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最新专利技术
  • 低重心高精度平台
    低重心高精度平台_苏州德龙激光股份有限公司_202511226321.8
    本发明涉及一种低重心高精度平台，包括基座，基座的侧边连接有直线导轨，基座的外侧上连接有与直线导轨平行设置的直线电机磁钢，直线导轨之间通过滑块滑动连接有滑板，滑板的端部连接有在直线电机磁钢内滑动的动子，直线电机磁钢的端部连接有吹气组件，基座上...
    2026-01-29
  • 一种基座缓冲结构及晶圆加工设备
    一种基座缓冲结构及晶圆加工设备_拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司_202511220070.2
    本申请涉及一种基座缓冲结构及晶圆加工设备，该基座缓冲结构包括：可移动组件、固定件以及缓冲件；所述可移动组件与所述基座的底部连接，用于带动所述基座上下移动；所述固定件用于固定所述缓冲件，所述缓冲件用于当所述基座向上移动时提供向上的缓冲力。从而...
    2026-01-29
  • 托盘治具
    托盘治具_京东方华灿光电(浙江)有限公司_202510985484.8
    本公开提供了一种托盘治具，属于半导体设备领域。所述托盘治具包括：托盘主体、多个立柱和多个限位柱；所述托盘主体的一面具有多个晶圆槽；每个所述晶圆槽内间隔设置有多个所述立柱，每个所述晶圆槽的边缘间隔设置有多个所述限位柱，所述限位柱的高度大于所述...
    2026-01-29
  • 升降机构、基板处理装置以及升降方法
    升降机构、基板处理装置以及升降方法_东京毅力科创株式会社_202510665424.8
    本发明涉及升降机构、基板处理装置以及升降方法，提供一种能够降低装置的高度的技术。本公开的一个技术方案的升降机构使将多张基板保持为搁板状的基板保持件升降，其中，该升降机构具有：支承部，其支承所述基板保持件；升降部，其与所述支承部连接，使所述支...
    2026-01-29
  • 升降机构、基板处理装置以及升降方法
    升降机构、基板处理装置以及升降方法_东京毅力科创株式会社_202510665423.3
    本发明涉及升降机构、基板处理装置以及升降方法，提供一种能够降低装置的高度的技术。本公开的一个技术方案的升降机构使将多张基板保持为搁板状的基板保持件升降，其中，该升降机构具有：支承部，其支承所述基板保持件；第1升降部，其与所述支承部连接，使所...
    2026-01-29
  • 一种晶圆吸附装置
    一种晶圆吸附装置_昂坤视觉(北京)科技有限公司_202511379275.5
    本发明提供一种晶圆吸附装置，涉及晶圆加工领域，晶圆吸附装置包括装置主体、设于装置主体上的吸附机构及设于装置主体上且连通吸附机构的管道机构；吸附机构包括基体及设于基体下方的背板组件，基体靠近背板组件的一侧、且由基体的中心向外间距设有多个同心腔...
    2026-01-29
  • 一种晶圆支撑平台及其晶圆吸附方法
    一种晶圆支撑平台及其晶圆吸附方法_广东华矽半导体设备有限公司_202511226213.0
    本发明涉及一种晶圆支撑平台及其晶圆吸附方法，其中，晶圆支撑平台包括展平机构和用于对晶圆提供支撑的真空吸附台，所述真空吸附台通过真空泵提供真空吸附力；所述展平机构用于对所述真空吸附台上的晶圆进行展平处理。本发明通过在真空吸附台上增设展平机构，...
    2026-01-29
  • 载置台和基板处理装置
    载置台和基板处理装置_东京毅力科创株式会社_202511222997.X
    本发明提供一种载置台和基板处理装置，能够控制载置台内的流路中的除热均匀性。在静电吸盘上载置基板的载置台具有：基台；所述静电吸盘，其被载置于所述基台的载置面；以及流路，其沿所述载置面形成于所述载置台的内部，用于使热交换介质从热交换介质的供给口...
    2026-01-29
  • 一种用于SiC晶圆快速退火的载片晶圆、制备方法及应用
    一种用于SiC晶圆快速退火的载片晶圆、制备方法及应用_西安微电子技术研究所_202511210096.9
    本发明属于半导体器件制作工艺技术领域，涉及一种用于SiC晶圆快速退火的载片晶圆、制备方法及应用，包括在第一硅晶圆及第二硅晶圆上沉积二氧化硅膜层，形成刻蚀掩蔽层；移除所述第二硅晶圆，对所述第一硅晶圆进行干法刻蚀，在其表面形成与所述第二硅晶圆相...
    2026-01-29
  • 一种薄膜件装夹装置和方法
    一种薄膜件装夹装置和方法_武汉凌云光电科技有限责任公司_202511015057.3
    本发明提供一种薄膜件装夹装置和方法，包括用于张拉薄膜件的张拉机构，以及用于支撑或者吸附薄膜件的支撑吸附机构，所述张拉机构张拉薄膜件时，所述薄膜件由所述支撑吸附机构支撑，所述张拉机构张拉薄膜件结束后，所述支撑吸附机构吸附所述薄膜件。本发明可以...
    2026-01-29
  • 基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法
    基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法_细美事有限公司_202510410004.5
    本发明提供一种基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法，所述基板处理装置能够使用临时粘接材料来转移对象，可以包括：移送台，一侧面形成有容纳所述对象的容纳槽部，以便移送对象；以及粘接材料供给管线，形成于所述移送台上，将所述临时粘接材料供给至...
    2026-01-29
  • 元件的转移方法及系统、电子基板的制作方法、发光基板
    元件的转移方法及系统、电子基板的制作方法、发光基板_合肥京东方星宇科技有限公司_202410704550.5
    本公开涉及显示技术领域，具体涉及一种电子元件的转移方法及系统、电子基板的制作方法、发光基板。本公开提供的一种电子元件的转移方法，包括：执行第一次转移，将M个第一电子元件从第一基板转移到第二基板；获得经过第一次转移后的第二基板的第一形貌信息，...
    2026-01-29
  • 一种用于晶圆测量的位姿调节装置
    一种用于晶圆测量的位姿调节装置_杭州昂坤半导体设备有限公司_202511612918.6
    本发明公开了一种用于晶圆测量的位姿调节装置，该装置用于对夹持有目标晶圆的治具进行调节，包括：第一支撑机构，包括第一V型结构件，用于对第一定位件进行定位与支撑，以确定半封闭治具的基准点；第二支撑机构，包括第一导向件及滑设于第一导向件内的第二V...
    2026-01-29
  • 一种龙门纠偏视觉引导定位方法、装置及存储介质
    一种龙门纠偏视觉引导定位方法、装置及存储介质_福建省金石能源股份有限公司_202511215252.0
    本发明公开了一种龙门纠偏视觉引导定位方法、装置及存储介质，包括：步骤1：龙门纠偏机构反示教，包括：获取龙门纠偏机构上吸盘吸持硅片的标准位置，通过取料反过程获取龙门纠偏机构对不同踏步带的取料坐标，同时通过相机分别拍摄龙门纠偏轴执行多组平移和多...
    2026-01-29
  • 变刚度柔性结构及用于Micro LED灯板的线路板的微纳米定位平台
    变刚度柔性结构及用于Micro LED灯板的线路板的微纳米定位平台_惠州市广工大物联网协同创新研究院有限公司_202511215236.1
    本公开提供一种变刚度柔性结构及用于Micro LED灯板的线路板的微纳米定位平台。上述的变刚度柔性结构包括外框体、内框铰链组件及多个柔性连接铰链组件；外框体开设有容纳腔，容纳腔的内壁凸设有多个安装部，多个安装部间隔设置，每一安装部用于与运动...
    2026-01-29
  • 具有清洗机械臂功能的基板存储装置及基板存储清洗方法
    具有清洗机械臂功能的基板存储装置及基板存储清洗方法_江苏亚电科技股份有限公司_202511427598.7
    本申请涉及一种具有清洗机械臂功能的基板存储装置，包括底座、升降机构，固定板、清洗槽和基板支撑座，基板支撑座用于支撑基板，清洗槽受升降机构的驱动而升降，从而在清洗位置对机械臂进行清洗，在避让位置对机械臂的运行进行避让，不阻碍机械臂完成基板的取...
    2026-01-29
  • 一种料盒提升机构
    一种料盒提升机构_南京卓胜自动化设备有限公司_202511417483.X
    本发明涉及一种料盒提升机构，包括主体组件、转移组件、触动机构和闸刀机构，主体组件包括结构架、长板、L形抬升架、驱动机构和链条，结构架的顶端和底端都转动连接有两个对称配置的驱动机构，驱动机构包括传动轴一、大齿轮和牙盘，每个传动轴一上都设置有两...
    2026-01-29
  • 一种晶圆检测自动上料装置
    一种晶圆检测自动上料装置_江苏晋誉达半导体股份有限公司_202511272667.1
    本发明公开了一种晶圆检测自动上料装置，包括载台，载台的一端设有沿Z轴设置的升降机构，升降机构上定位有料仓，载台上设有沿X轴滑动设置的取料机构；还包括固定座，固定座上沿Y轴滑动安装有滑座，滑座上沿X轴滑动安装有载台，滑座和载台的滑动均由集成式...
    2026-01-29
  • 晶环供料装置及方法
    晶环供料装置及方法_深圳新益昌科技股份有限公司_202511235051.7
    本发明适用于半导体生产技术领域，提供了一种晶环供料装置及供料方法，上述晶环供料装置包括料仓、运送机构以及换环机构。料仓具有多个沿第一方向依次间隔设置的支撑结构。运送机构包括调节组件与取料组件，取料组件用于与晶环相互作用，以使晶环可与取料组件...
    2026-01-29
  • 用于同时的基板传送的机器人
    用于同时的基板传送的机器人_应用材料公司_202511226942.6
    示例性基板处理系统可包括传送区域壳体，所述传送区域壳体界定与多个处理区域流体耦接的传送区域。传送区域壳体的侧壁可界定用于提供和接收基板的可密封存取。系统可包括多个基板支撑件，所述多个基板支撑件设置在传送区域内。系统可还包括具有中央毂的传送设...
    2026-01-29
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