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  • 本发明公开了一种实现微球稳定受力研磨的加载机构,加载机构包括支撑台架、至少两个限位安装板、上研磨盘、加载组件、下研磨盘和传动组件;支撑台架上设置有平行的至少两个导轨立柱;限位安装板一一对应地设置于导轨立柱上,并与导轨立柱沿轴向滑动连接;上研...
  • 本发明公开了一种球阀配件制造成型后精加工装置及其加工方法,涉及阀门研磨技术领域;包括加工安装件,所述加工安装件上安装有一排驱动装置,一排所述驱动装置用于批量打磨阀座管内壁;一排所述驱动装置上的结构相同;所述驱动装置上安装有下压夹持件;所述驱...
  • 本发明公开了一种倒角片源的表面处理方法,属于半导体技术领域。倒角片源的表面处理方法包括以下步骤S1、将供体衬底与支撑衬底键合形成第一键合体;S2、对所述第一键合体的边缘倒直角;S3、将加固环套设于所述第一键合体的外周壁,所述加固环与所述供体...
  • 本发明涉及一种MT插芯全自动研磨机组及研磨方法,属于光纤跳线研磨技术领域。本发明包括多台并排布置的研磨机,在研磨机内设置有研磨工位和清洗工位,所述研磨工位和清洗工位分别安装有研磨装置和清洗装置,所述研磨机包括用于将研磨盘在相邻工位之间移动的...
  • 本发明涉及一种封装设备,包括固定底座,所述固定底座上转动设置有研磨盘,所述研磨盘上设置有用于对晶圆进行固定的定位机构,所述固定底座上固定有支撑架,所述支撑架上滑动设置有用于向所述研磨盘添加研磨液的加料柱;所述固定底座上转动设置有转轴,所述转...
  • 本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域,具体是一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置,其包括转台,转台的台板下表面与转台的外壳上表面之间留有安装间隙,安装间隙内设置有底板和盖板,底板的上表面放置有控制盒、环形穿线管、径向穿线管、轴向...
  • 本发明提供了一种化学机械研磨方法、装置及晶圆的制作方法,属于半导体领域。该化学机械研磨方法包括:提供晶圆;确定晶圆的厚度分布;构建基于研磨液供应量的研磨速率修正模型;根据研磨速率修正模型、晶圆表面的厚度分布及预设的晶圆的目标厚度,调节研磨垫...
  • 本发明提供一种化学机械抛光垫缓冲层、制备方法、抛光垫及应用,所述缓冲层包括聚氨酯层和支撑层,所述聚氨酯层由包含聚氨酯、阴离子型助剂、非离子型助剂和溶剂的浆料组合物固化而成。所述缓冲层的硬度为60‑80 Shore A、压缩比为4‑8%、密度...
  • 本发明属于研磨工具技术领域,公开了一种专用于TEC陶瓷制冷片的研磨垫及其制备方法,解决现有TEC热制冷片加工过程中的加工效率低、清洗难等问题。一种专用于TEC陶瓷制冷片的研磨垫,包括底材和设置在底材上的若干平顶面的研磨块,所述研磨块的原料组...
  • 本申请提供一种研磨机台晶圆滑出探测设备抗干扰侦测方法,采用双光路光强比值检测通过主光路和参考光路的信号比消除共模干扰,结合双光路光强比值的静态均值与动态导数分析,仅当静态和动态条件同时满足时触发机台报警。极大地减少了晶圆滑出探测设备的误侦测...
  • 本发明公开了一种数控重型卧式车磨床磨刀架结构,其包括大刀架、上刀架、横向进给机构、直线硬轨、滑动导轨、蜗杆、蜗轮和过渡体,上刀架包括上刀架下体、回转体和静压磨头;大刀架安装于数控重型卧式车磨床的床身上,上刀架下体安装于大刀架内部;回转体通过...
  • 本发明适用于打磨技术领域,提供了一种电动驱动智能恒力径向补偿系统,包括智能电动径向浮动打磨装置,所述智能电动径向浮动打磨装置包括防尘罩,所述防尘罩的内部直线电机,所述直线电机由电机定子与电机动子组成,所述直线电机的输出端设有打磨工具,所述直...
  • 本发明公开了一种用于轴磨内孔的夹具装置,本发明涉及夹具技术领域,夹具装置包括:第一夹具结构,第一夹具结构用于固定于卡盘,第一夹具结构限定出用于装配轴的第一固定孔;第二夹具结构,第二夹具结构用于安装于卡盘,第二夹具结构限定出用于装配轴的第二固...
  • 本发明是关于一种用于医疗成像与数据传输的柔性光纤束抛光夹具,包括夹具主体,所述夹具主体上设有多个第一通孔,所述第一通孔贯穿所述夹具主体的上下端面;每个所述第一通孔的一侧对应设有第二通孔,所述第二通孔贯穿所述第一通孔的内壁和所述夹具主体的外壁...
  • 本申请涉及R角锯齿刀片制备夹具及其制备工艺,涉及精密刀具加工的技术领域,该夹具包括底座和压板,底座设有水平顶面、倾斜面及多组锯齿槽,通过锯齿槽内侧壁支撑定位刀片底部,倾斜面支撑底层刀片,压板压紧顶层刀片,使刀片阵列顶部待开刃部位处于同一水平...
  • 本发明提供了一种运动控制系统的玻璃打磨路径拆分方法,属于计算控制方法领域。包括与平移装置连接且带有旋转电机的毛刷,以及与旋转装置的旋转轴连接的工件,所述的毛刷用于打磨工件,所述的工件的旋转中心位于工件的中心处,其特征在于,将毛刷半径设定为B...
  • 本发明公开了一种金刚石滚轮修整装置,涉及金刚石滚轮修整技术领域。包括工作台和移动座,移动座表面滑动安装有磨削座,磨削座底端固定有移动块,移动座端部滑动安装有挡板,挡板内部设置有转动组件,移动座表面开设有移动槽,移动槽内部设置有移动轴,移动轴...
  • 本发明属于修整器领域,尤其是一种砂轮导轮共用修整器,针对现有修整器中存在调整复杂,效率低且平行度保障困难的问题,现提出如下方案,其包括修整器本体,所述修整器本体上设有三轴伺服机构,所述三轴伺服机构的底端设有砂轮和导轮,所述砂轮设于导轮的一侧...
  • 本发明涉及焊缝打磨设备粉尘处理技术领域,且公开了一种变压器焊缝打磨设备用粉尘回收处理设备,该设备包括设有磁吸密封门的透明密闭框架,框架顶部连通集尘罩,内部设置可同步转动的多组静电集尘板,并通过线性导轨毛刷机构实现自清洁。集尘罩出口串联离心机...
  • 本发明涉及一种抛光液供液装置,包括:装置主体,所述装置主体正面安装有抛光液供液桶,抛光液供液桶的输出端对接有抛光液输出泵,所述抛光液输出泵对接装置主体背面安装的输出管组件,所述输出管组件用于将抛光液输出至抛光加工系统,所述装置主体背面还安装...
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