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一种高效双通道上料组合结构
本发明公开了一种高效双通道上料组合结构, 属于上料结构技术领域, 本发明包括并排安装在双层架的下层板上表面的两料盒, 安装在下层板下方的两顶料组件, 安装在双层架的上层板上表面的两导向组件、抓取组件、两检测组件以及进料机构。本发明通过在下层...
一种捞片机及其使用方法
本发明属于光伏技术领域, 公开了一种捞片机及其使用方法。捞片机包括依次顺序设置的接料输送机构、分料输送机构、料托翻转机构且设置在箱体内的底部, 捞片机还包括依次顺序设置在箱体上部的硅片侧夹对中机构、分片侧夹对中机构;接料输送机构、分料输送机...
一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置
本发明涉及半导体衬底输送装置技术领域, 具体地说, 涉及一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置, 其包括主体机构, 主体机构包括机架, 机架的外表面传动连接有输送链板, 机架的内壁固定安装有两个防护板, 机架的上方设置有链板清理机构;链板清...
一种自动搬运运输车
本申请实施例公开了一种自动搬运运输车, 包括:行走底座;车身, 安装于行走底座顶部, 车身上形成有至少一个贯通其第一侧面与第二侧面的安装腔;输送机构, 设于安装腔内, 并沿第一侧面向第二侧面的方向延伸, 输送机构被配置为承接从前道设备输送过...
一种改善高频的石墨舟
本发明涉及一种改善高频的石墨舟, 属于光伏电池生产设备领域, 包括;安装板, 整体为U形, 包括安装底板, 所示安装底板两端设有挡板, 所述安装底板上设有支撑板;支撑板通过柔性支撑结构安装在安装底板上, 支撑板用于放置舟片;安装片, 活动套...
一种晶圆片盒压料设备
本发明涉及晶圆片加工技术领域, 且公开了一种晶圆片盒压料设备, 包括桌体, 还包括:框体安装在桌体的顶部, 水槽设置在桌体上, 用于存放纯水, 压料机构设置在桌体的顶部, 用于将晶圆片盒压入纯水中, 防护机构设置在水槽的内部, 用于对晶圆片...
晶圆容器、晶圆容器的顶盖及晶圆容器管理方法
一种晶圆容器管理方法, 用以在设施中管理多个晶圆容器, 并包含:运用悬挂式搬运系统来运送晶圆容器, 其中悬挂式搬运系统包含载具, 载具包含抓取装置, 其中每个晶圆容器包含上凸缘, 抓取装置配置以抓取上凸缘;将每个晶圆容器分类至可安全使用群组...
晶圆减薄片去胶基座及半导体设备
本发明提供了一种晶圆减薄片去胶基座及半导体设备, 所述晶圆减薄片去胶基座包括支撑单元、压力单元以及升降单元, 所述压力单元设置于所述支撑单元的上方, 所述升降单元与所述支撑单元的底面或侧面固定连接, 用于支撑所述压力单元在竖直方向上移动, ...
一种半导体基板慢排液系统、处理设备及慢排液控制方法
本发明涉及半导体湿法制程设备技术领域, 尤其是涉及一种半导体基板慢排液系统、处理设备及慢排液控制方法。本发明提供的半导体基板慢排液系统包括:干燥容器、连接于干燥容器的清洗液进出管路系统和液位计;干燥容器包括内容器和外容器;液位计设置于内容器...
一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备
本发明公开了一种具有流速调控功能的晶圆清洗设备, 涉及清洗设备技术领域, 清洗设备包括超声波强酸清洗机构、循环水路清洗机构、干燥清洗机构、温控机构和清洗机体, 超声波强酸清洗机构和清洗机体紧固连接, 循环水路清洗机构和清洗机体紧固连接, 干...
一种石英半导体封装装置及使用方法
本发明公开了一种石英半导体封装装置及使用方法, 涉及石英半导体封装技术领域, 包括:工作台, 所述工作台的一侧安装有伸缩缸, 所述伸缩缸的执行端贯穿至所述工作台的下方固定连接有上模具, 所述工作台的内侧底部安装有下模具, 且所述下模具设置在...
一种手机生产用芯片贴装设备
本发明涉及贴片机领域, 且公开了一种手机生产用芯片贴装设备, 包括主体, 通过导轨以及安装组件设置在主体上的吸头组件, 所述主体的上方设置有塑性组件, 所述塑性组件与吸头组件设置在同一工作区域内, 所述塑性组件在吸头组件取料与校对元件时不与...
加热装置和加热盘
本发明提供了一种加热盘和加热装置。所述加热盘包括:加热丝层和热管层, 所述加热丝层和所述热管层分层分布。所述热管层具有按第一规则排布的自均匀温度的热管, 所述热管包括工作液, 所述工作液通过相变进行传热。所述加热丝层具有按第二规律排布的加热...
一种气液混合吹扫单片清洗装置
本发明涉及半导体技术领域, 尤其涉及一种气液混合吹扫单片清洗装置。它包括U形安装主体, 所述U形安装主体内底面上设置有升降托料组件, 所述U形安装主体一侧内壁上设置有固定组件, 所述U形安装主体同一侧的外壁上设置有气液混合组件, 所述U形安...
一种用于半导体清洗干燥的一体化设备
本发明涉及一种用于半导体清洗干燥的一体化设备。包括支撑架、用于放置晶圆的支撑装置、用于驱动支撑装置升降的第一驱动装置、用于驱动支撑装置水平滑移的滑移装置、用于清洗晶圆的清洗装置以及用于干燥晶圆的烘干装置;滑移装置设置在支撑架顶端;第一驱动装...
一种层压机冷却腔冷却系统
本发明公开了一种层压机冷却腔冷却系统, 涉及太阳能电池组件层压技术领域, 设于层压机加热层压后的冷却工序, 包括传动机架和制冷模组, 传动机架上设有循环传动的高温布, 用于实现对层压后的太阳能电池组件进行输送;制冷模组安装在传动机架上, 且...
一种半导体用多温区加热盘
本发明公开了一种半导体用多温区加热盘, 涉及加热盘技术领域, 该加热盘包括上盘以及设置在上盘下端的下盘, 所述下盘下端中部固定有热台立筒;所述上盘包括边框以及若干设置在边框内部的加热区域板。本发明每个加热区域板通过独立加热件和隔热结构实现温...
一种晶圆蚀刻辅助装置
本申请涉及晶圆蚀刻技术领域, 且公开了一种晶圆蚀刻辅助装置, 包括壳体, 壳体的底部固定连接有接口, 壳体的内部固定安装有控制器, 控制器的内部固定安装有控制阀, 壳体的上表面固定连接有底座, 底座的上表面固定连接有卡板, 卡板的下表面固定...
一种气体分配盘及其加工方法
本发明提供了一种气体分配盘及其加工方法。所述加工方法包括如下步骤:(1)热处理金属坯料, 而后进行切削处理, 得到气体分配盘坯件;(2)对步骤(1)所述气体分配盘坯件进行开设分配孔, 采用全周夹具固定后, 进行机械加工, 得到所述气体分配盘...
炉管设备及获取晶圆厚度的检测方法
一种炉管设备及获取晶圆厚度的检测方法, 设备包括:底座;晶舟, 承载于所述底座的上方, 且所述晶舟用于承载晶圆;量测感应件, 附着于所述晶舟的表面, 且所述量测感应件适于发出不同波长的光来获取晶圆的厚度。通过在炉管设备的晶舟上设置量测感应件...
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