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  • 本发明提供了一种阀及一种半导体加工设备。所述阀包括气体解离通道、金属网及阀板。所述气体解离通道的第一端连接等离子体源,而其第二端连接抽气泵。所述金属网嵌套于所述气体解离通道内部,并连接外部电源,以增强所述等离子体源输出的等离子体的激发度。所...
  • 本发明公开了一种新型可互换的三偏心蝶阀,包括:阀体,为该三偏心蝶阀的本体结构;阀座,为环状构件,该阀座的外环面设置于所述阀体的内壁;阀杆,其转动地穿设于阀座的轴孔中,该阀杆的一端连接动力装置,以通过动力装置驱动阀杆转动;蝶板,设置在所述阀座...
  • 本发明涉及一种防阀杆飞出的蝶阀,包括阀体,还包括:蝶板,设置在阀体内;防飞出机构,开设于蝶板顶部,防飞出机构包括插槽,插槽开设于蝶板顶部,插槽内部插入有阀杆,阀杆内部开设有空腔,阀杆两侧顶部均贯穿有压块,压块位于空腔内的一端固定有凹型板,且...
  • 本发明公开了一种控制精度高的蝶阀,旨在解决当前不方便精确控制阀体开启量的技术问题,其结构一种控制精度高的蝶阀,包括阀体,所述阀体的中部竖直转动连接有阀芯,所述阀芯的下端贯穿蝶板的中部并与蝶板固定连接,还包括控制机构、限位机构和手动机构。本发...
  • 本发明涉及阀门技术领域,公开了一种用于浆料介质的耐磨蚀截止阀,包括截止管道,截止管道的两端分别固定连通有进料管和出料管,截止管道的上方固定安装有龙门架,龙门架的内壁螺纹连接有螺纹杆,螺纹杆的顶部固定连接有转动盘,螺纹杆的底部固定连接有阀芯块...
  • 本发明涉及真空破坏阀技术领域,具体涉及一种抵消负压的失电安全智能真空破坏阀:包括阀体、阀门、阀门座、活塞机构、拉弹簧、驱动机构和智能控制单元,通过活塞机构的气压平衡设计,使流道负压作用在阀门上的力被活塞组上的反向气压力有效抵消,从而大幅降低...
  • 本发明公开了一种高温粉体切断阀,包括阀体组件、阀芯、连接法兰和动力源,阀体组件包括弧形的第一阀体,以及连通第一阀体的第二阀体,第一阀体包括进料口和出料口,第二阀体为直管段阀体并与出料口同轴;阀芯设置于第一阀体内,其最大直径小于第一阀体的直径...
  • 本发明公开了一种用于船舶艉轴密封装置的空气密封系统,涉及船舶艉轴密封技术领域,包括包括轴管本体,轴管本体的端部安装有密封结构,密封结构的进气端安装有入口压力传感器,入口压力传感器通过管道安装有控制机构,轴管本体的尾端安装有前置油箱机构,控制...
  • 本发明公开了高温双端面搅拌干气密封装置,包括轴件,轴件上固定密封套装有轴套,位于轴套朝向介质侧端头外部的轴件上间隔套设有冷却水箱;轴套外侧套设有静环座,静环座与冷却水箱之间共同安装有密封箱体,位于密封箱体内侧的轴套上安装有动静环密封组件;冷...
  • 本申请提供一种纯碱煅烧炉机械密封环,其是由多块密封环片组装形成的圆环体,单个密封环片整体呈弧形且两端均形成凹凸部,密封环片通过凹凸部进行拼接,凹凸部包括连接凹槽和连接凸块,布置于密封环片两端的连接凹槽和连接凸块呈前后交叉设置,密封环片上开有...
  • 本发明提供一种双端面机械密封装置,所述双端面机械密封装置包括壳体、转轴、冷却系统、调节系统,转轴可转动地设在壳体内,壳体包括第一密封腔和第二密封腔,第一密封腔与储液箱连通,冷却系统包括设于壳体外的冷却器,冷却器与储液箱连通,隔断系统与第二密...
  • 本发明提供一种串联式双端面机械密封装置,所述串联式双端面机械密封装置包括壳体、转轴、冷却系统、调节系统,转轴可转动地设在壳体内,壳体包括第一密封腔和第二密封腔,第一密封腔与储液箱连通,冷却系统包括设于第二密封腔内的冷却器,冷却器与储液箱连通...
  • 本发明为解决现有的摆动油缸中对于转轴的动密封效果较差,容易发生内泄漏的问题;提供一种立体密封结构以及摆动油缸,其中立体密封结构,包括环形槽、第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈;其中第一密封圈为O型密封圈,第一密封圈设置于环形槽内的底部;第...
  • 本发明公开了一种耐高压螺纹连接件密封结构,包括孔体、轴体和O型密封圈,轴体插入孔体中,且孔体与轴体通过螺纹连接形成可旋合结构,轴体的前端与孔体为间隙配合,轴体的前端设有密封环形沟槽,O型密封圈设置于密封环形沟槽内,O型密封圈装入后有压缩量,...
  • 本发明公开了一种高结合力镀银镍基合金密封环及其制造方法,包括镍基合金基体环、铜过渡层和银层,镍基合金基体环上设置有铜过渡层,铜过渡层上设置有银层。铜过渡层的厚度为5~10μm,银层的厚度为10~30μm。铜过渡层充当了柔性缓冲层和冶金桥梁,...
  • 本发明涉及一种用于秤的模块式密封,所述秤的载荷引入件沿高度方向(Z)传递重力,所述密封包括封闭模块,其具有形成可承压腔的密封件和带有密封面的配对支座,其中,所述腔可被施以介质,使密封部沿高度方向(Z)贴靠所述密封面。
  • 本发明提供了一种压力罐机械互锁装置、压力罐及排泡管路系统,压力罐机械互锁装置包括锁紧件、互锁件和阀门,锁紧件用于锁紧或松开所述压力罐的盖体,互锁件设置为可在第一位置和第二位置之间运动,阀门的阀芯与互锁件机械耦合,当互锁件处于第一位置时,其阻...
  • 一种活塞连杆机构,包括上下布置的活塞和连杆;连杆包括竖直布置的杆身,杆身上侧与活塞刚性连接,杆身下侧设有连杆大头,连杆大头包括大头本体和连杆盖,大头本体包括上横板,上横板左右两侧分别设有向下延伸的第一延伸部,连杆盖包括下横板,下横板左右两侧...
  • 单轨道换挡鼓设备及方法。本公开涉及一种用于eAxle总成中的变速器的换挡鼓。该换挡鼓包括主体和形成于主体处的单个引导路径并且限定了换挡模式。换挡总成的换挡元件可以沿着换挡鼓的单个引导路径移动,从而将换挡元件放置于换挡位置中。换挡位置与变速器...
  • 本发明公开了一种静液压行驶驱动控制系统,控制器接收行驶档位手柄的换档信号并输出至高/低速档位电磁阀切换液压回路,通过高/低速档位检测开关检测变速箱当前档位传输至控制器,对比高/低速电磁阀输出与档位检测开关反馈信息是否一致判断是否换档卡滞;控...
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