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  • 本发明属于芯片散热领域,尤其涉及一种压电降膜循环散热装置,包括密闭空腔,在密闭空腔的外侧设置有取热面,在密闭空腔的内侧设置有降膜蒸发沸腾面、液体工质、压电泵、液顶盒及冷凝面,降膜蒸发沸腾面为金属多孔结构;液体工质在密闭空腔内形成液池,压电泵...
  • 一种半导体封装组件,包括:半导体封装,包括:基板;安装在基板上的半导体裸片;互连块对,安装在基板上并位于半导体裸片的相对侧处;以及密封剂层,形成于基板上以密封半导体裸片和互连块对,互连块对具有暴露于密封剂层的相应顶面,并且半导体裸片的顶面暴...
  • 本发明揭示一种半导体装置封装。该半导体装置封装包括堆叠结构,该结构包括多个相对于彼此垂直堆叠的电子部件。该等多个电子部件的每一者均设置成在垂直方向上提供电连接。第一导热元件围绕该堆叠结构的侧表面,并且热耦合到该等多个电子部件的至少一者的一侧...
  • 本申请涉及半导体技术领域,公开了一种熔丝结构及其制备方法、半导体器件和集成电路,该熔丝结构包括:衬底;位于衬底上的熔丝体;其中,熔丝体的材质为多晶硅材质;刻蚀停止层;其中,刻蚀停止层覆盖在熔丝体的正上方,且刻蚀停止层的厚度为35埃至65埃;...
  • 本发明涉及一种熔丝互连结构、半导体元件和熔丝最佳烧调条件测试方法。所述熔丝互连结构包括:衬底、N条熔丝、N个测试引脚、N个隔离层和N层连接线。其中,第1隔离层覆盖在所述衬底表面,所述N层连接线位于所述第1隔离层上,每两层连接线之间通过隔离层...
  • 本公开提供一种半导体元件及其制备方法。该半导体元件包括一熔丝金属、一掺杂结构、一第一介电层、一第二介电层以及二掺杂部。该第一介电层沿着一第一方向延伸且设置在该熔丝金属上方。该第一介电层包括用于容纳该熔丝金属的一第一凹陷结构。该掺杂结构形成在...
  • 本发明公开了一种半导体结构及其制备方法。半导体结构包括:有源层和位于所述有源层上的多层布线层;所述多层布线层包括叠设的底层布线层和高层布线层,所述底层布线层位于所述高层布线层与所述有源层之间;所述半导体结构的核心线路设置于所述高层布线层;其...
  • 一种集成电路芯片、集成电路芯片的制备方法以及电子装置。该集成电路芯片包括:衬底层、第一功能层、第二功能层和芯片电压端口,其中,衬底层、第一功能层以及第二功能层至少部分层叠,第一功能层设置在衬底层的上方,第二功能层设置在第一功能层远离衬底层的...
  • 本公开涉及一种包括锥形间隔件的半导体器件及其制造方法。半导体器件包括:导线接触插塞和导电图案,它们在第一方向上彼此间隔开;导线,其设置在导线接触插塞之上,并在垂直于第一方向的第二方向上延伸;以及间隔结构,其配置为接触导线的侧壁和导线接触插塞...
  • 一种集成电路,包括:绝缘层;第一导电层,在绝缘层中沿第一方向延伸;第二导电层,在绝缘层中沿第一方向延伸;第三导电层,在绝缘层中沿第一方向延伸;第一标准单元,在绝缘层中,包括第一单元边界;以及第二标准单元,其中,第一导电层在第一方向上与第一单...
  • 一种半导体装置,包含主动层、源极电极与漏极电极、源极金属层、漏极金属层以及源极垫。主动层包含主动区。源极电极与漏极电极设置于主动层的主动区上且延伸于第一方向。源极金属层设置于主动区且电性连接至源极电极,其中源极金属层延伸于第二方向并在俯视图...
  • 本申请提供一种金属导线的形成方法及半导体结构,半导体结构包括层叠的第二介电层和第一介电层,第一介电层包括多孔材料,第二介电层中具有金属层,第一介电层中具有多个通孔,金属层的表面暴露在通孔的底部;至少在通孔的侧壁上形成保护层;保护层的材料包括...
  • 本申请公开一种导电结构及其制备方法。该导电结构包括一第一支撑层、一第二支撑层、一第一电极层、一中间介电层及一第二电极层。该第二支撑层配置于该第一支撑层上,并与该第一支撑层间隔开。该第一电极层包括一第一部分。该第一部分包括一第一区域及一第二区...
  • 本发明涉及一种长距离跨度空气桥制程方法,所述制程方法包括在衬底材料上沉积第一光阻层,并进行曝光/显影,采用湿法蚀刻衬底材料,在衬底材料上形成第一台面,去除第一光阻层;按照同样操作,继续涂布第二光阻层至第n台面;在第n台面的外侧涂布第n+1光...
  • 本发明涉及一种通过牺牲层实现三维堆叠芯片连接的方法,包括:提供至少两层待堆叠的多层芯片,每层芯片包括功能结构、第一易结合层和/或第二易结合层;其中,至少一层芯片还包括牺牲层和连接孔;将多层芯片按功能要求对准、堆叠并键合,形成堆叠芯片;采用第...
  • 本发明提供一种半导体器件及其制造方法,所述半导体器件包括:SOI衬底,包括自下向上堆叠的下层衬底、绝缘埋层和半导体层;第一通孔结构,填充所述SOI衬底中的第一通孔,所述第一通孔贯穿所述SOI衬底,所述第一通孔结构包括衬垫结构和金属层,所述衬...
  • 本申请提供一种芯片封装单元、堆叠封装及电子设备,涉及芯片领域。该芯片封装单元中包括堆叠设置的第一芯片和第二芯片、重布线层、垂直互连结构;垂直互连结构设置在第一芯片和第二芯片的侧面,重布线层设置在一个芯片的有源面一侧、并与有源面连接;或者,重...
  • 一种半导体器件及其制备方法,涉及半导体技术领域。该方法包括:提供表面有介质层的衬底,第一区域衬底上的介质层内有第一金属层,第二区域衬底上的介质层内有第二金属层,第一金属层顶面的介质层厚度大于第二金属层顶面的介质层厚度;通过图形化工艺在介质层...
  • 本申请涉及一种晶圆衬底的高铜柱加工方法、系统、终端及存储介质,涉及芯片加工领域,其方法包括:在晶圆上涂覆第一光刻胶层;在第一光刻胶层的铜柱位置形成第一开口;通过电镀工艺,在第一开口内形成第一层铜柱;去除第一光刻胶层;在晶圆上形成塑封层,使塑...
  • 本发明公开了半导体器件的制造方法及半导体器件,包括:提供基体,其中,基体包括半导体衬底和形成在半导体衬底的第一表面上的栅极结构,半导体衬底中形成有引出区和浅沟槽隔离结构,引出区包括第一引出区和第二引出区中的至少之一,第一引出区位于栅极结构与...
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