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阀及半导体加工设备
本发明提供了一种阀及一种半导体加工设备。所述阀包括气体解离通道、金属网及阀板。所述气体解离通道的第一端连接等离子体源,而其第二端连接抽气泵。所述金属网嵌套于所述气体解离通道内部,并连接外部电源,以增强所述等离子体源输出的等离子体的激发度。所...
一种抗气流冲击的飞机引气用预冷器控制阀
本发明属于控制阀技术领域,且公开了一种抗气流冲击的飞机引气用预冷器控制阀,包括控制器件,安装于所述控制器件上的导气阀体,还包括:阀芯组件,所述阀芯组件设置于所述导气阀体的内部。本发明通过阀芯主体的外径小于导气阀体的内径,并压缩支撑卡件实现密...
一种分体式电磁阀
本申请公开了一种分体式电磁阀,属于电磁阀技术领域。其包括驱动线圈组件和阀体组件,驱动线圈组件包括壳体、驱动线圈、导磁罩以及第二磁耦合件,壳体内设置有第一空腔和第二空腔;驱动线圈缠绕设置于第二空腔内;导磁罩设置于第一空腔内;第二磁耦合件设置于...
阀座组件、阀座组件的加工方法及电子膨胀阀
本申请涉及膨胀阀加工技术领域,特别是涉及一种阀座组件、阀座组件的加工方法及电子膨胀阀。阀座组件包括主阀座、副阀座以及连接管,主阀座开设有流通腔以及连通孔。连接管穿设并连接于连通孔,副阀座装设于流通腔内,且副阀座上开设有与连通孔对应设置的阀口...
一种开孔封堵用快速启闭隔离阀
本发明提供一种开孔封堵用快速启闭隔离阀,涉及管道开孔封堵阀门领域,包括:隔离夹板阀,所述隔离夹板阀通过螺栓连接在开孔封堵专用管件上端,开孔封堵专用管件焊接在管道外部;所述隔离夹板阀内部设置有密封组件,所述隔离夹板阀右侧安装有离合部件,离合部...
一种双气路波纹管真空运输阀结构及其工作方法
本发明公开了一种双气路波纹管真空运输阀结构及其工作方法,包括阀板组件、气体控制组件、真空腔和阀体;所述真空腔一侧腔壁上开设有出料口,所述阀体竖向安装在真空腔开设有出料口的腔壁的外侧,所述气体控制组件设置在阀体的一侧,所述阀板组件设置在阀体和...
阀板运动控制装置及真空阀
本申请提供一种阀板运动控制装置及真空阀。上述的阀板运动控制装置,包括缸体、活塞板、滑块、阀杆、纵向驱动机构及平移驱动机构;缸体开设有相连通的避位过孔及平移腔;活塞板滑动设置于平移腔内;活塞板形成有纵向滑腔;滑块位于纵向滑腔内并与活塞板滑动连...
阀板组件、阀门以及阀门的自清洁密封方法
本申请提供一种阀板组件、阀门以及阀门的自清洁密封方法,涉及阀门自清洁技术领域。阀板组件包括:密封件、动作转换机构以及驱动机构;密封件包括第一密封板和第二密封板;第一密封板和第二密封板沿动作转换机构所在直线轴对称设置;动作转换机构连接密封件和...
一种应用于大口径全金属密封阀门密封结构
本发明涉及阀门技术领域,尤其涉及一种应用于大口径全金属密封阀门密封结构。其主要针对传统弹性体密封真空阀门无法满足高真空、长周期等严苛工况需求,大口径全金属密封阀门存在因单道金属圈密封受力不均、阀板刚度不足、密封圈磨损累积的问题,提出如下技术...
一种卸料专用阀组结构
本发明提供了一种卸料专用阀组结构,包括挡料阀、气密封阀,挡料阀通过法兰与气密封阀组装成阀组,气密封阀位于挡料阀下部,挡料阀包括阀体Ⅰ、球罐,球罐与阀体Ⅰ的通道之间存在间隙。挡料阀实现输料系统的固体和气体分离,气密封阀实现物料系统的密封零泄漏...
一种电动控制阀
本发明公开一种电动控制阀,包括:阀体部件、传动部件和阀芯部件,阀体部件包括支架,支架与阀芯部件中一者包括上定位部,支架与阀芯部件中另一者包括上定位孔,上定位部至少部分位于上定位孔,传动部件包括输出架和传动杆,阀芯部件包括阀芯,传动杆相对阀芯...
一种高温熔断燃气球阀及燃气安全控制系统及安装方法
本发明公开了一种高温熔断燃气球阀及燃气安全控制系统及安装方法,涉及燃气球阀技术领域,包括阀体组件,设有进气通道、出气通道及阀腔;阀球,设于阀腔内;高温熔断机构,设于进气通道入口处,包括熔断支架、熔断阀芯及熔断弹簧,通过低温焊料固定熔断阀芯与...
一种高压金属密封球阀
本发明属于球阀领域,尤其是一种高压金属密封球阀,针对现有的填料在长时间使用后,与阀杆之间摩擦容易发生磨损导致泄露,而填料在磨损后不处理,难以保持密封的问题,现提出如下方案,其包括阀体和转动在阀体内部的阀芯,阀芯的顶部安装有驱动其转动用的阀杆...
一种换向阀
本申请公开了一种换向阀,开口端部具有环形槽,滑块本体具有至少一个通道,通道包括开口端部的开口;滑块部件还包括至少一个密封结构,密封结构安装于开口端部;密封结构包括密封环、密封圈和弹性件,密封环的第一端位于环形槽,定义第一端与环形槽的槽底面之...
滑动式切换阀以及具备该滑动式切换阀的冷冻循环系统
本发明提供一种能够抑制阀泄漏的滑动式切换阀以及具备该滑动式切换阀的冷冻循环系统。在阀座部件(3),通过在连接阀座面(31)和与阀主体(2)的内周面(21A)接合的接合曲面(32)的连接面(33)形成有凹部(36),能够将钎料积存于凹部(36...
多功能水处理阀
本发明公开了一种多功能水处理阀,包括阀体和设置在阀体内的阀瓣组件,阀体上设有进水口、出水口、排污口和射流器以及上部接口和下部接口,阀瓣组件包括定阀片和动阀片,第一通孔和第二通孔均与上部接口导通,第四通孔与出水口导通,第五通孔与下部接口导通,...
一种流体控制组件
本发明涉及一种流体控制组件,包括第一阀体、第二阀体、阀芯,所述第二阀体与所述第一阀体固定,所述第二阀体具有接口;所述第一阀体具有限定阀腔的至少部分壁部,所述阀芯转动设置于所述阀腔内,且所述第一阀体内壁具有阀体导通腔,所述阀体导通腔位于所述阀...
一种流体控制组件
本发明涉及一种流体控制组件,包括阀体、阀芯,所述阀体具有阀腔,所述阀体的轴向端面具有至少两个接口区,至少两个所述接口区沿所述阀体周向间隔设置,每个所述接口区具有至少两个接口;所述阀芯的至少部分转动设置于所述阀腔内,所述阀芯的轴向端面具有至少...
一种流体控制组件及弹性件
本发明涉及一种流体控制组件及弹性件,流体控制组件包括第一阀体组件、阀芯组件、弹性件,沿流体控制组件的轴向,所述弹性件位于所述第一阀体组件、所述阀芯组件之间,且所述弹性件抵接所述第一阀体组件、所述阀芯组件,所述弹性件与所述第一阀体组件的抵接面...
一种基于螺旋式比例力矩马达的2D电液比例换向阀
一种基于螺旋式比例力矩马达的2D电液比例换向阀包括螺旋式比例力矩马达、2D直槽型阀体和端盖,所述端盖分别固定连接螺旋式比例力矩马达和2D直槽型阀体,所述2D直槽型阀体包括阀套和阀芯,所述阀套的一端固定连接端盖,所述阀套另一端密封,所述阀套内...
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