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  • 本发明涉及气体供给部、处理装置、气体供给方法及半导体器件的制造方法。课题是提供能够使气体在衬底间均等地流动的技术。解决手段具有:供气体流动的流路;设置在与所述流路交叉的方向上、向处理室供给所述气体的多个开口部;和流动变化部,其以遮挡所述流路...
  • 本发明涉及一种用于在CVD反应器的至少一个基材上沉积二维的层的方法,借助输入管路将工艺气体馈送到进气机构的气体分配室中,进气机构具有第一气体分配室和至少一个第二气体分配室,并且通过加热装置使基材达到过程温度。在第一步骤中将惰性气体或者稀释气...
  • 本发明公开了一种边缘钝化反应设备,包括内部设有反应炉管的炉体;所述反应炉管的两端分别设有进气口和抽气口,所述反应炉管上方设有喷淋板,且喷淋板与进气口连通,以实现工艺气体经喷淋板匀流扩散后再分布至反应炉管内;所述反应炉管内部设有放电部件,所述...
  • 本申请公开了一种薄膜沉积设备,涉及半导体工艺设备领域。薄膜沉积设备包括炉体和加热组件,炉体包括围成反应腔的侧壁,加热组件用于对反应腔进行加热,炉体还包括沿侧壁设置的进气通道和排气通道。进气通道具有进气入口和多个进气出口,进气入口与炉体外连通...
  • 本申请涉及气相沉积设备技术领域,且公开了一种碳化硅涂层石墨载盘支撑装置,包括承载台,所述承载台的顶部设置有调节盘,所述调节盘的底部转动设置有转动盘,所述转动盘与调节盘均为石墨盘,所述转动盘的顶部开设有若干个一号定位槽,所述调节盘的靠外侧处开...
  • 本发明公开了一种适用于半导体加工的化学气相沉积设备,涉及半导体加工技术领域。该种适用于半导体加工的化学气相沉积设备,包括底座,所述底座的上表面设置有支撑组件,支撑组件的顶部设置有调节组件,调节组件的顶部设置有沉积组件,沉积组件的顶部设置有限...
  • 本发明公开了一种微波等离子体金刚石膜沉积装置,涉及金刚石膜沉积技术领域,包括工作台,所述工作台的表面设置有上下布置的等离子体放电室和工作室,所述工作室的内部横向布置有样品台,所述样品台的表面处设置有样品升降组件,所述样品升降组件包括固定套;...
  • 本公开提供一种相邻膜、成膜方法以及成膜装置,使氧化物半导体的特性稳定。一种相邻膜,是在高密度等离子体处理装置中进行在基板上沉积包含硅原子的膜的沉积处理并在所述沉积处理后进行后处理而形成的氧化物半导体的相邻膜,所述沉积处理包括利用第一处理气体...
  • 本申请提供一种MPCVD微波单晶生长压力控制装置及设有该压力控制装置的生长设备,包括炉体和真空泵,其特征在于,在炉体和真空泵之间设有过滤器,且在所述过滤器的两端构置有两条用于连通所述炉体与所述真空泵的旁侧管道,且两条所述旁侧管道的进气口和出...
  • 本发明公开一种用于纤维材料表面连续功能化改性的原子层沉积反应器及制备系统,涉及原子层沉积设备技术领域,包括总腔室,总腔室内,沿碳纤维传输方向依次串联设置有第一鸭嘴式低压腔室、半循环反应腔A、第二鸭嘴式低压腔室、第三鸭嘴式低压腔室、半循环反应...
  • 本发明公开了一种抽油泵其泵筒的化学镀生产线,涉及化学镀技术领域,包括由上游至下游依次设置的除油区、除锈区、加热区和施镀区,以及在各区之间对泵筒进行搬运的搬运装置,除油区设置有用于对泵筒进行除油的除油槽,除锈区设置有用于对除油后的泵筒进行除锈...
  • 本发明涉及光伏技术领域,且公开了一种光伏用导电银包铜微粉及其制备方法,该制备方法旨在解决现有银包铜微粉在光伏应用中性能与成本难以兼顾的问题,本发明中,预处理阶段,基体铜粉酸洗后不水洗,经pH调节、有机预成键处理及梯度氨化,保留铜粉活性并构建...
  • 本发明公开了一种无磁化学镀镍溶液及沉积工艺,涉及到金属表面镀层处理的技术领域。一种无磁化学镀镍溶液,包括水溶性镍盐、还原剂、复合络合剂、稳定剂、缓冲剂、光亮剂、其余为水,其中水溶性镍盐选用硫酸镍、醋酸镍和氨基磺酸镍中的至少一种,还原剂包括次...
  • 本发明属于低温导电银浆技术领域,具体公开一种高导电高包覆银包铜粉的制备方法,先通过前处理去除铜粉表面的有机物、油脂及氧化层,用水清洗后得到表面干净的铜粉,然后经过化镀和后处理,使得银层有效的包裹于待处理的铜粉表面,增强银层与铜层间的界面结合...
  • 本发明公开了一种用于生物可降解锌‑镁‑银‑钛合金的表面处理方法及其具有磷酸锌Hopeite转化膜的锌‑镁‑银‑钛合金材料。本发明通过磷酸溶液和硝酸盐溶液配制转化液,再使用化学转化法在锌‑镁‑银‑钛合金表面制备磷酸锌Hopeite转化膜,在锌...
  • 本发明属于发动机缸体技术领域,具体涉及一种汽车发动机缸体表面处理工艺,包括如下步骤:脱脂除油处理、酸洗、磷化处理、缸孔表面处理、水套/油道内壁处理、法兰密封面处理、外表面处理、质量检测。本发明首先通过磷化处理在发动机缸体表面形成磷化膜,磷化...
  • 本申请涉及一种耐候钢锈层稳定化处理溶液及使用方法,属于钢铁材料防腐蚀技术领域。以质量分数计,所述耐候钢锈层稳定化处理溶液的成分为:H22O22:40%~60%,CH33COOH:10%~30%,NaCl:0.5%~1%,以及溶剂水。H22O...
  • 本发明涉及一种降低热镀锌耐指纹钢板动摩擦系数的方法,属于镀锌板加工的技术领域。所述方法包括如下操作:(1)钢板表面进行耐指纹钝化处理,控制钝化膜厚度在1.1~1.3 g/m22;钝化处理使用无铬钝化剂;(2)钢板镀锌生产时,控制光整工作辊粗...
  • 本发明公开了一种不锈钢管及钝化处理方法,该不锈钢管网络钝化膜厚度60‑180 nm、孔隙率<3%、划痕临界载荷≥30mN。该工艺为采用超临界CO22辅助涂覆—低温致密化—羟基封闭改性一体化路线。制备获得的不锈钢管成膜均匀,膜层无裂纹、无晶化...
  • 本发明公开了一种铜材室温钝化处理方法及得到的耐腐蚀铜材,该铜材室温钝化处理方法具体步骤如下:1)铜材的表面净化处理;2)将表面洁净的铜材浸入正十二硫醇的乙醇溶液中,室温静置使铜材表面形成自组装单层膜;3)将2‑巯基苯并咪唑溶于乙醇得到2‑巯...
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