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  • 本申请涉及晶圆平坦化技术领域,提供一种晶圆平坦化方法及晶圆平坦化系统。晶圆平坦化方法包括:在晶圆的平坦化研磨过程中,实时同步进行以下步骤:采用SLD光源,使用低相干干涉技术照射研磨中的晶圆,接收晶圆的上表面的反射光和下表面的反射光,获得干涉...
  • 本发明涉及新能源材料加工技术领域,具体涉及一种新能源材料加工用化学机械抛光装置,包括箱体,包括,上料单元,包括设置于箱体上的上料机构,以及设置于上料机构上用于固定并带动工件旋转的承载机构,抛光单元、包括设置于箱体上的抛光机构;通过优化压力控...
  • 本申请实施例提供了抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法。该抛光头组件包括:刚性基座;弹性承载件,设置于所述刚性基座的一侧,所述弹性承载件具有背离所述刚性基座且用于承载晶圆的承载面;厚度检测组件,设置于所述刚性基座上,且位于所述弹性承...
  • 本申请实施例提供一种晶圆研磨设备及晶圆研磨方法,所述晶圆研磨设备包括:晶圆夹取装置,用于夹取待研磨晶圆至预定工作位置,且预定工作模式下所述晶圆夹取装置绕轴线旋转;基础研磨垫,位于所述预定工作位置的侧面,所述基础研磨垫与预定工作位置的预定工作...
  • 本申请公开了一种油压驱动珩磨头的压力自适应调控方法,其涉及珩磨头压力控制评估技术领域,通过集成多源传感器数据,包括珩磨头振动振幅、油压系统压力波动频率以及主轴电机负载电流,综合计算珩磨状态指数,从而精准评估加工状态。技术效果体现在能够自动识...
  • 本发明涉及丸粒干燥抛光技术领域,尤其涉及一种用于丸粒化种子的智能干燥抛光系统;该系统包括转动模块、第一图像采集模块、干燥阶段识别模块、第二图像采集模块以及参数优化模块。本发明通过在干燥阶段捕捉丸粒表面图像,实现对干燥进程的实时、无损监测,通...
  • 本申请提供一种磁抛光装置及方法,该磁抛光装置用于对至少一个待抛光工件进行抛光,该磁抛光装置包括抛光腔室、磁组件以及多个夹具;抛光腔室用于盛放抛光液;磁组件设置在抛光腔室的外壁上,并被配置为可绕着抛光腔室的外壁周向运动,以带动抛光液;夹具具有...
  • 本发明涉及金属资源循环利用技术领域,具体的是一种金属制品生产加工用废料回收处理设备及处理方法,包括处理桶,处理桶两侧设有对其进行滑动托放的支撑架,处理桶中部转动安装中心杆,处理桶两侧设有与支撑架连接的驱动单元,本发明通过驱动单元带动中心杆环...
  • 本发明公开了提升齿面接触疲劳强度的金属加工制造用锻压装置,涉及金属锻压及抛光技术领域。该提升齿面接触疲劳强度的金属加工制造用锻压装置,包括箱体,箱体的后侧顶部设置有支撑架,箱体的内部活动连接有旋转驱动设备;支撑架的顶部固定连接有电动推杆,电...
  • 本发明涉及抛光设备技术领域,具体的说是筒形工件内外壁抛光装置,包括工作台、驱动组件、上料组件、下料组件、内抛组件与外抛组件;通过上料组件与驱动组件联动,实现了筒形工件的自动上料与精确定位,压轮随转架摆动压紧工件,第一挡条与第二挡条的开合以放...
  • 本发明涉及抛光技术领域,且公开了一种高精度镜面辊的抛光装置,包括抛光机和壳体,壳体外侧安装有电机,电机的输出轴设置有第一齿轮,壳体侧部滑动设置有连接板,连接板外侧安装有固定杆,固定杆端部转动安装有第二齿轮,第二齿轮中部插设有第一转轴,第一转...
  • 本发明涉及碳化硅晶片抛光技术领域,且公开了一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法,包括控制柜,所述控制柜的表面固定连接有透明玻璃,所述控制柜的表面铰接有柜门,所述控制柜的下表面连通有排放阀,所述控制柜的内部设置有固定部件;所述固定部件包括精密...
  • 本发明公开了一种连续式拨叉槽抛光装置,涉及拨叉加工技术领域,包括切换转盘和固定部件,所述切换转盘上端阵列设有若干个固定部件,所述操作台上端设有抛光部件和下料部件,所述固定部件包括承载座,所述承载座底端固定设有铰接座,所述承载座上端设有夹持机...
  • 本申请公开了一种碳化硅晶棒的切割方法,包括:提供待切割晶棒,晶棒具有一沿轴向延伸的圆弧形外周面;确定晶棒在切割方向上的入刀顶点,并在入刀顶点处粘接牺牲组件,牺牲组件覆盖入刀顶点并沿晶棒的轴向延伸,粘接剂形成刚性粘接胶层,控制切割线网沿垂直于...
  • 本发明涉及建筑钢管除锈技术领域,具体公开了一种建筑钢管用自动打磨除锈装置,包括直接置于地面使用的底箱和设置在底箱顶部的打磨箱,打磨箱的内部穿过钢管进行打磨使用;所述打磨箱包括自前端向后端设置的前驱箱、前磨箱和后磨箱,所述前驱箱、前磨箱和后磨...
  • 本发明公开了一种废料金属的表面打磨装置,涉及金属打磨领域,包括打磨底座和打磨机构,所述打磨机构设置在打磨底座的上方,所述打磨底座的顶面开设有矩形打磨槽,所述打磨底座内开设有安装腔,所述矩形打磨槽连通安装腔,且所述矩形打磨槽位于安装腔的内圈,...
  • 本发明提出了一种电磨装置及控制方法,涉及电动工具技术领域。一种电磨装置,包括主机和电磨本体,主机上设置有软轴,电磨本体上设置有传动轴,传动轴与软轴连接,电磨本体还包括:壳体;转子,转子套设于传动轴上;电磁线圈,电磁线圈设置于壳体上;电路板,...
  • 本发明涉及钢材打磨技术领域,尤其涉及一种用于钢材的打磨设备及打磨方法。其技术方案包括输料机构,设有进料段,所述进料段通过打磨段与出料段连接。本发明利用输料机构、打磨机构、横向送料限位机构、纵向限位机构、推送机构等结构的配合,首先通过定位筒实...
  • 本发明提供一种晶硅片多工序抛光设备及方法,涉及晶硅片加工技术领域。该晶硅片多工序抛光设备,包括机架壳体,所述机架壳体内侧设置有传送机构,机架壳体内侧设置有矫正机构,矫正机构设置在传送机构的上表面,矫正机构上方设置有跃迁搬运机构,机架壳体内侧...
  • 本发明提供一种铝型材打磨设备,涉及机械设备技术领域,包括砂磨组件,所述砂磨组件设置有砂带安装基座,砂带安装基座上端连接砂带驱动电机,砂带驱动电机连接驱动主轮;所述分叉架体中部的两侧分别设置有砂带下压部件以及震动打磨部件,砂带下压部件用于在驱...
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