窥镜等设备的原机身配合就实现3D拍摄功能。该发明可以通过在照相机...
  • 本发明涉及投影技术领域,尤其涉及一种隐藏式投影银幕,包括有外壳、收卷杆、电动马达、幕布和固定板等;外壳内部转动连接有收卷杆;外壳固接有电动马达,且电动马达输出部与收卷杆固接;收卷杆固接有幕布;外壳开有通槽;外壳右侧设置有固定板,且幕布穿过通...
  • 本发明涉及一种用于车辆的投影系统,所述投影系统包括:一个投影装置(1),以及正交于所述投影装置(1)的光轴(LA)设置在所述投影装置(1)下游的至少一个膜片(2),其中,在所述至少一个膜片(2)上至少局部地分布有微结构(3),所述微结构(3...
  • 本发明公开了一种用于三色激光投影的照明系统,涉及激光投影照明技术领域,包括光学支架,光学支架上设置有三色激光光源模块、光束整形模块、振动消散斑装置、匀光模块、中继输出模块、TIR全反射棱镜和DMD芯片,本发明通过振动消散斑装置与三色激光的光...
  • 本发明属于光学系统技术领域,公开了一种光源系统,包括第一光源组件,在该光源组件中,第一发光单元和第二发光单元的出光方向垂直,使得光谱合光的部分相较于出光方向平行的方案相靠更近,从而在合光元件一上形成的镀膜亮边更小,由此采用偏振合光和光谱合光...
  • 本申请涉及显示技术领域,公开了一种光源系统及投影设备,光源系统中的分光合光元件在对基色光和受激发光进行合光时,将部分无法进入匀光元件作为光源系统的出射光的受激发光,通过光再利用组件反射到波长转换装置,经波长转换装置进行处理后再次射入分光合光...
  • 本申请涉及显示技术领域,公开了一种光源系统及投影设备,该光源系统中受激发光和第二光源组件出射的基色光合光后出射,可以减弱散斑、彩边重影,和色不均的问题;进而波长转换装置被激发时,会残留部分激发光,光再利用组件可以将残留激发光再射入波长转换装...
  • 本发明公开了一种微型投影系统及近眼显示设备,用于将被置于像源面的非自发光图像向投影面投影,包括:第一棱镜、第二棱镜和PBS棱镜;其中,照明光是线偏振光,照明光射入PBS棱镜,被偏振分光面反射后,经过第二棱镜进入第一棱镜,然后被第三面和第二面...
  • 本揭露提供一种用于车辆中的投影模块,投影模块包括隔板以及投影装置。隔板设置在车辆的前座和后座之间且包括基板以及设置在基板上的光学膜。光学膜具有反射轴向以及穿透轴向。入射光在反射轴向上具有第一反射率以及第一穿透率,且入射光在穿透轴向上具有第二...
  • 本申请涉及车灯,公开了一种车载投影镜头组件,包括芯片(1)、保护镜片(2)、棱镜(3)、透镜组(4)以及反射镜(5),所述透镜组(4)包括第一透镜(401)和第六透镜(406),所述第一透镜(401)的入光面和出光面均形成为球面面型,所述第...
  • 本申请公开了一种可调式检测灯箱,包括跨布于传输带的框型承载架,以及可活动地安装于框型承载架的视觉检测单元,视觉检测单元用于对传输带上的工件进行图像采集以实现检测;框型承载架由四个竖向支撑杆以及分别连接相邻两竖向支撑杆的第一伸缩连杆组件构成,...
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