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最新专利技术
  • 离子调控装置、离子引导装置、控制方法、装置、设备及离子引导系统
    离子调控装置、离子引导装置、控制方法、装置、设备及离子引导系统_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511938880.1
    本申请提供的一种离子调控装置、离子引导装置、控制方法、装置、设备及离子引导系统，通过设置第一引导元件和偏转力场生成模块，在离子注入所述第一引导元件的情况下，控制所述第一引导元件施加与离子传输方向反向的反向电场，从而将离子捕获在第一引导元件内...
    2026-03-13
  • 离子导引装置及离子质量分析设备
    离子导引装置及离子质量分析设备_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511937027.8
    本申请提供一种离子导引装置及离子质量分析设备，属于离子质量检测的技术领域。离子导引装置包括：传输极杆、第一四极滤质器、预处理组件和至少一组解离组件；传输极杆配置为接收并传输离子束或目标碎片离子；第一四极滤质器配置为接收至少一组离子束并传输离...
    2026-03-13
  • 一种质谱仪离子束探测与自动化调试装置及调试方法
    一种质谱仪离子束探测与自动化调试装置及调试方法_西北核技术研究所_202511627020.6
    本发明提供一种质谱仪离子束探测与自动化调试装置及调试方法，属于仪器控制技术领域，包括：第一聚焦透镜和第一偏转透镜，设置在离子源狭缝位置；类法拉第杯探测器，位于透镜组的后侧，探测离子并转化为第一电信号；第二偏转透镜，设置在质谱仪的离子源狭缝后...
    2026-03-13
  • 雾化组件、离子源装置及质谱仪
    雾化组件、离子源装置及质谱仪_联影越质科学仪器(武汉)有限公司_202511768844.5
    本申请涉及一种雾化组件、离子源装置及质谱仪。雾化组件包括：雾化喷针，雾化喷针用于喷射雾滴；导流件，导流件的第一壁面为平面，第一壁面的至少部分位于雾化喷针的喷射方向上，并沿雾化喷针的喷射方向延伸；辅助气喷嘴，辅助气喷嘴位于雾化喷针远离第一壁面...
    2026-03-13
  • 一种射频检波电路系统
    一种射频检波电路系统_上海仪电分析仪器有限公司_202511532157.3
    本发明提供一种射频检波电路系统，涉及科学仪器技术领域。该射频检波电路系统，包括射频信号RF+、射频信号RF‑和全波检波电路，所述射频信号RF+与全波检波电路连接，全波检波电路的两路输出端分别与上半周滤波电路和下半周滤波电路连接，上半周滤波电...
    2026-03-13
  • 一种中子敏感微通道板、中子探测器及其制造方法
    一种中子敏感微通道板、中子探测器及其制造方法_中国科学院西安光学精密机械研究所_202610001824.3
    本发明公开了一种中子敏感微通道板、中子探测器及其制造方法，属于中子探测器技术领域。中子敏感微通道板包括玻璃基板，玻璃基板上开设有多个贯穿玻璃基板厚度方向的微通道，微通道为锥形通孔结构，微通道的入口端的孔径小于出口端的孔径，入口端的开口率低于...
    2026-03-13
  • 一种高螺旋多通道电子倍增器及其制备方法
    一种高螺旋多通道电子倍增器及其制备方法_苏州晶溪牧科技有限公司_202511469941.4
    本发明公开了一种高螺旋多通道电子倍增器及其制备方法，适用于俄歇电子能谱仪(AES)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、质谱仪等高端分析仪器中的微弱信号探测系统，以满足高端分析仪器对高灵敏度、低噪声、长寿命探测器的迫切需...
    2026-03-13
  • 气体分配装置及分配方法、半导体器件加工设备
    气体分配装置及分配方法、半导体器件加工设备_拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司_202511629637.1
    本发明提供了一种气体分配装置，包括第一管道、至少一条第二管道和控制器。该第一管道连接气源，并设有压力探测器。该至少一条第二管道分别连接一个处理站，并分别设置有温度调节机构。该控制器连接压力探测器和温度调节机构，并被配置为，根据压力探测器采集...
    2026-03-13
  • 一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法
    一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法_盛吉盛半导体科技(北京)有限公司_202511569573.0
    本发明公开了一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法，其属于半导体制造技术领域，所述安全控制系统包括反应腔室、点火腔室和主控模块，点火腔室内设有点火组件，反应腔室的出口处设有排气管路，反应腔室的入口与点火腔室的出口相连通，点火腔室的入...
    2026-03-13
  • 射频功率系统、阻抗匹配方法及半导体工艺设备
    射频功率系统、阻抗匹配方法及半导体工艺设备_北京华丞电子有限公司_202511287297.9
    本申请提供了一种射频功率系统、阻抗匹配方法及半导体工艺设备，该射频功率系统包括射频电源模块、匹配器模块、信号检测模块和控制模块，射频电源模块、匹配器模块和腔室依次连接，信号检测模块用于检测匹配器模块的射频输入端的射频信号，控制模块用于在射频...
    2026-03-13
  • 衬底处理设备和调整环构件高度的方法
    衬底处理设备和调整环构件高度的方法_细美事有限公司_202510879954.2
    公开了一种能够在不打开室的情况下检查环构件的蚀刻量的衬底处理设备。使用等离子体的所述衬底处理设备包括：处理室，所述处理室限定处理空间；卡盘，所述卡盘定位在所述处理空间中以从下方支撑衬底；环构件，所述环构件围绕所述卡盘定位；环升降装置，所述环...
    2026-03-13
  • 边缘场磁场分布信息的校正方法、装置及设备
    边缘场磁场分布信息的校正方法、装置及设备_季华实验室_202512033493.X
    本发明涉及磁场信息分析技术领域，尤其涉及边缘场磁场分布信息的校正方法、装置及设备；通过法拉第杯及霍尔探头阵列监测得到束流聚焦度、束流水平偏移量和延伸边缘场磁场分布信息；根据束流聚焦度、预设的聚焦度设定值、束流水平偏移量和预设的偏移量设定值对...
    2026-03-13
  • 操作包括束偏转器的带电粒子显微镜系统的方法和相关联的系统
    操作包括束偏转器的带电粒子显微镜系统的方法和相关联的系统_FEI公司_202510971584.5
    本公开涉及操作包括束偏转器的带电粒子显微镜系统的方法和相关联的系统。在一个示例中，一种方法包括调整一个或多个光学元件以使得束偏转器的偏转器平面与衍射平面共轭，以及在衍射平面处记录衍射束图案。在另一示例中，一种方法包括将带电粒子束引导到样本，...
    2026-03-13
  • 电子束扫描设备及其电压调节电路
    电子束扫描设备及其电压调节电路_东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司_202511564168.X
    本发明提供了一种电子束扫描设备及其电压调节电路。其中，电压调节电路用于向电子束扫描设备的电源模块提供设置电压，包括：信号源、驱动控制单元以及电压调节单元；信号源配置为向驱动控制单元输出初始控制信号；驱动控制单元与信号源连接，配置为接收初始控...
    2026-03-13
  • 一种随形预热电子束选区熔化电子光学系统及其设计方法
    一种随形预热电子束选区熔化电子光学系统及其设计方法_西安交通大学_202511497774.4
    本发明公开了一种随形预热电子束选区熔化电子光学系统及其设计方法，包括电子束形成单元以及电子束聚焦偏转单元；电子束形成单元包括中心阴极以及套设在中心阴极外侧的环状阴极，中心阴极与环状阴极之间以及环状阴极外侧设置有抑制极，三者形成的整体一侧设置...
    2026-03-13
  • 用于射频离子源上的跑道型法拉第屏蔽结构
    用于射频离子源上的跑道型法拉第屏蔽结构_聚变新能(安徽)有限公司_202512026746.0
    本发明属于可控核聚变辅助加热方法中性束注入技术领域，公开了一种用于射频离子源上的跑道型法拉第屏蔽结构。该结构中，法拉第屏蔽筒包括呈跑道型的屏蔽筒、第一进水管和第一出水管，屏蔽筒包括筒侧壁、筒顶壁和第一埋管水冷结构，筒侧壁开有缝隙，第一进水管...
    2026-03-13
  • 一种多相位错驱动的无中和器离子源装置及控制方法
    一种多相位错驱动的无中和器离子源装置及控制方法_航宇皮克科技(无锡)有限公司_202511573146.X
    本申请涉及等离子推力器技术领域，公开了一种多相位错驱动的无中和器离子源装置及控制方法，该装置包括：供电系统，包括射频电源模块，射频电源模块包括M路射频通道；栅极系统包括加速栅和屏栅，加速栅和屏栅电连接于M路射频通道中的不同通道，屏栅施加有交...
    2026-03-13
  • 一种同轴一体式永磁聚焦系统
    一种同轴一体式永磁聚焦系统_中国工程物理研究院应用电子学研究所_202511509368.5
    本发明提供了一种同轴一体式永磁聚焦系统，包括阴极底座、外壳、第一永磁体组以及第二永磁体组，外壳通过绝缘连接件与阴极底座相连接；第一永磁体组设置于所述阴极底座的内部，第二永磁体组设置于所述外壳的内部，第一永磁体组通过绝缘连接件与第二永磁体组固...
    2026-03-13
  • 一种基于真空热分离与选择性腐蚀的输入光窗回收方法
    一种基于真空热分离与选择性腐蚀的输入光窗回收方法_中国电子科技集团公司第五十五研究所_202511541340.X
    本发明公开了一种基于真空热分离与选择性腐蚀的输入光窗回收方法，包括：光窗装的真空排气、无损分离、焊料和电极膜层的剥离以及超声清洗和研磨抛新；本发明的方案采用真空热分离和溶液浸泡方式，操作简便，基于设备和工装扩容，可实现光窗批量化处理，且整个...
    2026-03-13
  • 一种提高砷化镓光电阴极量子效率的激活方法
    一种提高砷化镓光电阴极量子效率的激活方法_南京理工大学_202511474013.7
    本发明公开了一种提高砷化镓光电阴极量子效率的激活方法，一种提高砷化镓光电阴极量子效率的激活方法，其特征在于，包括对待激活样品进行化学清洗和高温净化，利用卤钨灯白光垂直照射整个阴极面，依次进行三个环节的激活：环节1：单铯激活环节；环节2：氧源...
    2026-03-13
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