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用于检查灯的设备和方法
本文公开的示例涉及用于检查灯尺寸的方法和设备。方法包括确定灯的实际测量结果。灯被配置为在基板处理设备中加热基板。产生具有宽度和高度的窗口。窗口基于灯的目标测量结果。方法进一步包括:基于实际测量结果的图像与窗口之间的差产生偏差。将偏差与第一阈...
一种工业零部件激光无损测量装置及使用方法
本发明涉及一种工业零部件激光无损测量装置及使用方法,属于激光无损测量装置技术领域,包括放置台以及设置在放置台右侧的检测台,所述放置台顶面的左右两侧内嵌安装有精密电动导轨,且两精密电动导轨的顶面共同固定安装有支撑架,而支撑架的前面设有储存槽块...
基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置
本发明涉及调频连续波激光测距领域,公开了基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置,该装置包括扫频激光源S‑source、第一光耦合器OC1、光纤环形器CIR、激光准直器FC、半透半反镜PM、第二光耦合器OC2、平衡光电探测器BPD和频谱分析仪S...
一种石英摆片多参数测量方法及系统
本发明属于光学精密测量领域,涉及到一种基于白光干涉原理的石英摆片多参数测量方法及系统,方法包括:通过同步触发扫描获取干涉图像序列;基于互相关分析自动识别样品镂空、金属镀层及透明区域;针对不同区域分别采用质心法或Otsu分割与质心法结合进行干...
用于手眼标定的方法和系统
本发明涉及用于手眼标定的方法和系统。该方法包括:获得线激光传感器坐标系与数控机构坐标系之间的初始标定矩阵,数控机构至少具有五个空间自由度;通过线激光传感器发射线激光到达三维标志物,同时控制数控机构的末端运动;在数控机构的末端的空间位置和姿态...
一种用于非接触式光学测量系统的标定与数据转换方法
本发明提供了一种用于非接触式光学测量系统的标定与数据转换方法,包括如下步骤:S1、提供阶梯轴作为标定件,所述阶梯轴具有第一圆柱段和第二圆柱段;S2、将阶梯轴安装于旋转驱动模块;S3、获取第一距离数据集和第二距离数据集;S4、计算第一距离数据...
一种整车外形尺寸检测方法和系统
本申请提供了一种整车外形尺寸检测方法和系统,该方法应用于车辆技术领域,方法包括:根据识别的车辆的第一端点位置、第二端点位置、第三端点位置和每个轮心位置计算车辆的前悬参数、轮眉高度参数和车高参数;将前悬参数、轮眉高度参数和车高参数分别与对应的...
一种跟踪测量设备、方法及跟踪扫描测量方法、系统和平台
本发明公开了一种跟踪测量设备、方法及跟踪扫描测量方法、系统和平台,属于制造业计量检测技术领域。跟踪测量设备的控制装置在确定需要测量靶标的坐标数据时,控制激光发射源向跟踪靶标测量装置发射两束不同波长的测距激光,将跟踪靶标测量装置反馈的测距激光...
一种芯片焊接机光学检出的方法、装置及设备
本发明涉及芯片封装技术领域,本发明提供了一种芯片焊接机光学检出的方法、装置及设备,所述方法包括:启动Die Bond机器,系统初始化;视觉系统获取BA的基准位置信息和姿态信息;BA按预设路径移动至芯片上方进行拾取并将芯片搬送至引线框架上方;...
基于多源数据融合的云母锅形位尺寸自动化检测方法
本发明属于云母锅检测技术领域,本发明公开了基于多源数据融合的云母锅形位尺寸自动化检测方法;包括以下步骤:S1:通过云母锅尺寸采集设备采集检测流水线上云母锅的尺寸数据。本发明通过设置检测速度预测模型,精准预测各检测流水线未来的检测速度,实现了...
3D NAND刻蚀孔径关键尺寸测量方法及装置
本申请提供了一种3D NAND刻蚀孔关键尺寸测量方法及装置,该方法包括:构建多个3D NAND样本结构的光学模型,并分别将入射光照射至多个3D NAND样本结构的刻蚀孔处,分别获取多组反射光的光学参数,形成数据集;根据数据集进行模型训练,得...
一种基于视觉的阵列微孔结构位置识别与测量方法及系统
本发明涉及属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域, 涉及一种基于视觉的阵列微孔结构位置识别与测量方法及系统, 所述方法包括以下步骤,步骤S1:初步定位与对焦的步骤;步骤S2:自动聚焦与图像获取的步骤;步骤S3:自动视觉扫描的步骤;本申请技术...
一种基于广义回归神经网络的联合标定方法及系统
本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域,涉及一种基于广义回归神经网络的联合标定方法及系统,所述的方法包括以下步骤,步骤S1:初始视觉标定数据获取的步骤;步骤S2:接触式标定数据获取的步骤;步骤S3:中心球测试坐标获取的步骤;步骤S4:...
微通孔结构的散射测量方法及系统
本公开提供了一种微通孔结构的散射测量方法及系统,属于光学测量技术领域。该微通孔结构的散射测量方法包括:采用宽带光源或多波长光源依次经照明光束调节模块、物镜和分束聚焦阵列后照射多个待测微通孔结构,以形成与多个待测微通孔结构匹配的多个照明光斑,...
一种微通孔结构的散射测量方法
本公开实施例提供了一种微通孔结构的散射测量方法,属于半导体制造技术领域。该微通孔结构的散射测量方法包括:采用宽带光源依次经光束调节模块和物镜后照射单个待测微通孔结构,以形成与单个待测微通孔结构匹配的照明光斑;在物镜的后焦面收集经待测微通孔结...
双频干涉非线性误差的测量装置和测量方法
本申请涉及一种双频干涉非线性误差的测量装置和测量方法,测量装置包括:激光输出模块、干涉模块、光电转换模块、误差计算模块;激光输出模块,用于出射测量激光至干涉模块;干涉模块,用于对测量激光进行分光处理,并将分光后的光信号投射至目标物体;还用于...
一种基于白光干涉仪测量材料尺寸稳定性的装置与方法
一种基于白光干涉仪测量材料尺寸稳定性的装置与方法,属于材料的物理性质测定领域,目的是解决现有的材料尺寸稳定性测量存在误差高、精度低的问题。本发明基于白光干涉仪测量材料尺寸稳定性的装置包括由机架、线性直线导轨、电动样品平台、白光干涉仪、数据采...
用于激光干涉仪的对光装置和对光装置的调光方法
本发明涉及激光干涉仪检测技术领域,具体公开了一种用于激光干涉仪的对光装置和对光装置的调光方法。该对光装置包括底板,底板的正面设有多个安装孔;定位台,设于底板的反面,用于与机床工作台的定位槽配合;支撑柱,可拆卸地安装于安装孔,支撑柱上设有通光...
一种拉力试验机的夹具同轴度的检测仪及同轴度检测方法
本申请公开了一种拉力试验机的夹具同轴度的检测仪及同轴度检测方法,涉及同轴度检测领域,包括:控制板、显示屏、电池、测量棒、多个应变片、多个电桥电路和外壳,测量棒包括两个夹具连接部和夹具连接部之间的测量部,两个应变片组沿测量部的轴向依次排列,应...
动态自适应高精度角度传感器
本发明公开了一种动态自适应高精度角度传感器,适用于重型履带车辆负重轮平衡肘监测。该传感器由轴系固定模块、动态自适应模块、转子与传感器模块及密封模块组成。其通过动态自适应模块中的十字滑块与支臂伸出轴、转轴构成的十字交叉连接结构,动态补偿平衡肘...
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